等离子体化学气相生长装置的制作方法

本发明涉及等离子体化学气相生长装置。

背景技术：

在等离子体化学气相生长装置(以下，也称作“pcvd装置”。)中，通过在设置于反应炉内的工件的附近将工艺气体等离子体化而分解，而在该工件上生成膜。在这样向工件成膜时，因等离子体化而分解后的工艺气体中的未附着于工件的工艺气体的一部分会附着于反应炉的内壁。若基于工艺气体的附着物这样堆积于反应炉的内壁，则会从附着物向内壁施加欲使该内壁变形的力。但是，由于反应炉的内壁的刚度高，因此即使从堆积的附着物施加力，该内壁也不会变形。因此，积留于附着物的内部的力即内部应力容易变大。并且，若该附着物的内部应力增大到无法凭借附着物向内壁的附着力而继续附着的程度，则附着物有时会从内壁剥离。在该情况下，从反应炉的内壁剥离后的附着物会以薄片(flake)的形式在反应炉内飞散，薄片有时会附着于设置在反应炉内的工件。

于是，已知有通过在反应炉内的工件的设置位置与该反应炉的内壁之间配置例如日本特开平4-289159所记载的附着抑制片来抑制附着物向该内壁堆积从而抑制反应炉内的薄片的飞散的方法。

日本特开平4-289159所记载的附着抑制片由铝的薄板构成。如图10所示，在该附着抑制片100中，通过设置许多凹凸而提高了其柔软性。

在该情况下，如图10所示，在向工件生成膜时，上述的附着物200变成堆积于附着抑制片100，附着物200不再堆积于反应炉的内壁。并且，附着抑制片100的柔软性比反应炉的内壁的柔软性高。因此，通过从堆积于附着抑制片100的附着物200向附着抑制片100施加的力，附着抑制片100容易变形。具体地说，如图10中箭头所示，附着抑制片100以凸部101的顶端部分的曲率变大的形态变形。因此，即使附着物200向附着抑制片100的堆积量增加，也能通过附着抑制片100的变形而使得附着物200的内部应力不容易变大。其结果，能够抑制附着物200的内部应力增大到凭借附着物200向附着抑制片100的附着力而无法继续附着的程度，从而能够抑制附着物200从附着抑制片100剥离。因而，能够抑制反应炉内的薄片的飞散。

技术实现要素：

附着物200向附着抑制片100的堆积量越增加，则从附着物200向附着抑制片100施加的力越大。因此，在附着抑制片100中，随着附着物200的堆积量增加，其变形量变大。具体地说，在附着抑制片100的凸部101中，若附着物200向凸部101的堆积量变多，则其顶端部分的曲率变大。此时，若凸部101的顶端部分的曲率变得过大，即凸部101的变形量过大，则堆积于凸部101的附着物200有时会因凸部101的变形而破损。在该情况下，附着物200的一部分会从凸部101剥离，剥离后的附着物会以薄片的形式在反应炉内飞散。

本发明提供一种能够抑制反应炉内的薄片的产生从而抑制薄片向设置于该反应炉内的工件附着的等离子体化学气相生长装置。

一形态的等离子体化学气相生长装置是通过使供给到反应炉内的工艺气体等离子体化而分解，而在设置于该反应炉内的工件上生成膜的装置。在该等离子体化学气相生长装置中，在反应炉内的工件的设置位置与该反应炉的内壁之间配置有抑制工艺气体向该内壁的附着的附着抑制片。附着抑制片是由多个第一纤维束和多个第二纤维束构成的织物，多个第一纤维束在第一方向上延伸并且分别由多个纤维构成，多个第二纤维束在与第一方向不同的第二方向上延伸并且分别由多个纤维构成。并且，在将附着抑制片的设置位置侧的面设为正面，将反应炉的内壁侧的面设为背面的情况下，在多个第一纤维束的各第一纤维束中，位于比第二纤维束靠正面侧处且在正面露出的正面侧部分与位于比第二纤维束靠背面侧处且未在正面露出的背面侧部分在第一方向上交替排列。另外，在多个第二纤维束的各第二纤维束中，位于比第一纤维束靠正面侧处且在正面露出的正面侧部分与位于比第一纤维束靠背面侧处且未在正面露出的背面侧部分在第二方向上交替排列。

