专利名称：还原炉防掉硅块装置的制作方法
技术领域：
还原炉防掉硅块装置技术领域[0001]本实用新型涉及西门子法多晶硅还原炉的部件，特别是一种还原炉防掉硅块装置。
背景技术：
[0002]目前改良西门子法多晶硅还原炉均为从底盘进气、从底盘出气的模式，在硅棒 的生长过程中，往往会发生硅棒倒棒的现象，这种现象发生后，硅块常常会掉入还原炉 出气管道中并被流动的工艺气体带入到后续的工艺管线，由于很难发现硅块是否掉入管 道内或掉入多少，即使发现，也无法将硅块取出。要想取出硅块，也只有拆除还原炉 的出气管线，这样做既费时又费力，随着时间的推移，掉入出气管线的硅块数量足够多 时，会严重堵塞管线，在硅棒生长的末期，工艺气体的流量很大时，会造成还原炉及炉 前的蒸发器压力憋压并超出设计压力，给还原炉的正常生产和工艺操作带来安全隐患。发明内容[0003]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种还原炉防掉硅块装置，可以避免硅 块掉入到出气管线中。[0004]为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是一种还原炉防掉硅块 装置，不锈钢管帽与不锈钢管连接，不锈钢管下方设有多个不锈钢支腿，不锈钢管上设 有多个通气口；[0005]所述的不锈钢管帽上方设有一圆孔，该圆孔与进气管的外径成间隙配合。[0006]所述的通气口成细长条形，分布在不锈钢管的圆周上。[0007]所述的多个通气口的总面积大于等于还原炉出气管的横截面积。[0008]所述的通气口的底部高于还原炉底盘20 士 5mm。[0009]所述的不锈钢支腿为三个，均勻分布在不锈钢管内壁圆周上。[0010]本实用新型提供的一种还原炉防掉硅块装置，有效地解决了生产中硅棒倒棒， 导致硅块进入出气管线，从而堵塞还原炉出气工艺管线的问题，本实用新型结构简洁实 用，拆卸方便，便于维护和更换。
[0011]
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明[0012]图1是本实用新型的主视图。[0013]图2是图1的A-A剖视图。[0014]图3是本实用新型的使用状态参考图。
具体实施方式
[0015]如图1、图2中，一种还原炉防掉硅块装置，不锈钢管帽1与不锈钢管2连接，不锈钢管2上设有多个不锈钢支腿4，不锈钢管2上设有多个通气口 3。[0016]如图3中，所述的不锈钢管帽1上方设有一圆孔，该圆孔与进气管5的外径成间 隙配合。还原炉的进气管从管帽1中心孔穿过并略微高出管帽1，进气管的顶部为管接 头，管接头上焊有两个小筋板，小筋板对本实用新型在上下方向进行定位，并易于拆卸 取出。[0017]所述的通气口 3成细长条形，分布在不锈钢管2的圆周上。[0018]所述的通气口 3的总的面积大于等于还原炉出气管的横截面积。[0019]所述的通气口 3的底部高于还原炉底盘20 士 5mm。不锈钢管2放置于还原炉底 盘上，这样既能确保工艺气体能够从细长条形的通气口 3中顺畅的流动到还原炉出气管 中，又能防止硅棒倒棒时硅块掉入还原炉出气管中。[0020]所述的不锈钢支腿4为三个，均勻分布在不锈钢管2内壁圆周上。不锈钢支腿4 是三个成120度均布的长方体不锈钢块，它与不锈钢管2内壁焊接。还原炉中心进气管 5和出气管为同心夹套管，中心进气管焊接有三个成120度分布的定位筋板，不锈钢支腿 4下伸到还原炉中心进气管的定位筋板处，它与不锈钢支腿4构成了对防掉硅块装置圆周 方向的定位。
权利要求1.一种还原炉防掉硅块装置，其特征在于不锈钢管帽(1)与不锈钢管(2)连 接，不锈钢管(2)下方设有多个不锈钢支腿(4)，不锈钢管(2)上设有多个通气口(3)；所述的不锈钢管帽(1)上方设有一圆孔，该圆孔与进气管(5)的外径成间隙配合。
2.根据权利要求1所述的一种还原炉防掉硅块装置，其特征在于所述的通气口 (3)成细长条形，分布在不锈钢管(2)的圆周上。
3.根据权利要求1或2所述的一种还原炉防掉硅块装置，其特征在于所述的多个通 气口(3)的总面积大于等于还原炉出气管的横截面积。
4.根据权利要求3所述的一种还原炉防掉硅块装置，其特征在于所述的通气口 (3)的底部高于还原炉底盘20士5mm。
5.根据权利要求1所述的一种还原炉防掉硅块装置，其特征在于所述的不锈钢支 腿(4)为三个，均勻分布在不锈钢管(2)内壁圆周上。
专利摘要一种还原炉防掉硅块装置，不锈钢管帽与不锈钢管连接，不锈钢管上设有多个不锈钢支腿，不锈钢管上设有多个通气口；所述的不锈钢管帽上方设有一圆孔，该圆孔与进气管的外径成间隙配合。本实用新型提供的一种还原炉防掉硅块装置，通过在原有改良西门子法多晶硅还原炉底盘出气管道上增加一个防掉硅块装置，有效地解决了生产中硅棒倒棒，导致硅块进入出气管线，从而堵塞出气管线的问题，本实用新型结构简洁实用，拆卸方便，便于维护和更换。
文档编号C01B33/025GK201809173SQ20102054050
公开日2011年4月27日 申请日期2010年9月25日 优先权日2010年9月25日
发明者梁波, 郭建彬 申请人:宜昌南玻硅材料有限公司