1.一种双区加热的等离子增强化学气相沉积腔体晶圆基座，包括基座主体，所述基座主体上设置晶圆凹槽，其特征在于：晶圆凹槽分为中心区域和边缘区域两部分，中心区域和边缘区域采用两套内嵌加热元件及温度传感器来独立加热，中心区域位置设置中心区域内嵌加热元件，中心区域内嵌加热元件连接中心区域加热元件电源线和中心区域热电偶温度传感器，边缘区域位置设置边缘区域内嵌加热元件，边缘区域内嵌加热元件连接边缘区域加热元件电源线和边缘区域热电偶温度传感器。
2.如权利要求1所述的一种双区加热的等离子增强化学气相沉积腔体晶圆基座，其特征在于：以基座主体的中心为圆心，直径150~250mm的区域为中心区域，以晶圆凹槽的外缘为基准，向内侧延伸25~75mm的圆环区域为边缘区域。
3.如权利要求1所述的一种双区加热的等离子增强化学气相沉积腔体晶圆基座，其特征在于：所述基座主体内设置内嵌接地电极，所述基座主体的下方设置接地，所述基座主体的下方设置真空密封。