根据上述结构，当在反应炉内向工件进行膜的生成时，在第一纤维束中，在正面侧部分会堆积基于工艺气体的附着物，而在背面侧部分不会堆积该附着物。在第二纤维束中也是同样，在正面侧部分会堆积基于工艺气体的附着物，而在背面侧部分不会堆积该附着物。因此，在各纤维束中，在它们的长度方向上，附着物堆积的部分与附着物不堆积的部分交替排列。即，在上述结构中，在各纤维束中不是在整体堆积附着物，而是附着物堆积的多个区域隔开间隔而存在。

若附着物堆积于纤维束的正面侧部分，则正面侧部分会因从该附着物施加的力而以向上述设置位置侧突出的方式变形。通过因这样的正面侧部分的变形而产生的应力，在该纤维束中除了正面侧部分之外，背面侧部分也会变形。为了这样使正面侧部分变形，必须通过从附着于正面侧部分的附着物施加的力使背面侧部分也变形，所以正面侧部分的变形量不容易变多。因此，能够抑制因正面侧部分的变形量变大而导致堆积于正面侧部分的附着物破损。因而，能够抑制反应炉内的薄片的产生，从而能够抑制薄片向设置于该反应炉内的工件附着。

此外，若纤维束的柔软性低，则即使附着物堆积于纤维束的正面侧部分，该正面侧部分的变形量也过少，附着物的内部应力可能会变大。因此，为了抑制附着物从纤维束剥离，需要既抑制堆积有附着物的正面侧部分的过度变形，又为了抑制附着物的内部应力的增大而使该正面侧部分以某种程度变形。

纤维束可以通过将多个纤维平行排列而并丝来构成，也可以通过将多个纤维捻合来构成。但是，将多个纤维并丝而成的纤维束的柔软性比将多个纤维捻合而成的纤维束的柔软性高。于是，在上述形态中，可以使多个第一纤维束的各第一纤维束和多个第二纤维束的各第二纤维束为多个纤维平行排列而成的纤维束、即将多个纤维并丝而成的纤维束。根据该结构，纤维束的柔软性比较高，所以能够抑制堆积有附着物的正面侧部分的变形量过少。其结果，堆积于纤维束的正面侧部分的附着物的内部应力不容易变大，所以能够抑制以附着物的内部应力的增大为起因的该附着物从正面侧部分的剥离。

另外，在第一纤维束中，背面侧部分的第一方向的长度越长，则因正面侧部分的变形而在纤维束中产生的应力越分散于长的背面侧部分，所以能够抑制背面侧部分的变形，结果也能够抑制正面侧部分的变形。在第二纤维束中也是同样，背面侧部分的第二方向的长度越长，则越能够抑制正面侧部分的变形量。

于是，在上述形态中，可以是，在第一纤维束和第二纤维束的至少一方中，在将与延伸方向正交的方向中的第一纤维束和第二纤维束的至少一方的多个纤维的排列方向设为宽度方向，将与延伸方向和宽度方向的双方正交的方向设为厚度方向的情况下，宽度尺寸比厚度尺寸大。

例如，通过在多个第一纤维束中使宽度尺寸比厚度尺寸大，能够在某种程度上确保第二纤维束的背面侧部分的第二方向的长度。因此，能够与第二纤维束的正面侧部分的过度变形的抑制相应地，提高因该正面侧部分的变形而导致堆积于该正面侧部分的附着物破损的抑制效果。

另外，通过在多个第二纤维束中使宽度尺寸比厚度尺寸大，能够抑制第一纤维束的正面侧部分的过度变形，能够提高堆积于该正面侧部分的附着物破损的抑制效果。

在上述形态中，可以是，在多个第一纤维束的各第一纤维束中，宽度为厚度的5倍以上，在多个第二纤维束的各第二纤维束中，宽度为厚度的5倍以上。根据这样的结构，能够在第一纤维束和第二纤维束的双方中使背面侧部分变宽。因此，能够在第一纤维束和第二纤维束的双方中抑制堆积附着物的正面侧部分的过度变形。

