线材卷绕镀膜机的制作方法

文档序号:12646372阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及线材卷绕镀膜机,包括真空腔室,于所述真空腔室的内部设置带有线材的卷绕系统、用于在线材表面镀膜的镀膜系统、用于冷却的水冷铜板及用于喷涂硅油的喷硅油装置,在所述真空腔室的一侧还设置用于保持真空腔室内高真空环境的抽真空系统;本结构体积小巧简洁,利用本发明可以实现在线材上镀银、金、镍等金属材料或氧化硅等非金属材料,镀膜后的线材可用于医疗行业的可吸收免拆型手术线材等领域。喷硅油装置可以在线材表面喷射保护性材料,大大提高线材的寿命。镀膜室的设计可以使工作时沉积在室壁上的贵重金属材料回收再利用,大大降低镀膜成本。在本发明中将线材进行多倍折返能使沉积时间成倍增加,大大提高了靶的利用率。

技术研发人员:陈自新;朱海锋;郑立冬;李伟
受保护的技术使用者:无锡光润真空科技有限公司
文档号码:201710209133
技术研发日:2017.03.31
技术公布日:2017.06.13

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