单晶炉及其连续加料装置的制作方法

文档序号:18490053发布日期:2019-08-21 00:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶炉的连续加料装置,其特征在于:包括

外壳体,所述外壳体的顶部设有加料口,所述外壳体的外壁设有起吊接口;

支架,固定于所述外壳体内;

料斗,支撑于所述支架,所述料斗的底部设有出料口;

加料管,所述加料管的上端口位于所述外壳体内,下端口伸出外壳体的底部;

硅料输送装置,位于所述外壳体内,与所述出料口及所述加料管的上端口之间均密封连接;

掺杂管,一端位于外壳体的外部,另一端位于所述加料管的上端口的上方,并与所述加料管的上端口密封连接;及

定位销,固定于所述外壳体的底部。

2.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置,其特征在于,所述料斗的内壁具有保护内衬。

3.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置,其特征在于,所述下端口的外部套设有固定于所述外壳体的波纹管。

4.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置,其特征在于,所述出料口的上方还设有硅料分布器,所述硅料分布器为锥体。

5.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置,其特征在于,还包括具有内腔的转接件,所述加料管、所述硅料输送装置及掺杂管插入所述转接件的内腔中。

6.根据权利要求5所述的单晶炉的连续加料装置,其特征在于,还包括连接架,所述转接件、所述硅料输送装置及所述料斗均与所述连接架固定连接,所述连接架支撑于所述支架,所述连接架与所述支架之间还设有称重传感器。

7.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置,其特征在于,所述外壳体还开设有抽真空口、氩气接口、真空计安装接口和观察窗。

8.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置,其特征在于,所述起吊接口为导轨或滑块。

9.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置,其特征在于,所述硅料输送装置包括与所述出料口相连通的竖向管及水平管,所述水平管内设有振动喂料器,所述水平管与所述竖向管连通,且所述水平管具有位于所述加料管的上端口的上方的出口。

10.一种单晶炉,其特征在于,包括炉体、立柱及如权利要求1-9中任一项所述的连续加料装置,其中所述立柱上安装有导向部件和升降机构,所述起吊接口滑动连接于导向部件并由所述升降机构驱动升降,所述定位销与所述炉体配合。

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