一种蒸镀腔及镀膜机的制作方法

本实用新型涉及到太阳能技术领域，尤其涉及到一种蒸镀腔及镀膜机。

背景技术：

铜铟镓硒(CIGS)蒸发式镀膜机，为了增加CIGS的晶相结构，提高CIGS的薄膜的发电效率，一般通过蒸镀的方式，增加一层辅助材料(一般是碱金属如氟化钠，氟化钾)最终形成能够辅助太阳能发电的薄膜层，为CIGS薄膜生长和提升后期发电效率奠定基础。但是，目前蒸发源设置时容易造成蒸镀腔设备性能不均，发电效率和成品率极易受影响。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种蒸镀腔及镀膜机，用以提高蒸镀的效果。

本实用新型提供了一种蒸镀腔，所述蒸镀腔具备蒸镀腔本体，所述蒸镀腔本体包括底板以及与所述底板连接的左侧壁和右侧壁所述左侧壁上设有至少一个左蒸发源，所述右侧壁上设有至少一个右蒸发源，所述左侧壁和所述右侧壁相对倾斜设置。

在上述技术方案中，将蒸发源安装在蒸镀腔的侧壁，通过在左侧壁及右侧壁分别设置的至少一个左蒸发源及右蒸发源，提高了辅助材料(碱金属)蒸镀时的均匀性，进而提高蒸镀的效果。提高CIGS沉积的晶相结构，提升薄膜太阳能电池的发电率以及成品率。

所述左蒸发源设有多个，在所述左侧壁上排列成一排，所述右蒸发源有多个，在所述右侧壁上排列成一排。采用多个蒸发源，且每个侧壁的蒸发源均排列成一排，从而可以合理利用侧壁上的空间，提高蒸镀的效果。

所述左蒸发源设有多个，在所述左侧壁上排列成至少两排，所述右蒸发源设有多个，在所述右侧壁上排列成至少两排。采用两排排列方式，将单个蒸发源功率可以进一步缩小，同时使蒸镀效果更加均匀。

所述左蒸发源排列成上、下两排，且所述上排蒸发源与所述下排蒸发源对齐或错开；所述右蒸发源也排列成上、下两排，且所述右侧壁上的上排蒸发源与所述下排蒸发源对齐或错开。本技术方案中，对齐或错开的排列方式，从而可以合理利用侧壁上的空间，提高蒸镀的效果。

所述左侧壁和所述右侧壁被设置成相对于所述底板对称；所述左蒸发源和所述右蒸发源被设置成相对于所述底板的中心线对称。在具体设置时，所述左侧壁、所述右侧壁对称设置在所述底板两侧；所述至少一个左蒸发源与所述至少一个右蒸发源以所述底板中心线为轴对称设置。通过采用左侧壁及右侧壁对称设置，同时左蒸发源及右蒸发源对称设置进一步的提高了蒸镀效果。

所述左蒸发源与铅直面的倾角介于10～60度。从而使得左蒸发源的开口方向朝向蒸镀的方向，进一步的提高蒸镀效果。

所述蒸镀腔还包括设置在所述底板上的至少一个第二蒸发源。通过左、右蒸发源与第二蒸发源的配合，共同提高蒸发效果。上述的第二蒸发源，可以作为原来的碱金属蒸发源，也可以根据需要解放出来，作为其他金属蒸发源，配合进行蒸发镀膜。

所述第二蒸发源设有多个，多个所述第二蒸发源至少排列成一排。本技术方案中，为了更好的提高蒸镀效果，将蒸发源排列成排，提高可控性。

所述第二蒸发源排列成两排；两排所述第二蒸发源相对于所述底板的中心线对称排列。

此外，还提供了一种镀膜机，该镀膜机包括上述的任一项所述的蒸镀腔。在上述技术方案中，通过在侧壁上设置左蒸发源，提高了蒸镀时的均匀性，进而提高蒸镀的效果。进而提高太阳能发电板的发电率以及成品率。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的蒸镀腔的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的第二蒸发源的排布示意图；

图3为本实用新型实施例提供的另一种第二蒸发源的排布示意图；

图4为本实用新型实施例提供的另一种第二蒸发源的排布示意图；

图5为本实用新型实施例提供的另一种第二蒸发源的排布示意图；

图6为本实用新型实施例提供的左蒸发源的排布示意图；

图7为本实用新型实施例提供的另一种左蒸发源的排布示意图；

图8为本实用新型实施例提供的另一种左蒸发源的排布示意图；

图9为本实用新型实施例提供的另一种左蒸发源的排布示意图；

图10为本实用新型实施例提供的另一种左蒸发源的排布示意图；

图11为本实用新型实施例提供的左蒸发源的设置角度示意图；

图12为本实用新型实施例提供的另一种左蒸发源的设置角度示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

