向静压垫1、2之间的托架7上送入工件W。
[0049]静压垫1、2在工件W的附近的前进保持位置Xl (磨削位置)与从工件W后退的退后位置X2之间，自由地向左右方向移动。而且，各静压垫1、2在前进保持位置XI，通过与工件W面对的静压支持面10、11侧所供给的静压水等的静压流体(以下称静压水)静压支持工件W，另外，一侧的静压垫2向工件W侧大致垂直地喷射压缩空气等的流体(以下称作压缩空气)，利用此时的伯努利效应所产生的负压，以非接触的方式吸引保持工件W。
[0050]另外，在下面的记载中，由于简略化方面的原因，并且以横型双头平面磨床为前提，将一侧的静压垫2设为右静压垫，另一侧的静压垫I设为左静压垫而进行说明，但是一侧和另一侧可以左右调换。
[0051]在静压垫1、2的静压支持面10、11中，像图3所示的那样，分散地设置有供给静压水的多个凹部12、13 ;包围各凹部12、13的凸部14、15 ;排出槽16、17，该排出槽16、17将穿过凸部14、15的静压水向外侧排出。
[0052]另外，在图3中，相对于排出槽16、17，由多个凹部12、13和凸部14、15所形成的静压支持部的面积较大，但是，也可与之相反，相对于多个静压支持部，排出槽16、17的面积较大。
[0053]在一对静压垫1、2的右静压垫2中，像图1?图3所示的那样，设置有多个喷射孔18。该喷射孔18具有下述功能，向工件W侧基本垂直地喷射规定压力的压缩空气，通过该压缩空气在工件W与右静压垫2之间流动时的伯努利效应所产生的负压，在右静压垫2侧以非接触的方式吸引保持工件W。
[0054]该喷射孔18按照与作为凸部15的顶面的静压支持面11相垂直的方式形成，在右静压垫2的外周部分的圆周方向设置有多个喷射孔18，例如基本等距地配置6个。在6个喷射孔18之中的至少I个喷射孔18a，像图2、图3所示的那样，在托架7停止在基准停止位置时，与工件W的槽部19所接合的托架7的接合部20的附近相对应地配置。
[0055]作为该各喷射孔18的形状、构造，像图4(a)所示的那样，呈内周直径基本相同的圆柱状，像图4(b)所示的那样，可以想到在开口端侧设置挤压部18c等。
[0056]图4(a)的喷射孔18由于可对工件W基本垂直地喷射压缩空气，喷射后的压缩空气的流动不复杂，可有效地产生伯努利效应所致的负压。但是，根据压缩空气的压力和流量等的不同，可以为图4(b)所示的形状，也可采用其它的形状。
[0057]另外，关于工件W的吸引保持所必要的喷射孔18的数量，考虑工件W的大小等而适当决定即可，但是优选基本等距配置至少3个的程度。另外喷射孔18之间的间隔也可有所不同。喷射孔18的直径宜为I?5mm程度，但是只要能以非接触的状态吸引保持工件W，直径也可大于或小于I?5_。
[0058]各静压垫1、2的凹部12、13以夹设开闭阀等的开闭控制机构21、22的方式与静压水供给源(静压流体供给源)23连接。各喷射孔18以夹设开闭阀等的开闭控制机构24的方式与加压泵等的压缩空气供给源(流体供给源)25连接，另外，在喷射孔18和开闭控制机构24之间设置有流量传感器26或压力传感器27。
[0059]磨削磨石5、6为杯型等，设置于左右方向的磨石轴(图中未示出)的前端，在前进端Yl和后退端Y2之间沿左右方向移动，在Yl侧前进时开始磨削工件W。
[0060]像图2所示那样，托架7包括:托架板30，该托架板30的内周形成有基本同心状的托架孔29，并且呈比工件W薄的薄板状；托架环31，该托架环31保持该托架板30的外周部。通过在圆周方向上的多个支持辊28，托架7按照可围绕工件W的中心自由旋转的方式被保持。工件W相对于托架孔29可自由装卸。在托架板30中设置有接合部20，该接合部20向托架孔29内突出。
[0061]托架环31与托架孔29呈大致同心状，托架环31的内周侧啮合有驱动齿轮32。驱动齿轮32通过与右静压垫2的通孔33连通的驱动轴34由图外的驱动源驱动。
[0062]像图1所示的那样，送入送出机构8、9具有:可动框36，该可动框36可向左右方向和前后方向自由移动；送入机构8和送出机构9，该送入机构8和送出机构9在该可动框36上可分别向上下移动，该送入机构8、送出机构9通过吸附盘37、38吸附工件W，进行工件W相对于托架7的送入送出。
[0063]送入机构8在可动框36的上下、前后方向上可浮置地被支承，在接近托架7侧时，由辊等的导向机构40导向，被吸附盘37吸附的工件W与托架7的托架孔29基本一致地浮置。
