加料装置的制作方法

文档序号:20048151发布日期:2020-03-03 04:08阅读:251来源:国知局
加料装置的制作方法

本实用新型涉及硅料加工技术领域,尤其涉及一种加料装置。



背景技术:

单晶硅作为一种半导体材料,一般用于制造集成电路和其他电子元件,在直拉法制造单晶硅时,要将多晶硅置于石英坩埚中,经过高温使其熔化,然后籽晶由顶部降至熔化的多晶硅中,通过控制液面的温度,使熔化的籽晶在周围重新结晶,生成排列整齐的单晶硅棒。

在单晶硅的生长过程中需要向单晶炉内进行加料,现有的加料装置通常包括筒体、调节杆和开关门,调节杆设置在筒体内,开关门设置在筒体的一侧,并且与调节杆相连接,原料放置在筒体内,需要加料时,使调节杆朝向开关门的方向移动,使开关门打开,从而完成加料,但是,由于调节杆设置在筒体内,并且开关门为梯形结构,使得筒体内的料块受到调节杆的位置的限制,并且,在开关门打开后,原料会顺着开关门的斜坡向单晶炉内滑动,使得原料与单晶炉内的石墨导流筒相互碰撞,导致石墨渣掉入溶体中,进而造成硅棒内的碳含量偏高,降低了硅棒的质量,现有的另一种加料器将调节杆替换成连接绳,开关门设置成两个封堵门,通过连接绳控制两个封堵门的开启或者关闭,但是,由于连接绳是柔性材料,导致两个封堵门的开启大小不同步,造成下料不均匀,并且长时间在高温环境下作业会导致连接绳伸长,严重时还会导致连接绳断裂,从而造成加料器损坏。



技术实现要素:

有鉴于此,本实用新型实施例提供一种加料装置,主要目的是提供一种能够在加料时防止原料碰撞石墨导流筒的加料装置。

为达到上述目的,本实用新型主要提供如下技术方案:

一种加料装置,包括:

装载部,所述装载部用于装载原料,所述装载部的两端具有进料口和出料口;

封闭部,所述封闭部包括控制杆、开合机构、第一封闭门和第二封闭门,所述第一封闭门设置在所述出料口,并且转动连接于所述装载部,所述第二封闭门设置在所述出料口,并且转动连接于所述装载部,所述开合机构包括固定件、第一连接部件和第二连接部件,所述固定件连接于所述控制杆,所述第一连接部件的一端转动连接于所述第一封闭门,另一端转动连接于所述固定件,所述第二连接部件的一端转动连接于所述第二封闭门,另一端转动连接于所述固定件,所述控制杆设置在所述装载部的外侧,并且滑动连接于所述装载部,用于带动所述开合机构朝向或者远离所述出料口的方向移动,使所述第一封闭门和所述第二封闭门打开或者封闭所述出料口。

进一步的,所述第一连接部件包括第一连接杆和第一连接齿轮,所述第一连接杆的一端连接于所述第一连接齿轮,另一端转动连接于所述第一封闭门,所述第二连接部件包括第二连接杆和第二连接齿轮,所述第二连接杆的一端连接于所述第二连接齿轮,另一端转动连接于所述第二封闭门,所述第一连接齿轮与所述第二连接齿轮相互啮合。

进一步的,所述装载部包括装载筒体和固定环,所述固定环设置在所述装载筒体的外侧,所述进料口和出料口分别设置在所述筒体的两端,所述控制杆滑动连接于所述固定环。

进一步的,所述控制杆包括第一控制杆和第二控制杆,所述开合机构包括第一开合机构和第二开合机构,所述第一控制杆和所述第二控制杆分别设置在所述筒体的两侧,所述第一开合机构的一端连接于所述第一控制杆,另一端分别转动连接于所述第一封闭门和所述第二封闭门,所述第二开合机构的一端连接于所述第二控制杆,另一端分别转动连接于所述第一封闭门和所述第二封闭门。

进一步的,固定部件,所述固定部件设置在所述固定环上,用于控制所述控制杆的移动位置。

进一步的,驱动机构,所述驱动机构设置在单晶炉的顶部,所述驱动机构分别连接于所述第一控制杆和第二控制杆,用于控制所述第一控制杆和所述第二控制杆沿所述筒体的轴向方向移动。