另外，在对设置于上述设置位置的工件生成膜的情况下，通过等离子体化而分解后的工艺气体中的未附着于工件的工艺气体的一部分会在反应炉内飞散。于是，在上述形态的上述等离子体化学气相生长装置中，可以使附着抑制片为筒状，并将附着抑制片配置成包围上述设置位置。根据该结构，能够通过附着抑制片围住在反应炉内产生的等离子体。因此，能够使得未附着于工件的工艺气体容易附着于附着抑制片的内侧面、即各纤维束的正面侧部分。因而，能够适当地抑制工艺气体向反应炉的内壁附着。

在上述形态的上述等离子体化学气相生长装置中，可以是，在工件上生成的膜是类金刚石碳膜，所述第一纤维束的所述纤维和所述第二纤维束的所述纤维是碳纤维。根据该结构，堆积于纤维束的正面侧部分的附着物和纤维束都是碳系的物质，所以附着物向纤维束的附着力变大。因此，即使附着物的内部应力变大，也不容易发生附着物从纤维束的剥离。

在上述形态中，可以是，在将类金刚石碳膜所含的碳中的具有金刚石构造的碳的比率设为基准比率的情况下，在上述附着抑制片中，上述碳纤维所含的碳中的具有金刚石构造的碳的比率与基准比率相等。根据该结构，附着物会堆积于具有与附着物的构造相近的构造的纤维束，所以能够进一步使附着物向纤维束的附着力变大。

在上述形态的上述等离子体化学气相生长装置中，可以在反应炉的内壁与附着抑制片之间配置固定于该内壁的固定部件，并将附着抑制片的多个部位通过束缚部件而束缚于固定部件。根据该结构，由于不是附着抑制片的整体固定于固定部件，所以在附着抑制片中的由束缚部件束缚的部位以外的部位，以附着物向正面侧部分的堆积为起因的变形不容易受到阻碍。另外，由于固定部件固定于反应炉的内壁，所以即使附着抑制片因以附着物的堆积为起因的变形而变形，固定部件也不会变形。由于附着抑制片由束缚部件束缚于固定部件，所以即使附着物堆积而附着抑制片变形，该附着抑制片也不容易向上述设置位置侧接近。因而，能够既抑制以附着物的堆积为起因的纤维束的变形受到阻碍，又抑制附着抑制片与等离子体的干涉。

附图说明

以下，参照附图对本发明的典型的实施例的特征、优点及在技术和工业上的重要性进行描述。在这些附图中，同样的标号表示同样的元素。

图1是示意性地示出等离子体化学气相生长装置的一实施方式的一部分的剖视图。

图2是示意性地示出在等离子体化学气相生长装置中束缚了附着抑制片的样态的剖视图。

图3是示意性地示出在等离子体化学气相生长装置的附着抑制片中使纤维束的一部分破裂了的状态的俯视图。

图4是示意性地示出构成附着抑制片的第一纤维束、第二纤维束的截面形状的图。

图5是示意性地示出正面侧部分与背面侧部分交替排列于第一纤维束的样态的剖视图。

图6是示意性地示出附着物堆积于第一纤维束的正面侧部分的样态的剖视图。

图7是示意性地示出另一实施方式的等离子体化学气相生长装置的附着抑制片的俯视图。

图8是示意性地示出另一实施方式的等离子体化学气相生长装置的附着抑制片的俯视图。

图9是示意性地示出另一实施方式的等离子体化学气相生长装置的附着抑制片的俯视图。

图10是示意性地示出关联技术中的附着物堆积于附着抑制片的样态的剖视图。

具体实施方式

以下，按照图1～图6对等离子体化学气相生长装置的一实施方式进行说明。如图1所示，本实施方式的等离子体化学气相生长装置11具备设置由金属等导电材料构成的工件w的反应炉12。向该反应炉12内的工件w的设置位置pa的附近供给作为工艺气体的一例的烃气体和氩等非活性的稀有气体。此外，在本说明书中，将等离子体化学气相生长装置11也称作“pcvd装置11”。