为了方便理解本申请实施例提供的蒸镀腔，首先说明一下其应用。本申请实施例提供的蒸镀腔应用于镀膜机，在使用时，通过蒸镀腔中的蒸发源将金属蒸发到位于蒸镀腔上方的被镀膜的基板上，从而完成镀膜。

如图1所示，图1示出了蒸镀腔的结构示意图。在如图1所示的结构中可以看出，本实用新型实施例提供的蒸镀腔包括两部分，蒸镀腔本体10以及蒸发源。其中，蒸镀腔本体10为蒸镀室的一部分，在加上蒸镀盖板后可以进行抽真空构成蒸镀环境。该蒸镀腔本体10可以为不同的形状。如在图1所示，蒸镀腔本体10,具有一个底板11以及与底板11连接并围成腔体的四个侧壁，通过底板11以及四个侧壁围成一个腔体，并且蒸镀腔的开口与底板11相对，开口方向为蒸镀方向，基本从该方向通过蒸镀腔。在设置的四个侧壁中具有两个相对倾斜的侧壁，两个相对倾斜的侧壁分别连接在底板11的两侧。为了方便描述两个倾斜的侧壁，分别命名为左侧壁12及右侧壁13。在具体设置左侧壁及右侧壁时，可以采用对称设置，也可以采用不对称设置的方式，如图1中所示，左侧壁12及右侧壁13对称设置，且左侧壁12及右侧壁13的倾斜的方向为向外倾斜，从而使得左侧壁12及右侧壁13中朝向腔体内的一面为斜向上倾斜。当然，也可以采用左侧壁12与右侧壁13不对称设置，但是左侧壁12与右侧壁13的倾斜方式还是采用向外倾斜的方式。

此外，上述图1示出的蒸镀腔本体10的结构形式可以有多种，图1仅仅示出了一种，其他结构形状的蒸镀腔本体10也可以应用当本实用新型实施例中，只需要具备两个相对倾斜的左侧壁12及右侧壁13即可，对于其他的侧壁的形状以及个数在本实用新型实施例中不做限定。为了方便理解，下面以图1所示的蒸镀腔本体10为例来说明蒸发源的设置方式。

继续参考图1，在设置蒸发源时，为了改善蒸镀的效果，可以仅在左侧壁12及右侧壁13上设置蒸发源，还可以采用在底板11以及左侧壁12及右侧壁13上分别设置蒸发源。为了方便描述，将设置在底板11的蒸发源命名为第二蒸发源20，将设置在左侧壁12的蒸发源命名为左蒸发源30，设置在右侧壁13上的蒸发源命名为右蒸发源。在具体设置时，可以采用不同的方式设置左蒸发源30、右蒸发源及第二蒸发源20。下面逐一对设置在底板11、左侧壁12及右侧壁13上的蒸发源、右侧壁的右蒸发源分别进行描述。应当理解的是图2～图10中所示的第二蒸发源20及左蒸发源30和右蒸发源的形状仅仅为一个示例，不代表第二蒸发源20及左蒸发源30、右蒸发源的实际形状。

首先，对于底板11上的第二蒸发源20，如图2所示，在具体设置第二蒸发源20时，第二蒸发源20的个数为多个。在设置多个第二蒸发源20可以采用不同的方式，既可以排列成一排，也可以排列成多排。在图2所示的结构中，第二蒸发源20排列成两排，并且在排列时第二蒸发源20的排列方向沿底板11与左侧壁12连接的侧边的长度方向排列。此外，在采用两排排列的方式时，在具体设置时，该两排第二蒸发源20对称设置在底板11的中心线的两侧，该中心线为如图2中所示的虚线a，从而可以使得第二蒸发源20能够更均匀的进行蒸发。在具体设置第二蒸发源20的个数时，可以设置成不同的个数，如图2中每排第二蒸发源20的个数为8个，而在图3所示的每排第二蒸发源20的个数为5个。此外，在具体设置每排第二蒸发源20时，可以设置成不同的方式。如在图2所示的结构中，每一排第二蒸发源20呈直线的方式排列，此时，两排第二蒸发源20以底板11的中心线对称设置；或者可以采用如图4所示的结构，在图4所示的结构中，多个第二蒸发源20排列成两排，每排第二蒸发源20沿折线排列，即在每排第二蒸发源20中，多个第二蒸发源20采用交错的方式排列，从而使得排列成的一排第二蒸发源20呈折线的方式。当然，在采用两排第二蒸发源20均为折线的方式排列时，可以采用两种不同的方式，一种为如图4中所示的对称的方式设置，即两排第二蒸发源20沿底板11的中心线a对称设置；还可以采用如图5中所示的非对称的结构形式，此时，两排第二蒸发源20的排列方式相同，即每排第二蒸发源20形成的折线的折弯位置相同。除了上述的直线排列和折线排列方式外，第二蒸发源20还可以采用曲线排列方式进行排列，当然上述仅仅为几个具体的示例，该第二蒸发源20的排列方式还可以采用其他的排列方式排列。

