技术总结
本实用新型涉及一种硅片背面喷砂机，具有机床；所述机床上设有传送带；所述传送带的一端安装有伺服电机；所述传送带上方设有喷嘴；所述喷嘴与砂桶连接；所述砂桶与减压阀相连；所述传送带上设有翻转装置；所述翻转装置包括一对夹持件、提升气缸和转动电机；所述夹持件镜像分布在传送带的两侧，夹持件同时与对应的夹持气缸、提升气缸和转动电机连接。本实用新型具有设计简单，操作方便等特点，提高了生产效率，保证硅片喷砂的均一性、喷砂厚度精度稳定。
技术研发人员：李新华
受保护的技术使用者：常州瞻驰光电科技有限公司
文档号码：201620762873
技术研发日：2016.07.19
技术公布日：2017.01.11