蒸发源及蒸镀设备的制作方法

本公开的实施例涉及一种蒸发源及蒸镀设备。

背景技术：

蒸镀是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料使之气化，气化粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。其物理过程主要包括：镀膜材料蒸发或升华为气化粒子，之后气化粒子快速从蒸发源向基片表面输送，气态粒子附着在基片表面后形核、长大，形成固体薄膜，最后薄膜原子重构或产生化学键合形成稳定的膜层结构。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、所形成的膜层纯度和致密性高等优点。

技术实现要素：

本公开至少一实施例提供一种蒸发源，包括：容器本体；至少一个喷嘴，设置在所述容器本体的外表面，其中，所述至少一个喷嘴与所述容器本体为一体结构。

例如，本公开至少一实施例提供的蒸发源中，所述容器本体包括顶壁，所述至少一个喷嘴设置于所述顶壁的外表面，所述容器本体还包括与所述顶壁相对的底壁以及连接所述顶壁和所述底壁的侧壁，所述侧壁包括第一侧壁，所述第一侧壁具有开口；所述蒸发源还包括加料槽，所述加料槽设置在所述容器本体内，且通过所述开口与所述容器本体可拆卸安装。

例如，本公开至少一实施例提供的蒸发源中，与所述第一侧壁相邻的至少一个侧壁具有凹槽；所述加料槽具有与所述凹槽相配合的突出部。

例如，本公开至少一实施例提供的蒸发源中，所述侧壁还包括与所述第一侧壁相邻的第二侧壁和第三侧壁，所述第二侧壁和所述第三侧壁具有凹槽。

例如，本公开至少一实施例提供的蒸发源还包括：平稳气流板，所述平稳气流板具有多个通孔，设置在所述加料槽与所述喷嘴之间。

例如，本公开至少一实施例提供的蒸发源中，所述加料槽的内壁的顶部具有连贯的嵌槽，所述平稳气流板嵌设在所述嵌槽内。

例如，本公开至少一实施例提供的蒸发源还包括：格栅，设置于所述加料槽的侧壁以将所述加料槽分为多个子区域，并且每个所述子区域与一个或多个所述喷嘴相对应。

例如，本公开至少一实施例提供的蒸发源中，所述格栅连接于所述加料槽的侧壁，并与所述加料槽的底壁具有间隔。

例如，本公开至少一实施例提供的蒸发源还包括：加热装置，设置在所述侧壁上。

例如，本公开至少一实施例提供的蒸发源中，所述加热装置为加热网，并且包括：第一加热网，设置在所述侧壁上的靠近所述喷嘴的一侧；第二加热网，设置在所述侧壁上的远离所述喷嘴的一侧。

例如，本公开至少一实施例提供的蒸发源还包括：温度传感器，设置在所述容器本体内，并与所述喷嘴对应设置。

例如，本公开至少一实施例提供的蒸发源还包括：封盖，用于密封所述开口。

例如，本公开至少一实施例提供的蒸发源还包括：第一保温层，设置在所述喷嘴的侧壁外围。

例如，本公开至少一实施例提供的蒸发源还包括：第二保温层，设置在所述容器本体外围。

本公开至少一实施例提供一种蒸镀设备，包括上述任一所述的蒸发源。

本公开实施例提供的蒸发源的喷嘴与容器本体为一体结构，在进行蒸发操作时喷嘴不易堵塞，且不用拆卸。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，而非对本公开的限制。