应当理解的是，无论第二蒸发源20采用哪种排列方式均可以应用到本实用新型的实施例中。此外，上述图2～图5中所示的第二蒸发源20的排数仅仅为一个具体的示例，还可以采用其他的排数，如三排、四排等不同的排数。

在第二蒸发源20使用时，设置在底板11上的第二蒸发源20中的源材料蒸镀到基板上，以实现镀膜。并且通过选择第二蒸发源20的不同排布方式，可以改善蒸发到基板上的源材料的均匀性，进而改善蒸镀的效果。

此外，在设置左侧壁12及右侧壁13上设置蒸发源时，设置在左侧壁12上的左蒸发源30的个数可以为至少一个，设置在右侧壁13上的右蒸发源的个数也可以为至少一个。如在一个具体的方案中，左蒸发源30及右蒸发源的个数分别为一个。且在具体设置时，左蒸发源30设置的位置可以设置在其对应的侧壁的任意位置，如在一个具体的实施方案中，该左蒸发源30及右蒸发源的设置位置为其对应的侧壁的中心位置，即左侧壁12上的左蒸发源30设置在该左侧壁12的中心位置，右侧壁13上的蒸发源设置在该右侧壁13的中心位置。使得左蒸发源与右蒸发源以底板11的中心线为轴对称设置，从而使得设置的第二蒸发源30中的源材料在蒸镀时，能够更均匀的挥发到基板上。

当然，左蒸发源30及右蒸发源的个数也可以为多个，所谓的多个包括两个及两个以上，如三个、四个、五个、六个等不同的个数。在采用多个左蒸发源30及右蒸发源时，既可以采用左蒸发源30与右蒸发源以底板中心线为轴对称设置，也可以不对称设置。但是无论采用轴对称设置还是非轴对称设置，下面以左蒸发源30为例进行说明的排列方式均可以应用到右蒸发源的排列方式中，左、右蒸发源的排列方式可以一致也可以分别不同。

一并参考图6～图10，多个左蒸发源30排列成至少一排，如两排，或者三排等不同的排数，下面逐一进行说明。如图6中所示，图6中示出了左蒸发源30排列成一排的结构示意图。在图6所示的结构中，左蒸发源30排列成一排，并且该一排左蒸发源30的排列方向沿左侧壁12与底板11连接的侧边的长度方向排列。此外，对于左蒸发源30的个数可以根据实际的需要而定，如图6示出了采用8个左蒸发源30，而图7示出的一排左蒸发源30的个数为3个。通过采用不同个数的左蒸发源30，以及采用单排的左蒸发源30，使得源材料能够更均匀的挥发到基板上进行蒸镀。

另外，参考图8及图9，其中图8及图9示出了两排左蒸发源30的排列方式。首先参考图8，图8中示出了两排左蒸发源30，左蒸发源30呈上、下两排平行排列，且对于每一排左蒸发源30来说，该排左蒸发源30的排列方向平行于底板11与侧壁连接的侧边。并且在设置两排或者多排左蒸发源30时，相邻两排左蒸发源30的设置位置可以对齐也可以交错，交错方式可以是一一错开，或者其他错开方式，比如间隔两个或多个错开方式，可以上排密集，下排疏松，或下排密集，上排疏松。

如图8中所示，两排左蒸发源30呈阵列排列的方式排列，且两排左蒸发源30中的左蒸发源30的位置对齐，所谓对齐指的是两排左蒸发源30中上下相对的两个左蒸发源30的中心的连线垂直于左侧壁12与底板11连接的侧边。

对于两排左蒸发源30的设置位置错开的排布方式，可以参考图9，图9示出了采用两排左蒸发源30的结构示意图。在图9所示的结构中，两排左蒸发源30采用交错的方式设置，即在排列时，沿左侧壁12与底板11连接的侧边的方向上，上方的左蒸发源30的设置位置位于下方中相邻的两个左蒸发源30的设置位置之间。对于不同排左蒸发源30的个数来说，既可以相同，也可以不同，如在图8及图9中，无论采用一排左蒸发源30还是采用两排左蒸发源30，不同排的左蒸发源30的个数均相同。当然在采用多排左蒸发源30时，在采用相错的方式设置时，多排左蒸发源30沿远离底板11的方向上朝一个方向错开，如同时向左侧错开，此时，排列的左蒸发源30形成一个平行四边形的阵列排布方式。还可以采用朝向不同方向错开的方式，如相邻的两排左蒸发源30一个朝向左侧错开，另一个朝向右侧错开。应当理解的是，上述错开不仅限于上述描述的具体的错开方式，其他可实施的错开设置方案也可以应用在本实用新型实施例中，只需要满足能够提高蒸镀效果即可。

