本实用新型涉及到硅单晶片的研磨工序，具体的说是一种硅单晶片研磨工艺中中心齿圈高度调整装置。
背景技术：
硅单晶片的研磨工艺主要目的是去除硅单晶片切割工序中产生的线痕和损伤层，并使硅片表面具有一定的几何尺寸精度。由于目前的单晶切割工艺多采用线切割，在大幅提高生产效率的同时，线切割工艺会使硅片表面留下线痕，同时产生深度约20~50μm的双面损伤层，这就需要对硅片进行双面研磨，以改善硅片的形状精度。
目前对于直径小于200mm的硅片常采用双面研磨技术对硅片进行双面研磨加工， 上、下研磨盘作相反方向转动，上、下研磨盘加入相宜的液体研磨料，使硅片随着游星盘做相对的行星运动，并对硅片分段加速、加压进行双面研磨加工。液体研磨料（磨液）主要由磨砂（氧化铝微粉）、纯水和悬浮剂组成。磨削阻力小，不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高。有厚度控制系统，加工后的产品厚度公差可控制。
目前所使用的双面研磨机的游星盘有内、外齿圈带动，在上下研磨盘中间做行星运动。但是中心齿圈长期带动游星盘，会使是啮合部分磨出沟槽，会导致游星盘在工作中跳动致使硅片破碎报废，还可能导致游星盘卷坏。因此，在工作一段时间后需要调整中心齿圈的高度，让过磨损部分。现在的中心齿圈调整方法是：顶起中心齿圈，将中心齿圈取出，通过增加或减少下面树脂垫片来调整中心齿圈的高低。这种方法不但费时费力，并且调整的高度不易控制，中心齿圈重量比较大，有伤人的危险。
技术实现要素：
为解决现有采用增加或减少中心齿圈下的树脂垫片来调整中心齿圈高低的方法存在的调整高度不易控制、费时费力而且有安全风险的问题，本实用新型提供了一种硅单晶片研磨工艺中中心齿圈高度调整装置，该装置通过在中心齿圈上设置若干螺纹孔，并在每个螺纹孔内设置带刻度尺的螺纹升降杆，通过拧动每根螺纹升降杆，实现了调整中心齿圈的高度，不仅安全省时省力，而且调整的高度也容易掌控。
本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种硅单晶片研磨工艺中中心齿圈高度调整装置，环绕中心齿圈的中心均匀设置有至少三个的螺纹孔，每个螺纹孔内设置有与其螺纹配合的螺纹升降杆，每根螺纹升降杆的底部均固定设置在一轴承的内圈中，每个轴承固定设置在一轴承座内，每根螺纹升降杆的顶部均穿过与其对应的螺纹孔后形成凸出于中心齿圈上表面的卡接头，该卡接头与扳手配合以拧动螺纹升降杆，在螺纹升降杆上沿其高度方向设置有刻度尺。
作为本实用新型的一种优选方案，所述轴承座的底部水平，以使其平稳放置。
作为本实用新型的另一种优选方案，所述轴承的顶面设置有密封轴承的轴承端盖。
作为本实用新型的再一种优选方案，所述螺纹孔为4个、6个或8个，且均匀分布，每个螺纹孔内的螺纹升降杆高度相等。
作为本实用新型的又一种优选方案，所述卡接头为设置在螺纹升降杆顶端的内凹多边形孔（如三角形、四边形、五边形、六边形、八边形等），该内凹多边形孔与扳手上的多边形凸起相配合。
有益效果：本实用新型通过在中心齿圈上设置若干螺纹孔，并在每个螺纹孔内设置带刻度尺的螺纹升降杆，在需要调整中心齿圈的高度时，通过依次拧动每根螺纹升降杆，并通过观察记录每根螺纹升降杆上的刻度尺来掌控每根螺纹升降杆的升降刻度，从而实现了中心齿圈的高度调整，不仅安全省时省力，而且调整的高度也容易掌控；与现有技术相比，本装置结构简单、使用方便，无需每次调整齿圈高度都需将中心齿圈取下，可以随意调整中心齿圈高度，不再受垫片局限，安全可靠。
附图说明
图1为本实用新型中心齿圈的结构示意图；
图2为本实用新型螺纹升降杆的结构示意图；
附图标记：1、中心齿圈，2、螺纹孔，3、螺纹升降杆，4、轴承，5、轴承座，6、轴承端盖，7、卡接头，8、刻度尺。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1和2所示，一种硅单晶片研磨工艺中中心齿圈高度调整装置，环绕中心齿圈1的中心均匀设置有至少三个的螺纹孔2，每个螺纹孔2内设置有与其螺纹配合的螺纹升降杆3，每根螺纹升降杆3的底部均固定设置在一轴承4的内圈中，将螺纹升降杆3底部设置在轴承4内的目的是，在扭动螺纹升降杆3时比较轻松，防止螺纹升降杆3直接顶在底盘上导致扭动螺纹升降杆3更加费力，致使螺纹升降杆3和中心齿圈1损坏；每个轴承4固定设置在一轴承座5内，每根螺纹升降杆3的顶部均穿过与其对应的螺纹孔2后形成凸出于中心齿圈1上表面的卡接头7，该卡接头7与扳手配合以拧动螺纹升降杆3，在螺纹升降杆3上沿其高度方向设置有刻度尺8。
以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的优化、改进和限定：
如，所述轴承座5的底部水平，以使其平稳放置，轴承座5的作用是，不仅可以装轴承4，还可以使螺纹升降杆3的下端有较大的受力面积，使中心齿圈1更平稳；
又如，所述轴承4的顶面设置有密封轴承4的轴承端盖6，可以减少磨液和硅粉进入轴承4，导致轴承4的损坏；
再如，所述螺纹孔2为4个、6个或8个，优选为6个，每个螺纹孔2内的螺纹升降杆3高度相等。
最后，所述卡接头7为设置在螺纹升降杆3顶端的内凹多边形孔（如三角形、四边形、五边形、六边形、八边形等），该内凹多边形孔与扳手上的多边形凸起相配合。
本实用新型在需要调整中心齿圈1的高度时，将扳手卡在其中一根螺纹升降杆3顶部的卡接头7上，然后拧动扳手，此时下端轴承4会旋转，只需较小的力就可以扭动螺纹升降杆3，进而带动中心齿圈1上下移动，通过刻度尺8记录中心齿圈1升降后的位置，而后，再用扳手采用相同的方法依次拧动其余螺纹升降杆3，并使中心齿圈1升降至相同的刻度，实现了中心齿圈1的水平，防止了倾斜。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。