另外，在pcvd装置11设置有长条状的第一导体20和位于比第一导体20靠外侧处且与第一导体20同轴配置的筒状的第二导体30。在第二导体30的内侧面30a和与该内侧面30a对向的第一导体20的侧面20a之间形成有空间。并且，在第二导体30与第一导体20之间配置有用于限制外部气体向反应炉12内流入的密封部件41。该密封部件41的内周面与第一导体20的侧面20a紧贴，密封部件41的外周面与第二导体30的内侧面30a紧贴。此外，密封部件41由能够使微波通过的绝缘材料构成。

第一导体20的顶端位于反应炉12内，用来设置工件w。即，位于反应炉12内的第一导体20的顶端成为直接支撑工件w的支撑部21。

第二导体30接地，第二导体30的电位为“0v”。这样的第二导体30的顶端穿过形成于反应炉12的侧壁的开口部121而进入该反应炉12内。

另外，pcvd装置11具备输出微波的高频输出装置45和输出直流电压的直流电源46。在高频输出装置45设置有输出微波的输出部451，该输出部451在设置于第二导体30的贯通孔31内穿过，即不与第二导体30接触地连接于第一导体20。并且，从高频输出装置45输出的微波在第一导体20的侧面20a上流动。此时，通过第二导体30来抑制在第一导体20的侧面20a上流动的微波漏出到装置外。

另外，直流电源46连接于第一导体20，从直流电源46向第一导体20供给直流电压。并且，在第一导体20中流动的直流电流也向支撑于第一导体20的工件w流动。由此，工件w带上负的电荷。

并且，在工件w的成膜时，在直流电流这样流向工件w的状况下，从高频输出装置45输出微波。由此，微波传播至带有负的电荷的工件w的表面，在反应炉12内的工件w的附近，烃气体等离子体化而分解。其结果，在工件w的表面上生成作为基于烃气体的膜的类金刚石碳膜(以下，也称作“dlc膜”。)。

接着，对用于抑制烃气体附着于反应炉12的内壁的结构进行说明。如图1所示，在反应炉12内的比工件w的设置位置pa靠上方处，设置有固定于该反应炉12的内壁的环状的支撑部件13。该支撑部件13支撑着作为固定部件的一例的网部件50。网部件50由金属制的线材构成。该网部件50具有包围工件w的设置位置pa的圆筒形状的筒状部51和连接于筒状部51的一端的环状的凸缘52。并且，凸缘52通过螺栓55而紧固于支撑部件13。即，网部件50经由支撑部件13固定于反应炉12的内壁。

另外，在网部件50的筒状部51与工件w的设置位置pa之间配置有呈筒状的附着抑制片60。即，附着抑制片60被配置成包围设置位置pa。

如图2所示，附着抑制片60的多个部位通过由碳纤维构成的多个束缚用丝材56(束缚部件的一例)而拴在网部件50的筒状部51上。

接着，参照图3～图5对附着抑制片60的结构进行说明。如图3所示，附着抑制片60是由在第一方向x1(即，图中上下方向)上延伸的多个第一纤维束61和在作为与第一方向x1正交的方向的第二方向x2(即，图中左右方向)上延伸的多个第二纤维束62构成的织物。在本实施方式中，附着抑制片60是将第一纤维束61和第二纤维束62平织而成的织物。

如图4所示，第一纤维束61和第二纤维束62是多个碳纤维65平行排列而成的纤维束、即将多个碳纤维65并丝(日文：引き揃える)而成的纤维束。即，在各纤维束61、62中，多个碳纤维65在与多个纤维束61、62在附着抑制片60中排列的方向(即，在第一纤维束61中是图3中的左右方向，在第二纤维束62中是图3中的上下方向)相同的方向上排列。在各纤维束61、62中，将与延伸方向正交的方向中的构成各纤维束61、62的多个碳纤维65排列的方向(即，图4中的左右方向)设为宽度方向，将与延伸方向和该宽度方向的双方正交的方向设为厚度方向(即，图4中的上下方向)。在该情况下，各纤维束61、62的宽度为各纤维束61、62的厚度的5倍以上，第一纤维束61的宽度与第二纤维束62的宽度彼此相等。

