大面积单晶多孔二氧化钛薄膜及其制备方法与应用与流程

文档序号:11800776阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种大面积单晶多孔二氧化钛薄膜的制备方法,其特征在于包括:

采用水热法在沉积有TiO2晶种层的导电基底表面生长高取向多孔二氧化钛薄膜;

以及,对所述高取向多孔二氧化钛薄膜进行煅烧处理,获得单晶多孔二氧化钛薄膜。

2.根据权利要求1所述的大面积单晶多孔二氧化钛薄膜的制备方法,其特征在于包括:将沉积有TiO2晶种层的导电基底置于高压反应釜中,并加入含Ti反应物、浓酸和水,在180℃~200℃保温1~4h,之后冷却、清洗,获得高取向多孔二氧化钛薄膜。

3.根据权利要求2所述的大面积单晶多孔二氧化钛薄膜的制备方法,其特征在于所述含Ti反应物包括钛酸四丁酯或钛酸异丙酯,所述浓酸包括盐酸与硫酸的混合酸液。

4.根据权利要求1或2所述的大面积单晶多孔二氧化钛薄膜的制备方法,其特征在于包括:采用浸渍提拉法在洁净导电基底上沉积TiO2晶种层,其中采用的浸渍溶液,包括浓度为0.2~0.6M的钛酸四丁酯乙醇溶液,提拉速率为50~200mm/min,之后在空气氛下进行烧结,烧结温度为400~600℃,烧结时间为30~120min。

5.根据权利要求1所述的大面积单晶多孔二氧化钛薄膜的制备方法,其特征在于包括:将所述高取向多孔二氧化钛薄膜在空气中煅烧,煅烧温度450℃~550℃,煅烧时间30~60min,获得单晶多孔二氧化钛薄膜。

6.根据权利要求1或5所述的大面积单晶多孔二氧化钛薄膜的制备方法,其特征在于还包括:对所述单晶多孔二氧化钛薄膜进行表面处理和扩孔处理。

7.根据权利要求6所述的大面积单晶多孔二氧化钛薄膜的制备方法,其特征在于包括:将所述单晶多孔二氧化钛薄膜浸渍于主要由体积比为20:1~100:1的双氧水与氨水形成的混合溶液中,浸渍时间10~30min,从而完成对所述单晶多孔二氧化钛薄膜的表面处理和扩孔处理。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的大面积单晶多孔二氧化钛薄膜的制备方法,其特征在于所述导电基底包括透明导电玻璃,所述透明导电玻璃包括掺氟氧化锡玻璃。

9.由权利要求1-3中任一项所述方法制备的大面积单晶多孔二氧化钛薄膜。

10.一种光电器件,其特征在于包含权利要求9所述的大面积单晶多孔二氧化钛薄膜。

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