一种钼片镀膜防护装置的制作方法

本实用新型属于钼片加工工艺，具体涉及一种钼片镀膜防护装置。

背景技术：

钼是一种耐高温材料，但钼材表面易生成的氧化膜，该氧化膜对钼不能起到任何保护作用，因此在高温环境下钼材极易产生强烈的氧化。为了改善钼片表面的耐热性和导电性等性能，需在钼片上镀覆镀层。用于电子材料领域的钼片，通常在其表面上镀钌以改善钼片材料的导电性能、耐热性能、钎焊性能，并减少或防止材料的氧化。而物理气相沉积镀钌是最为常规的镀钌方式，物理气相沉积法镀膜过程中，工件所有的表面均有镀覆一层薄膜，但是由于实际工作的需要，一般圆形钼片的外周面有时候并不需要镀膜，若采用先镀膜后清理的方式进行处理，钼片尺寸偏差较大，且会造成钼片的报废率上升。面对这一问题，目前还未有方法能够有效解决。

技术实现要素：

针对现有技术中的问题，本实用新型提供一种钼片镀膜防护装置，解决了目前局部镀膜工艺差，难以实施的问题，通过固定环与定位环的设置，将钼片外周面包覆密封，达到覆盖不镀膜的效果，简单易行，实用性强。

为实现以上技术目的，本实用新型的技术方案是：

一种钼片镀膜防护装置，包括固定环和位于固定环内侧的定位环，所述固定环和定位环均采用金属材质，所述定位环内周面与待镀膜的圆形钼片相接，外周面上设置有一圈凹槽，所述凹槽内套接有固定环，且凹槽与固定环相契合，所述定位环由上下对称的上环和下环组成，所述上环和下环结构相同，所述弹性收缩环固定在固定环的外周面上，且弹性收缩环内周面上环设有与固定环相匹配的沟槽。

所述定位环采用微孔结构。

所述定位环内周面的厚度与待镀膜的圆形钼片的厚度一致，所述定位环外周面的厚度是内周面厚度的2倍。

所述定位环内周面设置有防护密封层，所述防护密封层的厚度为1-5mm。

所述密封层采用氟橡胶材料。

所述固定环的厚度与待镀膜的圆形钼片的厚度一致。

所述弹性收缩环采用氟橡胶材料。

从以上描述可以看出，本实用新型具备以下优点：

1.本实用新型解决了目前局部镀膜工艺差，难以实施的问题，通过固定环与定位环的设置，将钼片外周面包覆密封，达到覆盖不镀膜的效果，简单易行，实用性强。

2.本实用新型采用上下对称的上环和下环作为定位环，不仅具有良好的拆接性，同时方便定位调整效果。

3.本实用新型采用微孔结构的定位环，能够起到良好的微压缩效果，增加了整体的使用性。

4.本实用新型采用防护密封层作为内周面，不仅能够起到密封微孔的效果，同时采用橡胶材料的防护密封层具备一定弹性，形成一定量的收缩，提升钼片的定位固定效果。

附图说明

图1是本实用新型实施例1的纵向剖面示意图。

具体实施方式

结合图1，详细说明本实用新型的一个具体实施例，但不对本实用新型的权利要求做任何限定。

如图1所示，一种钼片镀膜防护装置，包括弹性收缩环5、固定环1和位于固定环1内侧的定位环2，所述固定环1和定位环2均采用金属材质，所述定位环2内周面与待镀膜的圆形钼片相接，外周面上设置有一圈凹槽3，所述凹槽3内套接有固定环1，且凹槽3与固定环1相契合，所述定位环2由上下对称的上环2-1和下环2-3组成，所述上环2-1和下环2-2结构相同，所述弹性收缩环5固定在固定环1的外周面上，且弹性收缩环5内周面上环设有与固定环1相匹配的沟槽。

