线材卷绕镀膜机的制作方法

文档序号:12646372阅读:来源:国知局

技术特征:

1.线材卷绕镀膜机,其特征在于:包括真空腔室(1),于所述真空腔室(1)的内部设置带有线材的卷绕系统、用于在线材表面镀膜的镀膜系统、用于冷却的水冷铜板(23)及用于喷涂硅油的喷硅油装置(18),在所述真空腔室(1)的一侧还设置用于保持真空腔室(1)内高真空环境的抽真空系统;

所述抽真空系统的具体结构如下:

包括带有主阀阀门(3)的主阀(2),所述主阀(2)的入口与真空腔室(1)连通,所述主阀(2)的出口通过第一真空管(4)连接粗抽阀门(5),所述粗抽阀门(5)通过第二真空管道(6)分别连接精抽阀门(7)及前级泵(8),所述精抽阀门(7)还与扩散泵(9)连接;

所述卷绕系统的具体结构如下:

包括放辊(13)及收辊(21),所述放辊(13)与收辊(21)之间通过需要镀膜的同一组线材顺序连接第一导向辊(14)、第二导向辊(15)、第三导向辊(17)及第四导向辊(19);

所述镀膜系统的具体结构如下:

包括设置镀膜室(16),于所述镀膜室(16)内分别设置上平面靶(22)及下平面靶(25)。

2.如权利要求1所述的线材卷绕镀膜机,其特征在于:所述线材按序经过第一导向辊(14)、第二导向辊(15)、并沿第三导向辊(17)表面一次卷绕折返至第二导向辊(15),然后沿第二导向辊(15)表面二次卷绕后按序经过第三导向辊(17)及第四导向辊(19)。

3.如权利要求1所述的线材卷绕镀膜机,其特征在于:于所述真空腔室(1)的入口段还设置用于控制真空腔室(1)内气压范围的节流阀(10)。

4.如权利要求1所述的线材卷绕镀膜机,其特征在于:所述放辊(13)与放辊电机(11)的输出端连接,所述收辊(21)与收辊电机(12)的输出端连接。

5.如权利要求1所述的线材卷绕镀膜机,其特征在于:所述镀膜室(16)设置于第二导向辊(15)、第三导向辊(17)的外围。

6.如权利要求1所述的线材卷绕镀膜机,其特征在于:于所述上平面靶(22)及下平面靶(25)之间、在所述镀膜室(16)的一侧还设置充气管(24),所述水冷铜板(23)与下平面靶(25)均固定于镀膜室(16)的底板上。

7.如权利要求1所述的线材卷绕镀膜机,其特征在于:于收辊(21)及第四导向辊(19)之间、在所述真空腔室(1)内还设置用于使线材卷缠绕均匀的拨线装置(20)。

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