本实用新型涉及抛光技术领域，更具体地，涉及一种用于标定光学终点检测模块的工装。
背景技术：
相关技术中，对光学终点检测模块的安装标定方式主要有两种，其中一种是根据CMP(化学机械抛光)抛光盘的窗口位置、光学终点检测模块的安装位置以及高度等尺寸计算出理论的光学终点检测模块的出射角度，从而安装到CMP抛光盘内进行后续检测标定，机械加工精确度和误差控制的要求高，加工成本高，加工周期长；另一种是直接安装到CMP抛光盘内，根据出光情况，拆下CMP抛光盘内的光学终点检测模块进行调节，直到达到要求后再放入抛光盘内，对操作人员的专业技能要求高，对模块做调整需要多次拆卸抛光盘，效率低，费时费力。
技术实现要素：
本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
为此，本实用新型提出一种用于标定光学终点检测模块的工装，所述工装拆装简单，节约生产成本。
根据本实用新型的用于标定光学终点检测模块的工装，所述光学终点检测模块设在所述工装内以调整所述光学终点检测模块的出光角度，所述工装包括：托盘，所述光学终点检测模块设在所述托盘上，沿着所述托盘的周向上多个固定孔间隔开排布；多个支脚，多个所述支脚分别与所述固定孔螺纹连接，且通过所述支脚上的固定件锁死固定在所述托盘的下表面上以调平所述托盘；上盘，所述上盘设在所述托盘上，所述上盘朝向所述托盘的一侧设有腔室，所述光学终点检测模块容纳在所述腔室内，所述上盘设有第一透光区域；抛光垫，所述抛光垫设在所述上盘的上表面，所述抛光垫上设有第二透光区域，所述第一透光区域和所述第二透光区域的位置对应布置以使得所述光学终点检测模块的出射光线通过所述第一透光区域和所述第二透光区域射出。
根据本实用新型的用于标定光学终点检测模块的工装，通过利用该工装模拟光学终点检测模块的安装、检测标定的情况，可用于调整光学终点检测模块的出光角度，对光学终点检测模块的机械加工精度要求较低，加工周期短，造价低，可在线下对光学终点检测模块的光线强度进行检测标定，可反复调试检测，拆装简单，此外，在线下检测标定成功后，可一次性装入CMP抛光盘内，节省了操作步骤，可用做量产标定光学终点检测模块。
根据本实用新型的一个实施例，所述光学终点检测模块固定在所述托盘的与所述腔室对应的位置上，所述腔室形成为与所述光学终点检测模块相配合的形状。
根据本实用新型一个可选的示例，所述腔室的壁面与所述光学终点检测模块之间的间隙最小不超过5mm。
根据本实用新型的另一个实施例，所述第一透光区域为透过孔。
根据本实用新型的又一个实施例，所述第一透光区域为滤光片。
根据本实用新型的再一个实施例，所述光学终点检测模块的出射光线与所述第二透光区域边沿的距离为L，其中1mm≤L≤2mm。
根据本实用新型可选的实施例，所述抛光垫粘贴在所述上盘的上表面上，所述抛光垫的上表面设有不同材质的晶圆。
进一步地，所述托盘、所述上盘和所述抛光垫均为圆形。
可选地，所述托盘上设有适于所述光学终点检测装置的连接线穿过的通孔。
可选地，所述托盘和所述上盘通过定位销孔结构进行定位。
本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是根据本实用新型实施例的用于标定光学终点检测模块的工装的示意图；
图2是根据本实用新型实施例的用于标定光学终点检测模块的工装的托盘的示意图；
图3是根据本实用新型实施例的用于标定光学终点检测模块的工装的上盘的俯视图；
图4是根据本实用新型实施例的用于标定光学终点检测模块的工装的上盘的仰视图；
图5是根据本实用新型实施例的用于标定光学终点检测模块的工装的抛光垫的示意图。
附图标记：
100：工装；
10：托盘；10a：固定孔；10b：定位销孔；10c：通孔；
20：支脚；21：固定件；
30：上盘；30a：腔室；31：第一透光区域；
40：抛光垫；41：第二透光区域。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面参考图1-图5描述根据本实用新型实施例的用于标定光学终点检测模块的工装100。
如图1所示，根据本实用新型实施例的用于标定光学终点检测模块的工装100包括托盘10、多个支脚20、上盘30和抛光垫40。
具体地，光学终点检测模块(图中未示出)设在工装100内，这样工装100可以对光学终点检测模块的出光角度进行反复调整，直到光学终点检测模块的出光角度满足实际生产需求为止。
其中，光学终点检测模块设置在托盘10上，沿着托盘10的周向上多个固定孔10a间隔开排布，多个支脚20分别与对应的固定孔10a螺纹连接，然后通过支脚20上的固定件21(例如可以是螺母)进行锁死，且固定在托盘10的下表面上，使得托盘10的整个表面保持水平，支脚20对托盘10具有支撑作用。