图1为本公开一实施例提供的蒸发源的示意图；

图2为本公开一实施例提供的加料槽的示意图；

图3为本公开一实施例提供的加料槽的另一示意图；

图4为本公开一实施例提供的平稳气流板嵌设在加料槽上的示意图；

图5为本公开一实施例提供的蒸发源的另一示意图；

图6为本公开一实施例提供的蒸发源外表面设置加热装置的示意图；

图7为本公开一实施例提供的蒸发源的再一示意图；

图8为本公开一实施例提供的蒸发源的再另一示意图；

图9为本公开一实施例提供的蒸镀设备的示意图。

具体实施方式

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

蒸镀设备的蒸发源对于蒸镀膜层的性能起到非常关键的作用。在目前的蒸镀设备中，蒸镀源通常利用螺丝将用于输出蒸镀材料的喷嘴与蒸发源主体固定在一起。在对蒸镀源加料的过程中，需要通过拧螺丝拆卸喷嘴以及拆卸包括喷嘴的盖体。因此在加料过程中，往往会出现因螺丝拧得过紧或过松而导致的不良情况。例如，当螺丝拧得过紧时，其拆卸较费力，严重时还会出现螺丝断裂的情况；例如，当螺丝拧得过松时，可能出现喷嘴处材料泄漏的情况，导致蒸镀设备所蒸镀的膜层厚度出现问题，并且蒸镀设备内蒸镀材料剩余量降低，影响蒸镀设备继续生产。

本公开至少一实施例提供一种蒸发源，包括：容器本体；至少一个喷嘴，设置在容器本体的外表面，其中，至少一个喷嘴与容器本体为一体结构。

本公开至少一实施例提供的一种蒸镀设备，包括上述蒸发源。

下面通过几个具体的实施例对本公开的蒸发源以及蒸镀设备进行说明。

实施例一

本实施例提供一种蒸发源，如图1所示，该蒸发源包括容器本体101和至少一个喷嘴102。该至少一个喷嘴102设置在容器本体101的外表面，并且至少一个喷嘴102与容器本体101为一体结构。

需要注意的是，容器本体101的形状可以为圆柱形、棱柱形等，例如为长方体形或其他多边棱柱形等。本实施例是以容器本体101为长方体形为例进行说明的，但是本实施例中容器本体101的形状并不限于此。

例如，蒸发源的容器本体101包括顶壁1013，至少一个喷嘴102设置于顶壁1013的外表面。例如，容器本体101还包括与顶壁1013相对的底壁(在顶壁1013的对侧，图中未示出)以及连接顶壁1013和底壁的侧壁。例如，侧壁包括第一侧壁1011，第一侧壁具有开口。例如，蒸发源还可以包括如图2所示的加料槽103，加料槽103设置在容器本体101内，且通过开口与容器本体101可拆卸安装。

例如，图1中示出了蒸发源包括五个喷嘴102的情况，其中该五个喷嘴102可以都与容器本体101为一体结构，当然，在本实施例的其他示例中，也可以为其中的几个喷嘴102与容器本体101为一体结构。本实施例中，喷嘴102的个数也可以为其他数量，该数量是可以根据实际生产情况来进行选择的，本实施例对此不做限定。

本实施例中，由于蒸发源的喷嘴102与容器本体101为一体结构，因此该蒸发源在进行蒸发操作时喷嘴102不易堵塞，且不用拆卸。该设置可以改善蒸发源的蒸发效果，节省喷嘴102的拆卸时间，进而可以提高蒸发源的工作效率。

本实施例中，如图1所示，第一侧壁1011可以具有开口，例如整个第一侧壁1011设置为开口，或者可以根据需要，第一侧壁1011的部分具有开口，也就是，并非形成为第一侧壁具有整体开口。本实施例中，当加料槽103被安装在容器本体101内部之后，为了避免泄露且蒸发源的稳定性，需要将第一侧壁1011的开口封闭，甚至密封，由于第一侧壁1011为整个容器本体中短边侧的侧壁，其表面积较小，在将第一侧壁1011的开口密封时所可能采用的密封零件，例如螺丝的使用数量较少，因此可以减小加料槽103换料过程中对密封零件进行拆卸的时间，从而提高蒸发源的工作效率，而且能够进一步提升蒸发源的密封性能，防止蒸发材料泄露，且易于组装。