[0064]另外，吸附盘37、38具有不在真空吸附时损伤工件W的适度的弹性，与工件的基本中央部相对应地设置I个或多个(例如3个程度)。送入机构8和送出机构9，按照在通过送入机构8送入工件W时，送出机构9上升；在通过送出机构9送出工件W时，送入机构8上升等方式，退避到不妨碍对方作业的退避位置。送入机构8也可按照相对于可动框36非浮置地升降的方式设置。
[0065]下面一边参照图5的说明图、图6?图17的动作说明图，一边对通过横向双头平面磨床磨削工件W的两侧面的双头平面磨削法中的磨削周期进行说明，该磨削周期包括:从送入磨削前的工件W的送入工序，经过磨削工件W的磨削工序，到送出磨削后的工件W的送出工序。
[0066]向机器内外送入送出工件W的交接时，如果工件W相对于托架7发生倾斜，则工件W具有从托架7脱落的危险。因此，在交接工件W时，从右静压垫2的各喷射孔18向工件W侧喷射压缩空气，利用此时的伯努利效应所产生的负压，以非接触的方式在右静压垫2侧吸引保持工件W，由此防止工件W从托架7脱落。
[0067]SM象图5所示的那样，如果从喷射孔18沿箭头a方向基本垂直地向工件W供给压缩空气，则该压缩空气经过右静压垫2和工件W之间的微小间隙，一边向外周侧的基本全部周向扩散，一边流向箭头b方向。
[0068]如果按照相对于此时喷射孔18内的压缩空气的流速VI，经过右静压垫2和工件W之间的间隙而向外侧流动的压缩空气的流速V2增大的方式，适当地设定喷射孔18的孔径、右静压垫2和工件W之间的间隙、压缩空气的压力(流量)，则因通过右静压垫2和工件W之间的压缩空气的伯努利效应，在围绕喷射孔18的虚线区域的负压发生部c产生负压，可通过该负压产生部c的负压，将工件W吸引到右静压垫2侦U。
[0069]另外，在右静压垫2和工件W之间，由于存在相当于该间隙量的压缩空气的流动，故工件W相对于右静压垫2为非接触状态。
[0070]因此，通过非接触方式吸引保持工件W，可将工件W固定至右静压垫2，在防止交接时工件W发生脱落的同时，能防止吸引保持导致的工件W的磨痕和其他损伤。
[0071]图6表示搬入工件W之前的状态，左右的磨削磨石5、6位于后退端Y2，左静压垫I位于后退位置X2，右静压垫2位于托架7的附近的前进保持位置XI。
[0072]因此，在向机器内送入磨削前的工件W并按照于静压垫1、2之间的托架7时，首先通过送入机构8的吸附盘37真空吸附工件W。接着，使送入机构8进入托架7和左静压垫I之间，像图7所示的那样，使工件W面对托架7的托架孔29的轴心上。然后，使送入机构8向托架7侧移动，像图8所示的那样，向托架7的托架孔29内插入工件W。
[0073]此时托架7像图2所示的那样，该接合部20被定位于其应该位于的基准停止位置，另外，工件W在下述状态下被吸附，该状态为，该凹部19对应于托架7的接合部20而定位。因此，通过将送入机构8移向托架7侧，像图2所示的那样，可容易地将工件W的凹部19接合托架7的接合部20。
[0074]如果工件W被插入托架孔29，则使该工件W接触位于前进保持位置Xl的右静压垫2，像图8所示的那样，在右静压垫2和送入机构8之间，从两侧夹持位于托架7内的工件W。而且，像图5所示的那样，然后从右静压垫2的各喷射孔18向工件W侧喷射压缩空气，通过在工件W和右静压垫2之间流动的压缩空气的伯努利效应所产生的负压，在右静压垫2侧以非接触的方式吸引保持工件W。
[0075]另外，在通过右静压垫2以非接触的方式吸引保持工件W的场合，右静压垫2和工件W的间隙非常小。因此，为了方便制图，在图8中以右静压垫2和工件W接触的状态进行了记载，由于标记了“吸引保持”和“非接触”，表示工件W的非接触状态下的吸引保持状态。以下也相同。
[0076]像图3所示的那样，各喷射孔18在右静压垫2的外周部分基本等距地设置有多个，例如6个，通过从该各喷射孔18喷射出并且流过工件W和右静压垫2之间的间隙的压缩空气的伯努利效应，向右静压垫2侧吸引工件W的外周部的基本全周，可将工件W的外周侧固定在右静压垫2上。
[0077]另外，如果右静压垫2吸引保持工件W，则从喷射孔18喷射的压缩空气的压力上升，流量降低，由此可通过该流量、压力的变化，利用流量传感器26或压力传感器27容易地确认工件W的吸引保持状况。
[0078]在将工件W插入托架7时，必须要求吸附于送入机构8的工件W的凹部19对应于托架7的接合部20并且嵌入，该凹部19的插入是最困难的，容易发生插入不良。但是，在凹部19的附