技术总结
本发明提供一种氮化硅衬底的制造方法，其包括：原料粉末准备步骤，其准备含有硅粉末、稀土元素化合物、及镁化合物的原料粉末，其中，当将原料粉末中的硅换算成氮化硅时，该原料粉末含有以氧化物计1摩尔％以上7摩尔％以下的稀土元素化合物，并含有以氧化物计8摩尔％以上15摩尔％以下的镁化合物；片材成形步骤，其将原料粉末成形为片状而形成片材体；氮化步骤，其在氮气氛中以1200℃以上1500℃以下对片材体进行加热，将包含在片材体中的硅氮化；以及烧结步骤，其在氮气氛下对完成了氮化步骤的片材体进行烧结。
技术研发人员：草野大;田边元;平尾喜代司;日向秀树;周游
受保护的技术使用者：日本精细陶瓷有限公司
文档号码：201580014104
技术研发日：2015.03.31
技术公布日：2016.11.16