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高导电性钽酸锂晶体基片的黑化处理方法与流程
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高导电性钽酸锂晶体基片的黑化处理方法与流程
技术总结
一种高导电性钽酸锂晶体基片的黑化处理方法,包括步骤选取LT基片的金属铝片作为还原剂夹片;交替放置;置入热处理炉中,密封后抽真空等。使黑化LT基片不产生表面电荷积累,从而获得减弱或者无热释电性的LT黑化衬底片,可提高在SAW滤波器制作的优良率。
技术研发人员:
赵广军;姚诗凯;杨新华;徐峰;杨胜裕
受保护的技术使用者:
上海召业申凯电子材料有限公司
文档号码:
201610674250
技术研发日:
2016.08.16
技术公布日:
2017.01.04
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