进一步的,所述控制杆还包括连接杆,所述连接杆的一侧分别连接于所述第一控制杆和所述第二控制杆,另一侧连接于所述驱动机构,用于控制所述第一控制杆和所述第二控制杆沿所述筒体的轴向方向移动。

与现有技术相比,本实用新型具有如下技术效果:

本实用新型实施例提供的技术方案中,装载部的作用是装载原料,装载部用于装载原料,装载部的两端具有进料口和出料口;封闭部的作用是控制第一封闭门和第二封闭门的开启或者关闭,封闭部包括控制杆、开合机构、第一封闭门和第二封闭门,第一封闭门设置在出料口,并且转动连接于装载部,第二封闭门设置在出料口,并且转动连接于装载部,开合机构包括固定件、第一连接部件和第二连接部件,固定件连接于控制杆,第一连接部件的一端转动连接于第一封闭门,另一端转动连接于固定件,第二连接部件的一端转动连接于第二封闭门,另一端转动连接于固定件,控制杆设置在装载部的外侧,并且滑动连接于装载部,用于带动开合机构朝向或者远离出料口的方向移动,使第一封闭门和第二封闭门打开或者封闭出料口,相对于现有技术,调节杆设置在筒体内,开关门设置在筒体的一侧,并且与调节杆相连接,原料放置在筒体内,需要加料时,使调节杆朝向开关门的方向移动,使开关门打开,从而完成加料,但是,由于调节杆设置在筒体内,并且开关门为梯形结构,使得筒体内的料块受到调节杆的位置的限制,并且,在开关门打开后,原料会顺着开关门的斜坡向单晶炉内滑动,使得原料与单晶炉内的石墨导流筒相互碰撞,导致石墨渣掉入溶体中,进而造成硅棒内的碳含量偏高,降低了硅棒的质量,现有的另一种加料器将调节杆替换成连接绳,开关门设置成两个封堵门,通过连接绳控制两个封堵门的开启或者关闭,但是,由于连接绳是柔性材料,并且长时间在高温环境下作业会导致连接绳伸长,严重时还会导致连接绳断裂,从而造成加料器损坏,本实用新型实施例中,通过将控制杆设置在装载部的外部,增加投料的尺寸,并且,通过控制杆带动开合机构朝向出料口的方向移动,使得第一连接部件和第二连接部件同时绕固定件的中心转动,不仅能够防止原料碰撞石墨导流筒,还能够使得第一封闭门和第二封闭门能够同时开启,达到下料均匀的技术效果。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种加料装置的结构示意图;

图2为本实用新型实施例提供的一种开合机构的结构示意图;

图3为本实用新型实施例提供的一种加料装置的使用状态结构示意图;

图4为本实用新型实施例提供的一种加料装置左视结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

如图1至图4所示,一种加料装置,包括:

装载部1,装载部1用于装载原料,装载部1的两端具有进料口111和出料口112;

封闭部,封闭部包括控制杆21、开合机构22、第一封闭门23和第二封闭门24,第一封闭门23设置在出料口112,并且转动连接于装载部1,第二封闭门24设置在出料口112,并且转动连接于装载部1,开合机构22包括固定件221、第一连接部件222和第二连接部件223,固定件221连接于控制杆21,第一连接部件222的一端转动连接于第一封闭门23,另一端转动连接于固定件221,第二连接部件223的一端转动连接于第二封闭门24,另一端转动连接于固定件221,控制杆21设置在装载部1的外侧,并且滑动连接于装载部1,用于带动开合机构22朝向或者远离出料口112的方向移动,使第一封闭门23和第二封闭门24打开或者封闭出料口112。