此外，在工件w上生成的dlc膜是具有金刚石构造(也称作“sp3构造”。)的碳和具有碳构造(也称作“sp2构造”。)的碳混合存在的膜。dlc膜的硬度在该膜所含的碳中的具有金刚石构造的碳的比率越高时越高。另外，在向工件w生成dlc膜时堆积于附着抑制片60的附着物的组成可视为与dlc膜的组成相同。于是，将在工件w上生成的dlc膜所含的碳中的具有金刚石构造的碳的比率设为基准比率。并且，为了使纤维束61、62的构造接近堆积于该纤维束61、62的附着物的构造，作为构成各纤维束61、62的碳纤维65而采用了该碳纤维65所含的碳中的具有金刚石构造的碳的比率与该基准比率相等的碳纤维。此外，具有金刚石构造的碳的比率“相等的碳纤维”除了包括该值相同的碳纤维之外，还包括从硬度等观点来看能够视为等同的碳纤维。

如图3及图5所示，在将附着抑制片60的设置位置pa侧的面设为正面，将反应炉12的内壁侧的面设为背面的情况下，在第一纤维束61中，位于比第二纤维束62靠正面侧处且在正面露出的正面侧部分611与位于比第二纤维束62靠背面侧处且未在正面露出的背面侧部分612在第一方向x1上交替排列。同样，如图3所示，在第二纤维束62中，位于比第一纤维束61靠正面侧处且在正面露出的正面侧部分621与位于比第一纤维束61靠背面侧处且未在正面露出的背面侧部分622在第二方向x2上交替排列。

接着，参照图5及图6对向设置在反应炉12内的工件w形成dlc膜时的作用进行说明。在向工件w成膜时，如图5所示，通过等离子体化而分解后的烃气体中的未附着于工件w的烃气体的一部分附着于第一纤维束61的各正面侧部分611及第二纤维束62的各正面侧部分621。因此，在第一纤维束61的各正面侧部分611及第二纤维束62的各正面侧部分621分别堆积基于分解后的烃气体的附着物d。

另一方面，气体向第一纤维束61的各背面侧部分612的附着由第二纤维束62抑制，并且气体向第二纤维束62的各背面侧部分622的附着由第一纤维束61抑制。因此，在第一纤维束61的各背面侧部分612及第二纤维束62的各背面侧部分622都不堆积附着物d。即，在本实施方式中，在第一纤维束61及第二纤维束62中，不是在整体堆积附着物d，而是附着物d堆积的多个区域隔开间隔而存在。

若附着物d堆积于正面侧部分611、621，则会从附着物d向正面侧部分611、621施加力。附着物d向正面侧部分611、621的堆积量越增加，则这样的来自附着物d的力越大。即，如图5及图6中箭头所示，附着物d的堆积量越增加，则从附着物d向第一纤维束61的正面侧部分611施加的力和从附着物d向第二纤维束62的正面侧部分621施加的力越大。因此，如图6所示，若附着物d向正面侧部分611、621的堆积量变多，则正面侧部分611、621通过从附着物d施加的力而以向工件w的设置位置pa侧突出的方式变形。此时，通过这样的正面侧部分611、621的变形而在第一纤维束61及第二纤维束62中分别产生应力。并且，通过这样的应力，在第一纤维束61及第二纤维束62中除了正面侧部分611、621之外，背面侧部分612、622也变形。

以上，根据上述结构及作用，能够得到以下所示的效果。(1)在各纤维束61、62中，为了通过来自堆积于正面侧部分611、621的附着物d的力使正面侧部分611、621变形，必须通过该力使背面侧部分612、622也变形，所以正面侧部分611、621的变形量不容易变多。由此，能够抑制因正面侧部分611、621的变形量变大而导致堆积于正面侧部分611、621的附着物d破损的情况。因而，能够抑制反应炉12内的薄片的产生，从而抑制薄片向设置于反应炉12内的工件w附着。

(2)在本实施方式中，各纤维束61、62是将多个碳纤维65并丝而成的纤维束，所以与将多个碳纤维捻合而使各纤维束成为丝的情况相比，纤维束的柔软性高。因此，能够抑制堆积有附着物d的正面侧部分611、621的变形量变得过少，堆积于正面侧部分611、621的附着物d的内部应力不容易变大。因而，能够抑制以附着物d的内部应力的增大为起因的附着物d从正面侧部分611、621的剥离。

