一种气-液-固三相磨粒流旋流流场在线观测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及软性流体表面研磨/抛光领域，更具体的说，涉及一种气-液-固三相磨粒流旋流流场在线观测方法及装置。
【背景技术】
[0002]在现代光学、电子信息及薄膜科学等高新技术领域，需要在精密光学零件和功能晶体材料表面实现超光滑表面加工(Ultrasmooth Surface Manufacturing)，例如软X射线光学系统、激光陀螺反射镜、高密度波分复用器、高能激光反射镜、功能光学器件、光学窗口等。
[0003]气-液-固三相磨粒流抛光加工新方法，利用多向注入方法在抛光加工工具和工件表面之间形成的大面积微距缝隙中驱动形成一种高速湍流状态的旋流流场，此旋流流场中的微气泡在掺气量和流速的控制下可以以适当的方式溃灭，溃灭过程对附近的磨粒产生加速推动作用，两者共同结果导致所述磨粒运动方向呈现较大的随机性，所述磨粒与工件的加工表面凸起峰接触几率大幅提高，同时所述磨粒对所述工件的加工表面凸起峰作用力也大幅提尚，由此大幅度提尚了磨粒流抛光的效率，并且在提尚抛光效率的同时，由于流体的柔性缓冲特性，可以避免所述磨粒的硬性压入造成所述工件的加工表面损伤。
[0004]目前，针对所述气-液-固三相磨粒流旋流流场的研究，主要以数学模型理论分析和基于各种流体动力学软件的仿真分析为主要手段，并结合抛光加工实验来和理论分析相互验证，这种研究方法的局限性在于：（I)数学模型理论分析和软件仿真分析的方法，由于误差和边界条件设定局限性的原因，并不能完全客观、准确的得出所述旋流流场中磨粒和微气泡运动轨迹和运动规律等流场特性；（2)通常所实施的抛光加工试验，一般都是抛光加工过程不可视的，加工完成后依靠工件表面粗糙度、微观形貌图等手段来推断抛光加工中材料去除机理。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于解决气-液-固三相磨粒流旋流流场的研究过程中分析和试验方法客观局限性的问题，提出了一种气-液-固三相磨粒流旋流流场在线观测方法及装置。
[0006]本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：一种气-液-固三相磨粒流旋流流场在线观测装置，包括粒子图像测速设备、处理器、抛光加工工具、工件、磨粒流容器和磨粒流输出管；
[0007]所述粒子图像测速设备安装在抛光加工工具的正上方，用于拍摄提取气-液-固三相磨粒流从注入到形成气-液-固三相磨粒流旋流流场过程的图像和数据；
[0008]所述处理器与粒子图像测速设备电连接，处理器用于对粒子图像测速设备中所得的图像和数据进行处理分析，得到气-液-固三相磨粒流旋流流场形成过程中磨粒和微气泡的运动轨迹和运动规律；
[0009]所述抛光加工工具为由透明的有机玻璃制成的圆柱体，圆柱体的侧面开有三个磨粒流入射口，三个磨粒流入射口分别通过磨粒流输出管连接磨粒流容器，圆柱体的内部设有约束流道，所述圆柱体的内部结构表面也具有透明特性；
[0010]所述工件固定安装在所述抛光加工工具的正下方的磨粒流容器内，所述工件为由透明的有机玻璃制成圆柱体工件，所述工件与抛光加工工具底面形成大面积微距缝隙；
[0011]所述抛光加工工具与所述磨粒流容器之间形成密封的加工腔体，所述磨粒流容器上设有流道出口。
[0012]进一步的，所述磨粒流容器包括底板、两块第一侧板、两块第二侧板和顶面板，所述顶面板上设有与所述抛光加工工具相配合的通孔，底板、两块第一侧板、两块第二侧板、顶面板和抛光加工工具共同形成密封的加工腔体，两块第一侧板上均布对称分布的两组流道出口。
[0013]进一步的，每组流道出口包括至少四个流道出口。
[0014]进一步的，所述粒子图像测速法设备为粒子图像测速法摄像头。
[0015]使用该装置进行检测的方法为：
[0016]一种气-液-固三相磨粒流旋流流场在线观测方法，包括如下步骤：
[0017](I)利用多向注入方法在抛光加工工具和工件表面之间形成大面积微距间隙中驱动形成一种多相流旋流流场，即气-液-固三相磨粒流旋流流场；
[0018](2)对步骤（I)的气-液-固三相磨粒流旋流流场形成过程中磨粒和微气泡的运动规律进行理论分析；
[0019](3)利用粒子图像测速设备采用粒子图像测速法对气-液-固三相磨粒流旋流流场进行在线实验观测，粒子图像测速法是一种无干扰、瞬态、全场速度测量方法，多次摄像以记录气-液-固三相磨粒流旋流流场中磨粒的位置，并分析拍摄图像，从而测出气-液-固三相磨粒流旋流流场的流动速度、涡量和湍动能的数据信息；
[0020](4)从粒子图像测速法设备中提取相关数据和图片，将气-液-固三相磨粒流旋流流场形成过程中磨粒和微气泡的运动规律进行直观的呈现；
[0021](5)根据气-液-固三相磨粒流旋流流场的形成过程的在线观测，验证步骤(2)中理论分析的正确性，为深入研究气-液-固三相磨粒流旋流流场的流场特性及控制方法奠定基础。
[0022]其中，所述多向注入方法是通过驱动系统将预先混合均匀的气-液-固三相磨粒流以三个方向以一定角度注入到抛光加工工具内腔中，随后抛光加工工具内腔中的气-液-固三相磨粒流在进入大面积微距缝隙的过程的方法；由于抛光加工工具内部流道的特殊约束结构，从而在大面积微距缝隙中形成所述的气-液-固三相磨粒流旋流流场。
[0023]其中，所述磨粒为粒径为IOum?IOOum之间的球形碳化娃或者氧化招微粉颗粒。
[0024]其中，所述微气泡为微气泡发生器通过电激法在液相中产生的直径为微米级别的气泡。
[0025]其中，所述液相为水。
[0026]本实用新型的有益效果在于：
[0027]I)利用粒子图像测速法(P