技术总结
本实用新型提供了一种六氯乙硅烷的回收装置。该六氯乙硅烷的回收装置包括：过滤单元，具有多晶硅残液入口和滤液出口；第一精馏单元，与过滤单元的滤液出口相连对过滤单元得到的滤液进行精馏，具有第一塔顶精馏液出口；第二精馏单元，与第一精馏单元的塔顶精馏液出口相连对第一精馏单元的塔顶精馏液进行精馏，具有第二塔釜精馏液出口；以及第三精馏单元，与第二精馏单元的塔釜精馏液出口相连对第二精馏单元的第二塔釜精馏液进行精馏。对多晶硅残液进行过滤，能够去除其中的固体颗粒和金属聚合物杂质；然后，对过滤得到的滤液进行第一次精馏、第二次精馏、第三次精馏，在塔顶得到四氯化硅和六氯二硅氧烷以及以六氯乙硅烷为主的第三塔釜精馏液。
技术研发人员：郭树虎;赵雄;万烨;严大洲;刘见华;李云昊;杨典
受保护的技术使用者：洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
文档号码：201720354896
技术研发日：2017.04.06
技术公布日：2017.12.19