5可通过用车 床从底表面220去除0. 01英寸至0. 08英寸的部分来重新修整。随后，具有平整的底表面 (例如牺牲表面255)的保持环115可禪接至固定装置1115,并且随后上述修整方案可在修 整系统1100上执行W产生如前所述的倒锥形表面500。
[0058] 尽管前述内容针对本公开内容的实施方式，但也可在不背离本公开内容的基本范 围的情况下设计本公开内容的其他和另外的实施方式。
[0059] 附图标记
[0060] 标记名称
[0061] 100 CMP 系统
[006引 105 承载头
[006引 110 基板
[0064] 115 保持环
[0065] 120 抛光表面
[0066] 125 抛光垫
[0067] 130 压板
[0068] 132 电机
[0069] 134 压板轴
[0070] 136 轴线
[0071] 138 化学物质输送系统
[007引 140 垫清洗系统
[0073] 142 化学物质罐
[0074] 144 抛光流体
[00巧]146 喷涂喷嘴
[0076] 148 排泄管道
[0077] 152 喷嘴
[0078] 154 去离子水
[0079] 156 轴
[0080] 158 电机
[0081] 160 臂
[008引 162 致动器
[0083] 164 电机
[0084] 166 中屯、线
[0085] 168 主体
[008引 170 柔性膜
[0087] 172 槽
[008引 174 外囊袋
[0089] 176 内囊袋
[0090] 178A第一变压源
[0091] 178B第二变压源
[0092] 180 致动器
[0093] 200A第一支撑结构
[0094] 200B第二支撑结构
[009引 205 上部夹具
[009引 210 下部夹具
[0097] 215 晓曲隔膜
[009引 220 底表面
[0099] 225 侧壁
[0100] 230 侧壁
[0101] 235 主体
[0102] 240 上部部分
[0103] 245 下部部分
[0104] 250 粘合剂层
[0105] 255 牺牲表面
[0106] 300 尺寸
[0107] 305 外部尺寸
[0108] 310 孔
[0109] 400 圆锥锥度
[0110] 500 倒锥形表面
[0111] 505 锥高
[0112] 600 固定装置
[0113] 605 夹紧装置
[0114] 610 外夹环
[011引 615 固定板
[0116] 620 环形环
[0117] 625 环形环
[011引 630 肩部
[0119] 640 紧固件
[0120] 645 紧固件
[0121] 650 下部表面
[0122] 800 圆形主体
[0123] 805 开口
[0124] 815 附接特征
[0125] 820 重物
[0126] 900 外径
[0127] 905 成型表面
[012引 910 平整部分
[0129] 915 表面
[0130] 920 正锥
[0131] 925 表面
[0132] 930 偏移尺寸
[0133] 935 变形的环
[0134] 938 正锥角度
[0135] 940 牺牲材料
[0136] 945 平坦表面
[0137] 950 表面
[013引 955 锥角
[0139] 1000固定装置
[0140] 1005夹紧装置
[0141] 1007 紧固件
[0142] 1010 屯、轴
[0143] 1015锻模接头
[0144] 1020 肩部
[0145] 1025外部周边表面
[0146] 1030周边下部表面
[0147] 1100修整系统
[014引 1105压板
[0149] 1110 抛光垫
[0150] 1115固定装置
[0151] 1120 轮
[015引 1125 辆
【主权项】
