一种升温改善后蚀刻装置的制作方法

文档序号:14916545发布日期:2018-07-11 01:12阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型属于蚀刻技术领域,公开了一种升温改善后蚀刻装置,设置有箱体,所述箱体的内壁上对称粘贴有若干组玻璃放置台,所述玻璃放置台的上端放置有玻璃板;所述箱体的顶部安装有分立式进液管,所述分立式进液管通过管道连通储液箱;所述储液箱的下端通过螺栓固定安装有直立式加热丝,所述直立式加热丝通过电源插头与外部电源相连接。该蚀刻装置进行的蚀刻工艺,分立式进液管能够把蚀刻药液分布在玻璃板各处,并且风嘴在工艺过程中吹动位于玻璃板上的蚀刻药液,使玻璃板上的蚀刻药液向其两侧流动,使得玻璃板中央区域的蚀刻的线路与周边区域蚀刻的线路更加均匀,提高蚀刻质量,并且能够加快反应速率,减少毛边产生,直立式加热丝加热效率高。

技术研发人员:肖红星
受保护的技术使用者:湖北优尼科光电技术股份有限公司
技术研发日:2017.11.08
技术公布日:2018.07.10

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