(3)另外，由于使第一纤维束61及第二纤维束62各自的宽度为厚度的5倍以上，所以能够充分确保第二纤维束62的背面侧部分622的第二方向x2的长度，并且能够充分确保第一纤维束61的背面侧部分612的第一方向x1的长度。因此，因正面侧部分611、621的变形而在纤维束61、62中产生的应力会向长的背面侧部分612、622分散。其结果，能够抑制背面侧部分612、622的变形，结果也能够抑制正面侧部分611、621的变形。因而，能够与纤维束61、62的正面侧部分611、621的过度变形的抑制相应地，进一步提高因这些正面侧部分611、621的变形而导致堆积于正面侧部分611、621的附着物d破损的抑制效果。

(4)在第一纤维束61及第二纤维束62中的任一方的纤维束的宽度比另一方的纤维束的宽度窄的情况下，另一方的纤维束的背面侧部分的延伸方向的长度短，在该背面侧部分处，因正面侧部分的变形而在另一方的纤维束中产生的应力不容易分散。另一方面，在该情况下，由于一方的纤维束的背面侧部分的延伸方向的长度长，所以在该背面侧部分处，因正面侧部分的变形而在一方的纤维束中产生的应力容易分散。因此，有时尽管一方的纤维束的正面侧部分没有怎么变形，另一方的纤维束的正面侧部分的变形量却会变得过大。在该情况下，由于另一方的纤维束的正面侧部分的变形量过大，所以尽管附着物d从一方的纤维束的剥离还未发生，却需要进行附着抑制片60的更换。关于这一点，在本实施方式中，由于第一纤维束61的宽度与第二纤维束62的宽度彼此相等，所以能够抑制因一方的纤维束的宽度窄而导致附着抑制片60的更换频度变高。

(5)由于筒状的附着抑制片60被配置成包围工件w的设置位置pa，所以能够通过附着抑制片60围住在反应炉12内产生的等离子体。因此，能够使得未附着于工件w的工艺气体容易附着于附着抑制片60的内侧面即各纤维束61、62的正面侧部分611、621。因而，能够适当地抑制工艺气体向反应炉12的内壁的附着。

(6)由于堆积于纤维束61、62的正面侧部分611、621的附着物d和纤维束61、62都是碳系的物质，所以附着物d向纤维束61、62的附着力变大。因此，即使附着物d的内部应力变大，也不容易发生附着物d从纤维束61、62的剥离。

(7)通过使构成纤维束61、62的碳纤维65所含的碳中的具有金刚石构造的碳的比率与上述基准比率相等，附着物d会堆积于具有与附着物d的构造相近的构造的纤维束61、62。因此，能够进一步增大附着物d向纤维束61、62的附着力。另外，由于附着物d的构造与附着抑制片60的构造相近，所以附着物d的热膨胀率与附着抑制片60的热膨胀率几乎相等。因此，在热施加于附着抑制片60而附着抑制片60及附着物d发生了热膨胀时，附着物d的热膨胀量成为与附着抑制片60的热膨胀量相同的程度。因而，即使附着抑制片60发生了热膨胀，也能够抑制附着物d从该附着抑制片60的剥离。

(8)通过束缚用丝材56将附着抑制片60的多个部位束缚于固定于反应炉12的内壁的网部件50。因此，在附着抑制片60中的由束缚用丝材56束缚的部位以外的部位，以附着物d向正面侧部分611、621的堆积为起因的纤维束61、62的变形不容易受到阻碍。而且，即使纤维束61、62因附着物d的堆积而变形，固定于反应炉12的内壁的网部件50也不会变形，所以附着抑制片60不容易接近设置位置pa。因而，能够既抑制以附着物d的堆积为起因的纤维束61、62的变形受到阻碍，又抑制附着抑制片60与等离子体的干涉。

(9)另外，由于附着抑制片60通过多个束缚用丝材56而安装于网部件50，所以通过拆卸螺栓55而解除网部件50向反应炉12的内壁的固定，能够容易地使附着抑制片60与网部件50一起从反应炉12内脱离。因此，与附着抑制片60通过多个束缚用丝材56直接安装于反应炉12的内壁的情况相比，能够容易地更换附着抑制片60。