本实用新型实施例提供的技术方案中,装载部1的作用是装载原料,装载部1用于装载原料,装载部1的两端具有进料口111和出料口112;封闭部的作用是控制第一封闭门23和第二封闭门24的开启或者关闭,封闭部包括控制杆21、开合机构22、第一封闭门23和第二封闭门24,第一封闭门23设置在出料口112,并且转动连接于装载部1,第二封闭门24设置在出料口112,并且转动连接于装载部1,开合机构22包括固定件221、第一连接部件222和第二连接部件223,固定件221连接于控制杆21,第一连接部件222的一端转动连接于第一封闭门23,另一端转动连接于固定件221,第二连接部件223的一端转动连接于第二封闭门24,另一端转动连接于固定件221,控制杆21设置在装载部1的外侧,并且滑动连接于装载部1,用于带动开合机构22朝向或者远离出料口112的方向移动,使第一封闭门23和第二封闭门24打开或者封闭出料口112,相对于现有技术,调节杆设置在筒体11内,开关门设置在筒体11的一侧,并且与调节杆相连接,原料放置在筒体11内,需要加料时,使调节杆朝向开关门的方向移动,使开关门打开,从而完成加料,但是,由于调节杆设置在筒体11内,并且开关门为梯形结构,使得筒体11内的料块受到调节杆的位置的限制,并且,在开关门打开后,原料会顺着开关门的斜坡向单晶炉内滑动,使得原料与单晶炉内的石墨导流筒相互碰撞,导致石墨渣掉入溶体中,进而造成硅棒内的碳含量偏高,降低了硅棒的质量,现有的另一种加料器将调节杆替换成连接绳,开关门设置成两个封堵门,通过连接绳控制两个封堵门的开启或者关闭,但是,由于连接绳是柔性材料,并且长时间在高温环境下作业会导致连接绳伸长,严重时还会导致连接绳断裂,从而造成加料器损坏,本实用新型实施例中,通过将控制杆21设置在装载部1的外部,增加投料的尺寸,并且,通过控制杆21带动开合机构22朝向出料口112的方向移动,使得第一连接部件222和第二连接部件223同时绕固定件221的中心转动,从而使得第一封闭门23和第二封闭门24能够同时开启,达到下料均匀的技术效果。

上述装载部1的作用是装载原料,装载部1用于装载原料,装载部1的两端具有进料口111和出料口112,装载部1包括筒体11和固定环12,筒体11的作用是装载原料,筒体11的一端设置进料口111,另一端设置出料口112,固定环12设置在筒体11的外壁上,作用是限制控制杆21的移动位置;封闭部的作用是控制第一封闭门23和第二封闭门24的开启或者关闭,封闭部包括控制杆21、开合机构22、第一封闭门23和第二封闭门24,第一封闭门23设置在出料口112,并且转动连接于筒体11,第二封闭门24设置在出料口112,并且转动连接于筒体11,开合机构22包括固定件221、第一连接部件222和第二连接部件223,固定件221连接于控制杆21,第一连接部件222的一端转动连接于第一封闭门23,另一端转动连接于固定件221,第二连接部件223的一端转动连接于第二封闭门24,另一端转动连接于固定件221,控制杆21设置在装载部1的外侧,并且滑动连接于装载部1,用于带动开合机构22朝向或者远离出料口112的方向移动,使第一封闭门23和第二封闭门24打开或者封闭出料口112,控制杆21滑动连接于固定环12,并且能够朝向或者远离出料口112的方向移动,当控制杆21朝向出料口112的方向移动时,开合机构22的第一连接部件222和第二连接部件223绕固定件221的中心转动,第一连接部件222的一端和第二连接部件223的一端相互分离,第一封闭门23绕筒体11与第一封闭门23的连接位置转动,第二封闭门24绕筒体11与第二封闭门24的连接位置转动,使得出料口112开启,由于控制杆21、开合机构22、第一封闭门23和第二封闭门24之间的连接都为硬性结构,可以通过控制杆21移动的位置有效的控制出料口112的大小,进而控制下料的速度,本实用新型实施例中,通过将控制杆21设置在装载部1的外部,增加投料的尺寸,并且,通过控制杆21带动开合机构22朝向出料口112的方向移动,使得第一连接部件222和第二连接部件223同时绕固定件221的中心转动,从而使得第一封闭门23和第二封闭门24能够同时开启,达到均匀下料的技术效果。