1. 一种用于抛光工艺的保持环，所述保持环包括： 环形主体，所述环形主体包括上部部分和下部部分；以及 牺牲表面，所述牺牲表面设置在所述下部部分上，所述牺牲表面包括倒锥形表面，所述 倒锥形表面具有约0. 0003英寸至约0. 00015英寸的锥高。2. 根据权利要求1所述的保持环，其中所述环形主体的所述下部部分由塑料材料制 造。3. 根据权利要求1所述的保持环，其中所述环形主体的底表面包括多个槽。4. 根据权利要求3所述的保持环，其中所述底表面包括镜面抛光表面。5. 根据权利要求1所述的保持环，其中所述上部部分由金属制造，并且所述下部部分 由塑料制造。6. -种用于抛光工艺的保持环，所述保持环包括： 环形主体，所述环形主体包括上部部分和下部部分，所述上部部分具有设置在第一平 面的平坦表面；以及 牺牲表面，所述牺牲表面设置在所述下部部分上，所述牺牲表面设置在相对第一平面 为负角度的第二平面，并且具有约〇. 0003英寸至约0. 00015英寸的锥高。7. 根据权利要求6所述的保持环，其中所述环形主体的所述下部部分由塑料材料制 造。8. 根据权利要求6所述的保持环，其中所述环形主体的底表面包括多个槽。9. 根据权利要求8所述的保持环，其中所述底表面包括镜面抛光表面。10. 根据权利要求6所述的保持环，其中所述上部部分由金属制造，并且所述下部部分 由塑料制造。11. 根据权利要求10所述的保持环，其中所述环形主体的底表面包括多个槽。12. -种用于在保持环上形成牺牲表面的固定装置，所述固定装置包括： 固定板，所述固定板被定尺寸，以实质匹配所述保持环的外径；以及 夹紧装置，所述夹紧装置适于提供侧向负载至所述保持环的下部部分的内径侧壁或外 径侧壁之一。13. 根据权利要求12所述的固定装置，其中所述夹紧装置是适于环绕所述保持环的所 述下部部分的所述外径侧壁的外部夹紧装置。14. 根据权利要求13所述的固定装置，其中所述夹紧装置包括一个或更多个环形夹 环。15. 根据权利要求13所述的固定装置，其中所述夹紧装置包括与所述保持环的下部部 分的所述外径侧壁紧密配合的外环。16. 根据权利要求15所述的固定装置，其中所述外环借助多个紧固件耦接至一个或更 多个环形夹环。17. 根据权利要求12所述的固定装置，其中所述夹紧装置是适于环绕所述保持环的所 述下部部分的所述内径侧壁的内部夹紧装置。18. 根据权利要求17所述的固定装置，其中所述夹紧装置包括与所述保持环的所述内 径侧壁密切配合的心轴。19. 根据权利要求18所述的固定装置，进一步包括锻模接头，所述锻模接头被设置在 所述心轴与所述固定板之间。20. 根据权利要求18所述的固定装置，其中所述心轴的外周表面包括小于90度的角 度。21. -种用于形成抛光工艺所用保持环的方法，所述方法包括以下步骤： 将固定板耦接至环形主体的上部部分； 提供侧向负载至所述环形主体的下部部分的内径侧壁或外径侧壁之一；以及 将所述环形主体的所述下部部分推向旋转的抛光垫。22. 根据权利要求21所述的方法，其中提供所述侧向负载之步骤是通过适于环绕所述 环形主体的所述下部部分的所述外径侧壁的外部夹紧装置实现的。23. 根据权利要求21所述的方法，其中提供所述侧向负载之步骤是通过适于环绕所述 环形主体的所述下部部分的所述内径侧壁的内部夹紧装置实现的。
【专利摘要】一种用于在保持环上形成牺牲表面的固定装置包括：固定板，所述固定板被定尺寸以实质匹配所述保持环的外径；以及夹紧装置，所述夹紧装置适于提供侧向负载至所述保持环的下部部分的内径侧壁或外径侧壁之一。
【IPC分类】B24B37/32
【公开号】CN105563306
【申请号】CN201510717954
【发明人】大卫·理之·石川, 吴正勋, 加勒特·何·易·施, 查尔斯·C·加勒森, 张焕波, 裴嘉定, 尼拉吉·普拉萨德, 朱利奥·大卫·穆斯基斯
【申请人】应用材料公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2015年10月29日
【公告号】US20160121453