技术总结
本发明公开了一种单晶炉石英导流筒，设有石英内筒和内筒支架，所述内筒支架设在所述石英内筒的外壁，所述石英内筒的内壁设有铱层，所述石英内筒与所述内筒支架之间设置有保温层；所述石英内筒为圆锥体，所述石英内筒的上端边缘设有裙边；所述石英内筒上下两端均设有一密封的凹台；所述石英内筒具有光滑内表面且四周无任何接痕；所述铱层设置于所述光滑内表面上；所述内筒支架为埚形，所述内筒支架的上下两端均具有一密封的凸台，所述凸台与所述凹台相匹配使所述石英内筒固定在所述内筒支架上；所述内筒支架的上端设有一小平面的轴肩；在单晶硅生长过程中，导流筒具有较高的强度与隔热性，在高温条件下具有较高的抗裂性和抗震性。
技术研发人员：洪亚丽;姜树炎
受保护的技术使用者：宝鸡市宏佳有色金属加工有限公司
文档号码：201611143546
技术研发日：2016.12.13
技术公布日：2017.03.22