在采用上述错开设置时，还可以采用不同排中左蒸发源30的个数不同的情况。如图10所示，一排左蒸发源30的个数为6个，另一个左蒸发源30的个数为7个，从而可以合理利用侧壁上的空间，并且两排不同的左蒸发源30可以更进一步的提高源材料挥发的均匀性，提高蒸镀的效果。

应当理解的是，上述图8～图10虽然示出的左蒸发源30的排数为两排，但是图8～图10所示的结构仅仅为一个具体的示例，在本实用新型实施例中提供的左蒸发源30的排数可以为不同的排数，如三排、四排等不同的排数。

为了改善蒸镀的效果，本实用新型实施例提供的左蒸发源30在设置时，可以采用不同的角度进行设置。在具体设置左蒸发源30时，左侧壁12上设置有通孔，左蒸发源30通过连接法兰或者螺栓等部件将左蒸发源30固定在左侧壁12上。在具体固定左蒸发源30时，左蒸发源30与竖直面的夹角介于10～60度，如图11中所示，左蒸发源30与竖直面b的夹角α，α＝10～60度之间的任意角度，从而使得左蒸发源30的开口方向朝向蒸镀的方向，进一步的提高蒸镀效果。在具体设置左蒸发源30，α的角度可以为不同的角度，如45°、35°、25°等不同的度数，并且在具体设置时，左侧壁12上的左蒸发源30的设置角度相同。在具体设置左蒸发源30时，可以根据实际的情况采用适合的角度设置在左侧壁12上及右侧壁13上。

此外，对于左蒸发源30的设置角度，在采用多排时，可以采用不同的方式。如沿左蒸发源30远离底板11的方向，左蒸发源30与竖直面b的夹角逐渐增大或逐渐降低。具体的，可以参考图12，图12示出了一种左蒸发源30的排布方式，其中，方向A指的是左蒸发源30远离底板11的方向，在该方向上，左蒸发源30与竖直面b的夹角逐渐增大，即α2＞α1。当然也其他具体实施方案中，也可以采用左蒸发源30的与竖直面b的夹角逐渐降低的方式设置左蒸发源30。在上述采用不同排左蒸发源30采用不同的夹角时，可以改善每排左蒸发源30源材料在挥发时的方向，从而使得每排左蒸发源30的挥发方向对应基板上的不同区域，进而使得源材料可以更均匀的挥发到基板上，提高蒸镀的效果。

在上述的实施方案中，可以仅采用左蒸发源30及右蒸发源来进行蒸镀，也可也同时采用左蒸发源30、右蒸发源及第二蒸发源20同时进行蒸镀，通过合理的排布第二蒸发源20及左蒸发源30、右蒸发源的设置位置，以及设置角度，从而调整第二蒸发源20及左蒸发源30、右蒸发源中的氟化钠等源材料在蒸镀腔的排列顺序和入射角度，可有效地使上述材料分子均匀地蒸镀在基板上，进而提高蒸镀的效果。并且作为后续铜铟镓硒核心发电层的必要铺垫，进而提高太阳能发电板的发电率以及成品率，形成最终高效的薄膜电池。

在上述蒸发源排列方也均适用于右蒸发源在右侧壁上的排列方式，且两侧的蒸发源在非对称结构时，排列方式相互独立不影响对方。

此外，本实用新型还提供了一种镀膜机，该镀膜机包括上述的任一项的蒸镀腔。在上述技术方案中，在上述的实施方案中，可以仅采用左蒸发源30及右蒸发源来进行蒸镀，也可也同时采用左蒸发源30、右蒸发源及第二蒸发源20同时进行蒸镀，通过合理的排布第二蒸发源20及左蒸发源30、右蒸发源的设置位置，以及设置角度，从而调整第二蒸发源20及左蒸发源30、右蒸发源中的氟化钠等源材料在蒸镀腔的排列顺序和入射角度，可有效地使上述材料分子均匀地蒸镀在基板上，进而提高蒸镀的效果。并且作为后续铜铟镓硒核心发电层的必要铺垫，进而提高太阳能发电板的发电率以及成品率，形成最终高效的薄膜电池。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。