(10)另外，由于即使附着物d这样堆积也能够抑制附着抑制片60向设置位置pa的接近，所以无需为了抑制附着抑制片60与等离子体的干涉而将附着抑制片60从设置位置pa大幅离开地配置，能够采用小型的反应炉作为反应炉12。即，能够谋求pcvd装置11的小型化。

此外，上述实施方式也可以变更为以下那样的另外的实施方式。通过束缚用丝材56而束缚有附着抑制片60的固定部件只要具有即使从附着抑制片60施加基于以附着物d的堆积为起因的纤维束61、62的变形的力也不会变形的程度的刚度即可，也可以是网部件50以外的部件。例如，也可以采用由铝等的金属板构成的筒体作为固定部件。

也可以不经由固定部件地将附着抑制片60直接安装于反应炉12的内壁。也可以用具有金刚石构造的碳的比率与上述基准比率不同的碳纤维构成纤维束61、62。即使在该情况下，也能够得到与(1)～(6)及(8)～(10)同等的效果。此外，在抑制附着物d的剥离的观点上，优选使纤维束61、62中的具有金刚石构造的碳的比率尽可能接近上述基准比率。

纤维束61、62只要是因来自堆积的附着物d的力而变形的纤维束即可，也可以由碳纤维以外的纤维构成。即使在该情况下，也能够得到与上述(1)～(5)及(8)～(10)同等的效果。

附着抑制片可以不呈筒状。即使在该情况下，通过将多张附着抑制片配置成围住上述设置位置pa，也能够抑制附着物d向反应炉12的内壁的堆积。

各纤维束只要是因来自堆积的附着物d的力而变形的纤维束即可，也可以是多个纤维平行排列而成的纤维束以外的纤维束。例如，作为这样的纤维束，可举出将多个纤维捻合而成的丝。

在上述实施方式中，附着抑制片60通过将宽度相同的第一纤维束61与第二纤维束62平织而构成。但是，例如如图7所示，附着抑制片60a可以是将第二纤维束62与宽度比第二纤维束62的宽度宽的第一纤维束61a平织而成的织物。通过将这样的附着抑制片60a设于反应炉12内，能够得到与上述(1)～(3)及(5)～(10)同样的效果。

另外，与图7所示的情况相反，附着抑制片也可以是将第一纤维束61与宽度比第一纤维束61的宽度宽的第二纤维束平织而成的织物。附着抑制片只要是由多个第一纤维束和多个第二纤维束构成的织物且正面侧部分与背面侧部分沿着纤维束的延伸方向而交替排列即可，也可以是以平织以外的织法构成的织物。例如，如图8所示，附着抑制片60b可以是将第一纤维束61与第二纤维束62斜织而成的织物。通过将这样的附着抑制片60b设于反应炉12内，能够得到与上述实施方式同样的效果。

另外，如图9所示，附着抑制片也可以是将宽度不同的纤维束斜织而成而织物。例如，附着抑制片60c可以是将第一纤维束61与宽度比第一纤维束61的宽度窄的第二纤维束62a斜织而成的织物。通过将这样的附着抑制片60c设于反应炉12内，能够得到与上述(1)～(3)及(5)～(10)同样的效果。

只要附着物d不会因以来自堆积于正面侧部分611、621的附着物d的力为起因的正面侧部分611、621的变形而从正面侧部分611、621剥离即可，纤维束61、62的宽度也可以小于纤维束61、62的厚度的5倍。

在上述实施方式中，通过在彼此正交的方向上延伸的第一纤维束61和第二纤维束62构成了附着抑制片60。但是，只要在第一纤维束61中正面侧部分611与背面侧部分612交替排列并且在第二纤维束62中正面侧部分621与背面侧部分622交替排列即可，也可以将以第一纤维束61与第二纤维束62所成的角不为直角的织法构成的附着抑制片设置于反应炉12内。

也可以将在反应炉12内设置上述附着抑制片60的pcvd装置11具体化为用于在工件w上生成dlc膜以外的膜的装置。