例如，本实施例中，如图1和2所示，容器本体101的与第一侧壁1011相邻的至少一个侧壁具有凹槽1032(例如设置在图1中的虚线框位置处)，加料槽103具有与凹槽1032相配合的突出部1031，从而加料槽103可以在突出部1031和凹槽1032的配合下滑入、滑出容器本体101，从而方便加料槽103与容器本体101的拆卸操作。

例如，本实施例中，侧壁还包括与第一侧壁1011相邻的第二侧壁和第三侧壁。例如，如图1所示，第二侧壁1012和第三侧壁(例如图1中第二侧壁1012对侧的侧壁，图中未示出)均具有凹槽1032，加料槽103具有与上述凹槽1032相配合的突出部1031，从而加料槽103可以在其两侧的突出部1031与凹槽1032的配合下滑入、滑出容器本体101，使加料槽103的拆卸操作更方便、流畅，且蒸发源的密封性能、稳定性能更好。例如，在本实施的其他示例中，容器本体101的与第一侧壁1011相对的第四侧壁例如也可以具有凹槽，相应地加料槽103具有其与相配合的突出部，能进一步提升安装效率，节省时间，增强稳定性和密封性能。本实施例对凹槽与突出部的设置数量与位置不作具体限定。

例如，本实施中，蒸发源还可以包括平稳气流板，该平稳气流板具有多个通孔，并设置在加料槽103与喷嘴102之间。例如，平稳气流板所具有的多个通孔在平稳气流板上均匀分布。

例如，如图3所示，平稳气流板104可以设置在加料槽103上，从而位于加料槽103中的蒸镀材料蒸发后可以通过平稳气流板104而均匀地从多个喷嘴102喷出。

例如，如图4所示，加料槽103的内壁的顶部具有连贯的嵌槽，平稳气流板104可以嵌设在嵌槽内，从而平稳气流板104与加料槽103的连接更加紧密，平稳气流板104不易在加料槽103上方移动，从而使得位于加料槽103中的材料蒸发后可以充分通过平稳气流板104的均匀化作用后再从多个喷嘴102喷出。另外，该平稳气流板104还可以防止位于加料槽103中的蒸镀材料因蒸发剧烈而从喷嘴102喷出过猛的现象。

例如，本实施例中，如图2所示，蒸发源还可以包括格栅1033，该格栅1033例如可以设置于加料槽103的侧壁以将加料槽103分为多个子区域，并且每个子区域与一个或多个喷嘴相对应。

本实施例中，格栅1033例如可以包括沿不同方向延伸的栏栅，例如包括如图2中沿平行于纸面方向延伸的第一栏栅1033A和沿垂直于纸面方向延伸的第二栏栅1033B。该设置可以将加料槽103均匀地分为多个子区域，使得位于加料槽103底部的蒸镀材料在蒸发后可以沿不同的子区域向上传输，从而使蒸镀材料在蒸发后可以均匀地达到加料槽103顶部并从喷嘴102喷出。

例如，本实施例中，格栅1033连接于加料槽103的侧壁，并与加料槽103的底壁具有间隔。此时，加料槽103的底部为连通的结构，该设置有利于在蒸发源完成蒸镀任务后对加料槽103底部可能存在的残余蒸镀材料进行清理。

例如，本实施例中，如图5所示，蒸发源还可以包括封盖107，封盖107用于密封第一侧壁1011的开口。例如，封盖107可以为扣板的形式，该扣板例如可以通过螺丝1071固定在容器本体101上，从而将第一侧壁1011的开口密封，防止蒸发源在使用时蒸镀材料漏出。

例如，本实施例中，如图6所示，蒸发源例如还可以包括加热装置105，加热装置105例如可以设置在容器本体101的侧壁上。例如，加热装置105可以设置在侧壁的内表面或外表面(图中示出的情况)。例如，位于容器本体101四周的侧壁上均设置加热装置105。

