硅片背面喷砂机的制作方法

文档序号:12537745阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片背面喷砂机,具有机床;所述机床上设有传送带(1);所述传送带(1)的一端安装有伺服电机(2);所述传送带(1)上方设有喷嘴(3);所述喷嘴(3)与砂桶(4)连接;所述砂桶(4)与减压阀(5)相连;其特征在于:所述传送带(1)上设有翻转装置(6);所述翻转装置(6)包括一对夹持件(7)、提升气缸(8)和转动电机(9);所述夹持件(7)镜像分布在传送带(1)的两侧,夹持件(7)同时与对应的夹持气缸(10)、提升气缸(8)和转动电机(9)连接。

2.根据权利要求1所述的硅片背面喷砂机,其特征在于:所述夹持件(7)的内侧开有与硅片契合的夹持槽,且一对夹持件(7)呈“[]”形位置设置在传送带(1)两侧。

3.根据权利要求2所述的硅片背面喷砂机,其特征在于:所述夹持槽的槽底和内壁均贴有硅胶或橡胶层。

4.根据权利要求3所述的硅片背面喷砂机,其特征在于:所述喷嘴(3)与凸轮往复机构(11)连接。

5.根据权利要求4所述的硅片背面喷砂机,其特征在于:所述砂桶(4)内部设有振动筛。

6.根据权利要求4或5所述的硅片背面喷砂机,其特征在于:所述伺服电机(2)与变频器(12)相连。

7.根据权利要求3所述的硅片背面喷砂机,其特征在于:所述机床上设有光电开关(13)。

8.根据权利要求3所述的硅片背面喷砂机,其特征在于:所述砂桶(4)与喷嘴(3)之间设有喷砂压空流量计(14)。

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