一种镀膜机工艺气体进气管的制作方法

文档序号:12550114阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及镀膜机技术领域,具体地说是一种镀膜机工艺气体进气管,包括进气管本体、设在进气管本体上的若干气孔,其特征在于:由进气端开始沿进气管本体的轴向方向,所述气孔之间的间距总体为递减。本实用新型同现有技术相比,进气管本体上的气孔间距从进气端开始设计为总体呈递减趋势,能使出气量均匀,使工艺更稳定。

技术研发人员:沈聚丰;周征华;刘强;朱小凤;王田英
受保护的技术使用者:上海哈呐机电设备有限公司
文档号码:201620846891
技术研发日:2016.08.08
技术公布日:2017.01.11

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