本实施例中，加热装置105例如可以为加热网，并且包括独立的两个部分：第一加热网105A和第二加热网105B。例如，第一加热网105A设置在侧壁上的靠近喷嘴102的一侧，例如图6中容器本体101侧壁的上半部分；第二加热网105B设置在侧壁上的远离喷嘴102的一侧，例如图6中容器本体101侧壁的下半部分。例如，第一加热网105A和第二加热网105B在使用时可以调节至不同的温度。

例如，位于容器本体101侧壁的上半部分的第一加热网105A在使用时的温度要比位于容器本体101侧壁的下半部分的第二加热网105B的使用温度要高，此时，第二加热网105B对位于加料槽103底部的蒸镀材料进行加热以使蒸镀材料蒸发，并且第二加热网105B的温度设置不会过高，可以使蒸镀材料的蒸发速度不会过于剧烈；第一加热网105A的温度设置较高可以维持往喷嘴102方向传输的被蒸发的蒸镀材料的温度，以免蒸镀材料在传输的过程中受冷凝结而无法从喷嘴102喷出，例如防止蒸镀材料冷凝在平稳气流板104上而无法从喷嘴102喷出等。

例如，本实施例中，如图6所示，蒸发源例如还可以包括控制装置110。该控制装置110例如可以与第一加热网105A和第二加热网105B以无线的方式进行信号连接，从而控制装置110可以对第一加热网105A和第二加热网105B的加热温度以及加热时间等工作状态进行调节，进而实现对蒸发源工作状态的调节。本实施例中，控制装置110例如可以为个人电脑(PC)、单片机、可编程逻辑控制器(PLC)等各种形式的控制装置，本实施例对此不作限定。

例如，本实施例中，如图7所示，蒸发源例如还可以包括温度传感器106。温度传感器106例如可以设置在容器本体101内，并与喷嘴102对应设置。温度传感器106可以用于监控蒸发源在工作过程中蒸发源内部各个位置处的温度，例如加料槽103中对应于各个喷嘴102处的温度，从而操作者可以根据温度传感器106的反馈结果调整例如第一加热网105A和/或第二加热网105B的加热温度，进而保证加料槽103中的蒸镀材料在蒸发后可以顺利地从各个喷嘴102喷出，提高蒸发源的蒸发效果。

例如，本实施例中，如图7所示，蒸发源还可以包括第一保温层108，第一保温层108例如可以设置在喷嘴102的侧壁外围。第一保温层108可以保持喷嘴102在较高的温度，以防止蒸镀材料在喷嘴102处受冷凝结而影响蒸镀材料的喷出。

例如，本实施例中，如图8所示，蒸发源还可以包括第二保温层109，第二保温层109例如可以设置在容器本体101的外围。第二保温层109可以保持容器本体101内部的温度，防止热量散失，使加热装置105所发出的热量可以得到充分利用。

实施例二

本实施例提供一种蒸镀设备，如图9所示，该蒸镀设备100包括上述实施例提供的任一蒸发源10。

本实施例中，蒸镀设备100例如还可以包括蒸镀腔体11、抽真空装置12、基材安装构件13等其他功能部件，本实施例对此不做限定。

本实施例中，蒸镀设备在使用时，首先在蒸发源10的加料槽103中加入蒸镀材料，将基材安装到基材安装构件13上，然后密封蒸镀腔体11。开启蒸发源10的加热装置105，使加料槽103中的蒸镀材料蒸发并从喷嘴102中喷出，喷出的蒸镀材料传输到基材安装构件13上的基材表面后即凝聚成膜。

本实施例中，蒸镀设备100所采用的蒸发源10喷出的蒸镀材料均匀，因此在基材上的成膜效果更好；另外，由于蒸发源10的工作效率较高，使得蒸镀设备100的工作效率以及使用率也大大提高。

还有以下几点需要说明：

(1)本公开实施例附图只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计。

(2)为了清晰起见，在用于描述本公开的实施例的附图中，层或区域的厚度被放大或缩小，即这些附图并非按照实际的比例绘制。可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”或者可以存在中间元件。

(3)在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。

以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。