一种新型二硼化钛靶材的制作方法

本实用新型涉及一种新型二硼化钛靶材，属于靶材的技术领域。

背景技术：

二硼化钛具有硬度高、熔点高、导电率高和热导率高、化学稳定性优良等一系列优异的理化性能，将二硼化钛涂覆在基体表面上的材料，在耐磨、耐腐蚀、抗高温、微电子等领域具有广阔的应用前景，与其他沉积方法相比，射频磁控溅射法具有成膜坚固、成膜条件和厚度易于控制、均匀性和重复性好等优点。

技术实现要素：

实用新型目的：为了克服产生不耐磨损、在高温下易破裂的问题，本实用新型提供一种新型二硼化钛靶材。

工艺方案：本实用新型公开一种新型二硼化钛靶材，包括不锈钢片基体、二氧化钛涂层、保护涂漆层，所述不锈钢片基体上溅射二氧化钛涂层，所述二氧化钛涂层上层覆盖保护涂漆层。

进一步，所述二氧化钛涂层厚度为40nm。

进一步，所述不锈钢片基体要用丙酮和酒精清洗干燥。

本实用新型具有以下优点通过二硼化钛涂层大幅度提高了基片的硬度，通过保护涂漆层不易被老化磨损，使用寿命更长。

附图说明

图1：本实施例一种新型二硼化钛靶材的结构示意图。

图中：不锈钢片基体-1、二氧化钛涂层-2、保护涂漆层-3。

具体实施方式

以下结合附图并通过具体实施例对本实用新型做进一步阐述，应当指出：对于本工艺领域的普通工艺人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

实施例1：

如图1所示一种新型二硼化钛靶材，包括不锈钢片基体1、二氧化钛涂层2、保护涂漆层3，所述不锈钢片基体1要用丙酮和酒精清洗干燥，所述不锈钢片基体1上溅射二氧化钛涂层2，所述二氧化钛涂层2厚度为40nm，所述二氧化钛涂层2上层覆盖保护涂漆层3，本实用新型具有以下优点通过二硼化钛涂层大幅度提高了基片的硬度，通过保护涂漆层不易被老化磨损，使用寿命更长。