上盘30设置在托盘10上，在上盘30朝向托盘10的一侧设有腔室30a，光学终点检测模块容纳在腔室30a内，抛光垫40设在上盘30的上表面，此外在上盘30设有第一透光区域31，在抛光垫40上设有第二透光区域41，第一透光区域31和第二透光区域41的位置对应布置，即第一透光区域31和第二透光区域41对齐布置，保持第一透光区域31和第二透光区域41一致，以使得光学终点检测模块的出射光线可以通过第一透光区域31和第二透光区域41射出。
根据本实用新型实施例的用于标定光学终点检测模块的工装100，通过利用该工装100模拟光学终点检测模块的安装、检测标定的情况，进而模拟CMP抛光盘内部的位置和尺寸，可用于调整光学终点检测模块的出光角度，对光学终点检测模块的机械加工精度要求较低，加工周期短，造价低，可在线下对光学终点检测模块的光线强度进行检测标定，可反复调试检测，拆装简单，此外，在线下检测标定成功后，可一次性装入CMP抛光盘内，节省了操作步骤，可用做量产标定光学终点检测模块。
需要说明的是，在托盘10上设置有多个螺丝孔，多个螺丝孔在托盘10上间隔开布置，光学终点检测模块通过螺丝连接在托盘10上，在托盘10上设置有多个螺丝孔，多个螺丝孔分布在托盘10的不同角度的方向上，螺丝与螺丝孔配合连接以将光学终点检测模块固定在托盘10上。
如图2-图4所示，根据本实用新型的一个实施例，光学终点检测模块固定在托盘10的与腔室30a对应的位置上，这样，将上盘30设置在托盘10上时，进一步地，腔室30a形成为与光学终点检测模块相配合的形状，如腔室30a的截面形成为大致梯形(一端的尺寸大于另一端的尺寸)，以用于恰好容纳光学终点检测模块。
根据本实用新型一个可选的示例，腔室30a的壁面与光学终点检测模块之间的间隙最小不超过5mm，可以理解的是，腔室30a的壁面与光学终点检测模块之间的间隙大约为5mm，即该间隙的最大值可以大于5mm，该间隙的最小值可以小于5mm，这样既可以保证光学终点检测模块可以恰好位于腔室30a内，对光学终点检测模块具有一定的固定作用，也可以避免空间的浪费。
如图4所示，根据本实用新型的另一个实施例，第一透光区域31设在腔室30a的一端(尺寸较大的一端)，第一透光区域31可以为透过孔，即腔室30a通过透过孔与上方贯通，位于腔室30a内的光学终点检测模块直接通过透过孔射出。
根据本实用新型的又一个实施例，第一透光区域31还可以为滤光片，这样，通过第一透光区域31就可以用来选取所需辐射波段的光，以满足实际的生产需求。
根据本实用新型的再一个实施例，光学终点检测模块的出射光线与第二透光区域41边沿的距离为L，其中1mm≤L≤2mm，例如L可以为1mm、1.2mm、1.4mm、1.6mm、1.8mm或者2mm，具体的距离可以根据实际的生产需求进行设定，通过将光学终点检测模块的出射光线与第二透光区域41边沿的距离设定在上述范围之内，可以确保光学终点检测模块的光线从第二透光区域41内射出。
具体地，在调试检测时查看出射光线是否能从第二透光区域41正常出光，否则取下上盘30，反复调节光学终点检测模块的出光角度，直至能够正常出光为止，并且要求出射光线离第二透光区域41的下侧边沿较近，即相距1-2mm，以便使出射光线可以从第二透光区域41反射回去。
根据本实用新型可选的实施例，抛光垫40采用胶水等粘贴在上盘30的上表面上，操作简单易行，无需多余的连接部件，节约成本，在抛光垫40的上表面设有不同材质的晶圆，进而可以采集不同材质的光强信号数据，以便于对光学终点检测模块进行标定。
通过在抛光垫40的表面上设有不同材质的晶圆，并可在上面放置一定重量的砝码，以模拟抛光头压在晶圆以及CMP抛光盘表面，通过采集不同材质的光强信号数据，即可完成光学终点检测模块的标定。取下上盘30，取下标定好的光学终点检测模块可直接放入CMP抛光盘中进行实际应用。
如图1所示，进一步地，托盘10、上盘30和抛光垫40均为圆形，以与抛光盘的结构尺寸相匹配，进而可以模拟抛光盘的实际工况。
如图2所示，可选地，托盘10上设有适于光学终点检测装置的连接线穿过的通孔10c，例如通孔10c形成为椭圆形孔，通过通孔10c可以将光学终点检测模块的相关连接线向下穿出，从通孔10c的底部连接到外部电源端口、信号检测端口等。
可选地，托盘10和上盘30通过定位销孔10b结构进行定位，在托盘10上设有多个定位销孔10b，多个定位销孔10b沿着托盘10的周向布置，通过定位销插入定位销孔10b内以将托盘10和上盘30进行定位，使得上盘30对齐安装在托盘10上，操作方便，安装时容易辨认，进而提高了装配效率。
本实用新型中的用于标定光学终点检测模块的工装100的体积小，可以模拟CMP抛光盘内部相对位置和尺寸，同时可以模拟光学终点检测模块装入抛光盘内的情况，用于调整光学终点检测模块的出光角度，可仿真透光窗口，线下对光学终点检测模块的光强进行检测标定，标定成功后，可一次性装入CMP抛光盘内，节省了装配步骤，提高了操作效率，可用做量产标定光学终点检测模块。
根据本实用新型实施例的用于标定光学终点检测模块的工装100的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。