专利名称：一种多台多晶炉并联运行真空系统的制作方法
技术领域：
本实用新型属于多晶硅太阳能电池技术领域，特别是涉及一种多台多晶炉并联运 行时的真空系统。
背景技术：
目前不管国产或者进口多晶铸锭炉(简称多晶炉)，多采用传统的一炉一组真空 机组的运行方式，多晶炉运行前期，炉内要求为真空模式时，真空机组中的机械泵、罗茨泵 共同运行，并且主管道全开，以达到在加热阶段炉内处于高真空的目的；而从加热阶段进入 熔化阶段后，炉内逐步开始充入保护气体(Ar)，即保护气体模式时，真空机组中只开启机械 泵，抽气管道也采用旁路，主管道关闭，由气动阀门根据工艺设定压力对旁路自动开闭，使 炉内气压符合生产要求，直至整个工艺流程结束，完成一个生产周期。一个完整的生产周期 大约在65小时左右，真空机组中的机械泵在整个周期中全程运行，而其中有四分之三以上 的时间，抽气管道采用旁路，机械泵能耗大量地是在作无用功而白白浪费。
发明内容本实用新型针对上述现有技术存在的不足，提出了一种多台多晶炉并联运行真空 系统，采用本系统可以减少机械泵的运行数量，实现节能降耗的目的。本实用新型解决技术问题所采取的技术方案是，一种多台多晶炉并联运行真空系 统，其中多晶铸锭炉和真空机组一一对应，所述真空机组包括机械泵和罗茨泵，其特征在 于，它至少包括二台多晶铸锭炉和二组真空机组，所述的各组真空机组的机械泵分别通过 主管道与对应的一台多晶铸锭炉连通，并且每组真空机组的机械泵均通过管道经阀门连接 至并联总管道而与各台多晶铸锭炉连通。在本实用新型中，多台多晶铸锭炉的真空系统既实行并联，又又一一对应，在并联 连接时，在机械泵通往并联总管道的连接管道上设置了阀门，该阀门可以是手动旋钮阀门， 也可以是气动阀门或者电动阀门等。当并联的多台多晶炉中要求真空模式时，各台机械泵 全部开启，并关闭机械泵通往并联总管道的连接管道上所设置的阀门，使一台多晶炉通过 主管道对应一台机械泵；当多台多晶炉同时处于保护气体模式时，可以减少机械泵的运行 数量，直至仅保留一台机械泵运行，此时，多晶炉主管道阀门关闭，应当开启运行的机械泵 通往并联总管道的连接管道上所设置的阀门。本实用新型的实施，多台多晶炉采用并联运行的真空系统，与原有的单台多晶炉 单独使用一组真空机组的情况相比较，在节省电能方面取得了显著的成效。这就实现了在 保护气体模式下多台多晶炉共用一台机械泵的目标，从而实现了节能降耗的目的。
图1为本实用新型一种实施方式示意图。
具体实施方式
如图1所示，它包括4台多晶铸锭炉1和4组真空机组，一组真空机组中包括1 台机械泵5，故有4台机械泵5。各机械泵5分别通过主管道6与对应的一台多晶铸锭炉 1连通，每台机械泵5均分别通过管道经手动旋钮阀门4连接至并联总管道3而与各台多 晶铸锭炉1连通。在通往每台多晶铸锭炉1的管道上靠近多晶铸锭炉1处均设有气动阀 门2。本实施例在实际运行中，产生了良好的节能效果，以一个完整的生产周期计，4台多晶 炉并联运行真空系统后，用电量由真空系统独立运行的1950度下降到825度，仅为原来的 42.31%,即可能节省电能57. 69%，如下表所示。
权利要求1. 一种多台多晶炉并联运行真空系统，其中多晶铸锭炉和真空机组一一对应，所述真 空机组包括机械泵和罗茨泵，其特征在于，它至少包括二台多晶铸锭炉和二组真空机组，所 述的各组真空机组的机械泵分别通过主管道与对应的一台多晶铸锭炉连通，并且每组真空 机组的机械泵均分别通过管道经阀门连接至并联总管道而与各台多晶铸锭炉连通。
专利摘要本实用新型涉及一种多台多晶炉并联运行时的真空系统。它至少包括二台多晶铸锭炉和二组真空机组，多晶铸锭炉和真空机组一一对应，各组真空机组的机械泵分别通过主管道与对应的一台多晶铸锭炉连通，并且每组真空机组的机械泵均通过管道经阀门连接至并联总管道而与各台多晶铸锭炉连通。采用本实用新型，在保护气体模式下多台多晶炉可共用一台机械泵，实现了节能降耗的目的。
文档编号C01B33/021GK201882916SQ20102059171
公开日2011年6月29日 申请日期2010年11月4日 优先权日2010年11月4日
发明者钱其峰 申请人:浙江芯能光伏科技有限公司