技术总结
本实用新型涉及一种太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线，包括真空室体，以及分别与真空室体连接的真空系统、充气系统和电控系统，真空室体内放置有放卷装置、加热清洗装置、托辊装置、溅射单元、冷却装置、纠偏装置和收卷装置，所述溅射单元设有多个，相邻溅射单元之间设有气氛隔离单元；所述溅射单元包括安装于卷材下方的磁控溅射靶和安装于磁控溅射靶上方的挡板，所述带材位于磁控溅射靶和挡板之间。本实用新型由下向上溅射沉积涂层，在带材下表面成膜，有效地防止了因侧壁掉皮落在卷材上导致形成针孔、露白等镀膜缺陷的发生，镀膜质量优，溅射环境气氛稳定，重复性好，便于控制，生产效率高。
技术研发人员：陈刚;张浙军;裴宏伟
受保护的技术使用者：威海蓝膜光热科技有限公司
文档号码：201621288343
技术研发日：2016.11.25
技术公布日：2017.05.31