一种在钒合金基底上制备Er2O3涂层的方法与流程

文档序号:12699186阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种在钒合金基底上制备Er2O3涂层的方法,其特征在于具体步骤如下:

1)、钒合金基底的预处理

将一定厚度的钒合金板利用线切割的方式切割成所需大小,再分别用600-5000目砂纸打磨,并抛光成镜面,用无水乙醇洗净,然后吹干;

2)、溶胶配制

称取一定质量的Er(NO3)3·5H2O溶于无水乙醇中并加入体积分数为3-5%的火棉胶,利用电磁搅拌制成浓度为0.4M-0.6M的溶胶,然后将溶胶密封保存;

3)、在钒合金基底上制备Er2O3涂层

将处理好的钒合金固定在旋涂机上,利用滴管滴加适量的溶胶于钒合金片上,先以低速旋涂,再以高速旋涂;将旋涂好的试样放置于真空干燥箱内,分2步加热真空干燥,然后炉冷;利用高温管式炉将干燥后的试样进行热处理,采用炉内冷却;

4)、重复步骤3)以达到需要的涂层厚度。

2.如权利要求1所述一种在钒合金基底上制备Er2O3涂层的方法,其特征在于步骤3)所述低速旋涂旋速为600-1000rpm,旋涂时间5-9s;高速旋涂旋速4000-6000rpm,旋涂时间20s-40s。

3.如权利要求1所述一种在钒合金基底上制备Er2O3涂层的方法,其特征在于步骤3)所述的2步真空干燥是:1)从室温加热至40-50℃时真空干燥30-50min,2)继续升温,在温度达到70-85℃时再真空干燥30-50min。

4.如权利要求1所述一种在钒合金基底上制备Er2O3涂层的方法,其特征在于步骤3)所述的热处理过程是在氩气气氛保护下进行,氩气流速为130-180sccm,热处理温度为550-650℃,保温时间为40-75min,采用炉内冷却。

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