一种光作用的晶体生长装置的制作方法

文档序号:11372033阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光作用的晶体生长装置,包括反应釜、坩埚和加热器,坩埚设在反应釜内,加热器设在坩埚侧面,其特征在于,所述反应釜上设有调节阀,反应釜上设有延伸至坩埚内的光传输通道,该光传输通道与光源连接使光源发出的光线经光传输通道射入坩埚内。

2.根据权利要求1所述的光作用的晶体生长装置,其特征在于,所述光传输通道的下端位于坩埚内的溶液液面上方。

3.根据权利要求1所述的光作用的晶体生长装置,其特征在于,所述光传输通道的下端伸入坩埚内的溶液内部。

4.根据权利要求3所述的光作用的晶体生长装置,其特征在于,所述光传输通道下端的端面设为倾斜状、平面状或者弧形状。

5.根据权利要求4所述的光作用的晶体生长装置,其特征在于,所述光传输通道由实心晶体、内部充满惰性气体的空心通道或光学镜片构成。

6.根据权利要求5所述的光作用的晶体生长装置,其特征在于,所光源为紫外光源,并且该紫外光源设在反应釜内或者反应釜外。

7.根据权利要求6所述的光作用的晶体生长装置,其特征在于,所述坩埚底部装接有旋转转轴,该旋转转轴与驱动装置连接。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的光作用的晶体生长装置,其特征在于,所述反应釜内还设有伸入坩埚内用于驱动流体流动的叶片,该叶片通过支撑杆与驱动装置连接。

9.根据权利要求8所述的光作用的晶体生长装置,其特征在于,所述叶片位于坩埚内溶液液面的上方或者内部。

10.根据权利要求1-7中任一项所述的光作用的晶体生长装置,其特征在于,所述反应釜上还设有进气管路,该进气管路延伸至坩埚内的溶液内部,该进气管路上设有进气加热器和进气调节阀。

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