所述定位环2采用微孔结构。

所述定位环2内周面的厚度与待镀膜的圆形钼片的厚度一致，所述定位环2外周面的厚度是内周面厚度的2倍。

所述定位环2内周面设置有防护密封层4，所述防护密封层4的厚度为1-5mm。

所述密封层4采用氟橡胶材料。

所述固定环1的厚度与待镀膜的圆形钼片的厚度一致。

所述弹性收缩环5采用氟橡胶材料。

本实用新型采用固定环和定位环形成组合圆环结构，能够根据待镀膜的圆形钼片的尺寸，形成内接结构，将钼片的外后面圆形覆盖，能够在镀膜过程中形成遮挡，达到局部镀膜的效果，该设置方式简单方便，且实用性强。固定环与定位环采用凹槽套接的方式能够提升能够形成良好的半包覆连接效果，同时也通过固定环的设置形成良好的定位效果，确定定位环的位置。定位环采用上下对称的上环和下环拼接而成，且上环和下环的结构一致，能够有效的提升了固定环安装的方便性，同时液提升了拆接的方便性和可调性。金属材质的固定环与定位环本身具有结构稳固的特点，同时金属材料本身的自重性，相较于橡胶材料，稳定性更好，耐磨性更好，相对的使用寿命也得到了延长，固定环外周面上设置的弹性收缩环，能够针对固定环形成外部固定效果，提升结构的稳定性，同时弹性收缩环的沟槽与固定环形成卡接，且弹性收缩环与定位环直接接触，能够将固定环直接包覆，形成内部框架结构，同时具有一定的作用力直接作用至定位环上，确保定位环的稳定。

定位环采用微孔结构，具有一定的可压缩性，在钼片安装时能够起到一定的微缩效果，方便钼片的安装，同时能够降低真空条件下的温度损失，保证钼片表面的温度稳定性与均匀性。微孔结构的定位环不仅能够提升了防护装置的可调节性，同时也降低了防护装置的温度传导性。

定位环内周面设置有防护密封层，通过防护密封层的设置能够将内周面上的微孔堵塞，形成密封状态，同时也降低了钼片侧面与微孔的摩擦损坏，降低了废品率。

固定环的内周面与钼片厚度一致，能够与钼片形成良好的密封连接，利用细缝本身存在表面张力特性，能够形成包覆效果，起到不镀膜的效果。当厚度一致时，钼片外周面的受力更为均匀，形成良好且均匀的包覆效果，防止局部受力不均带来的缝隙；同时固定环外周面的厚度是内周面厚度的2倍，能够形成由外向内的倾斜角度，达到聚力收紧效果，起到良好的收缩力，提升钼片的稳固性。

固定环与圆形钼片的厚度一致，能够改善钼片外周面与定位环内周面的受力情况，由于厚度一致，能够保证钼片外周面受力均匀，能够保证钼片的放置平稳度。

弹性收缩环采用氟橡胶材料，赋予了弹性收缩环弹性属性，能够形成良好的弹性连接，对内圈的定位环和固定环提供收缩力，提升内部结构的稳定性，同时也提升了钼片的固定牢固性。

综上所述，本实用新型具有以下优点：

1.本实用新型解决了目前局部镀膜工艺差，难以实施的问题，通过固定环与定位环的设置，将钼片外周面包覆密封，达到覆盖不镀膜的效果，简单易行，实用性强。

2.本实用新型采用上下对称的上环和下环作为定位环，不仅具有良好的拆接性，同时方便定位调整效果。

3.本实用新型采用微孔结构的定位环，能够起到良好的微压缩效果，增加了整体的使用性。

4.本实用新型采用防护密封层作为内周面，不仅能够起到密封微孔的效果，同时采用橡胶材料的防护密封层具备一定弹性，形成一定量的收缩，提升钼片的定位固定效果。

可以理解的是，以上关于本实用新型的具体描述，仅用于说明本实用新型而并非受限于本实用新型实施例所描述的技术方案。本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换，以达到相同的技术效果；只要满足使用需要，都在本实用新型的保护范围之内。