一种高精度水振湿式研磨装置的制作方法

文档序号:11963346阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高精度水振湿式研磨装置,包括支撑夹持装置(2)和底板(4),其特征在于:还包括研磨转盘装置(1)和冷却清理装置(3),所述底板(4)连接有研磨转盘装置(1),支撑夹持装置(2)和冷却清理装置(3);所述研磨转盘装置(1)包括转柱(101),连接转盘(102)和研磨装置(103),所述底板(4)连接有转柱(101),所述转柱(101)连接有连接转盘(102),所述连接转盘(102)连接有研磨装置(103);所述支撑夹持装置(2)包括支撑升降台(201),行星支撑盘(202),支撑盘温度感应装置(203)和压紧气缸(204),所述底板(4)上设有支撑升降台(201),所述支撑升降台(201)连接有压紧气缸(204),所述压紧气缸(204)连接有行星支撑盘(202),所述行星支撑盘(202)上设有支撑盘温度感应装置(203);

所述冷却清理装置(3)包括冷却升降台(301)和冷却液水箱(302),所述底板(4)上设有冷却升降台(301),所述冷却升降台(301)连接有冷却液水箱(302),所述冷却液水箱(302)为空心腔体结构,其内部底面设有电磁板(3021)。

2.根据权利要求1所述的一种高精度水振湿式研磨装置,其特征在于:所述研磨装置(103)包括研磨转柱(1031),研磨盘(1032),研磨盘温度感应装置(1033),研磨盘电磁铁(1034)和驱动齿(1035),所述连接转盘(102)连接有研磨转柱(1031),所述研磨转柱(1031)上设有驱动齿(1035),所述驱动齿(1035)连接有动力装置,所述研磨转柱(1031)连接有研磨盘(1032),所述研磨盘(1032)上设有研磨盘温度感应装置(1033)和研磨盘电磁铁(1034)。

3.根据权利要求2所述的一种高精度水振湿式研磨装置,其特征在于:所述连接转盘(102)均布连接有至少两个研磨装置(103)。

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