一种升温改善后蚀刻装置的制作方法

文档序号:14916545发布日期:2018-07-11 01:12阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种升温改善后蚀刻装置,其特征在于,该升温改善后蚀刻装置设置有箱体,所述箱体的内壁上对称粘贴有若干组玻璃放置台,所述玻璃放置台的上端放置有玻璃板;

所述箱体的顶部安装有分立式进液管,所述分立式进液管通过管道连通储液箱;所述储液箱的下端通过螺栓固定安装有直立式加热丝,所述直立式加热丝通过电源插头与外部电源相连接。

2.如权利要求1所述升温改善后蚀刻装置,其特征在于,所述箱体外壁的下端设置有电子风扇,所述箱体外壁的上端设置有风嘴。

3.如权利要求1所述升温改善后蚀刻装置,其特征在于,所述分立式进液管设置有三根管径相同支管,三根所述支管通过管道与储液箱相连通。

4.如权利要求1所述升温改善后蚀刻装置,其特征在于,所述电源插头上安装有电源指示装置和漏电保护装置。

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