进一步的,第一连接部件222包括第一连接杆和第一连接齿轮,第一连接杆的一端连接于第一连接齿轮,另一端转动连接于第一封闭门23,第二连接部件223包括第二连接杆和第二连接齿轮,第二连接杆的一端连接于第二连接齿轮,另一端转动连接于第二封闭门24,第一连接齿轮与第二连接齿轮相互啮合。本实施例中,进一步限定了开合机构22,第一连接部件222包括第一连接杆和第一连接齿轮,第二连接部件223包括第二连接杆和第二连接齿轮,第一连接齿轮和第二连接齿轮设置在固定件221内,并且,第一连接齿轮和第二连接齿轮相互啮合,同时,第一连接齿轮和第二连接齿轮能够绕各自的中心轴转动,第一连接杆的一端连接于第一连接齿轮,另一端转动连接于第一封闭门23,当控制杆21朝向出料口112的方向移动时,第一连接齿轮和第二连接齿轮绕其轴线转动,使第一连接杆额另一端和第二连接杆的另一端相互分离,第一封闭门23绕筒体11与第一封闭门23的连接位置转动,第二封闭门24绕筒体11与第二封闭门24的连接位置转动,从而使出料口112打开,筒体11内的原料通过出料口112排出,由于第一封闭门23和第二封闭门24连接于筒体11,当第一封闭门23和第二封闭门24开启出料口112时,第一封闭门23朝向远离第二封闭门24的方向移动,使得原料从第一封闭门23和第二封闭门24中间的位置掉落,从而达到防止加料过程中原料碰撞石墨导流筒的技术效果。

进一步的,如图4所示,控制杆21包括第一控制杆211和第二控制杆212,开合机构22包括第一开合机构224和第二开合机构225,第一控制杆211和第二控制杆212分别设置在筒体11的两侧,第一开合机构224的一端连接于第一控制杆211,另一端分别转动连接于第一封闭门23和第二封闭门24,第二开合机构225的一端连接于第二控制杆212,另一端分别转动连接于第一封闭门23和第二封闭门24。本实施例中,进一步限定了控制杆21和开合机构22,由于第一封闭门23和第二封闭门24的一端转动连接于筒体11,第一封闭门23和第二封闭门24的另一端位于出料口112的中间位置,需要承受筒体11内的原料的重量,为了提高第一封闭门23和第二封闭门24的支撑性,在筒体11的两侧分别设置了第一控制杆211和第二控制杆212,第一开合机构224的一端连接于第一控制杆211,另一端分别连接于第一封闭门23和第二封闭门24,第二开合机构225的一端连接于第二控制杆212,另一端分别连接于第一封闭门23和第二封闭门24,需要开启出料口112时,第一控制杆211和第二控制杆212同时朝向出料口112的方向移动即可使第一封闭门23和第二封闭门24同时开启,从而达到提高第一封闭门23和第二封闭门24的支撑性的技术效果。

进一步的,增加了固定部件,固定部件设置在固定环12上,用于控制控制杆21的移动位置。本实施例中,增加了固定部件,固定部件的作用是限制控制杆21的移动位置,在加料之前,需要先向筒体11内倒入原料,此时,第一封闭门23和第二封闭门24处于关闭状态,因此,固定部件对控制杆21进行固定,需要加料时,固定部件开启,使控制杆21朝向出料口112的方向移动,从而使第一封闭门23和第二封闭门24开启,当然,固定部件还可以调节控制杆21在固定环12内的滑动速度,从而达到控制出料口112开启的大小的技术效果;可选的,固定部件可以采用远程控制设备对固定部件进行控制,从而达到方便调节控制杆21的位置的技术效果,可选的,固定部件内设置螺纹座,在控制杆21上设置外螺纹,外螺纹与螺纹座相互连接,通过螺纹座的转动带动控制杆21朝向或者远离出料口112的方向移动,从而达到方便调节控制杆21的移动位置的技术效果。

进一步的,如图4所示,增加了驱动机构3,驱动机构3设置在单晶炉的顶部,驱动机构3分别连接于第一控制杆211和第二控制杆212,用于控制第一控制杆211和第二控制杆212沿筒体11的轴向方向移动。本实施例中,增加了驱动机构3,驱动机构3的作用是驱动第一控制杆211和第二控制杆212移动,由于单晶炉内的温度较高,会对驱动机构3产生影响,因此,将驱动机构3设置在单晶炉的顶部,第一控制杆211和第二控制杆212同时连接于驱动机构3,驱动机构3驱动第一控制杆211和第二控制杆212朝向或者远离出料口112的方向移动,从而提高了加料装置的使用寿命。

进一步的,如图4所示,控制杆21还包括连接杆4,连接杆4的一侧分别连接于第一控制杆211和第二控制杆212,另一侧连接于驱动机构3,用于控制第一控制杆211和第二控制杆212沿筒体11的轴向方向移动。本实施例中,进一步限定了控制杆21,连接杆4的作用是连接控制杆21和驱动机构3,目的是方便驱动机构3同时控制第一控制杆211和第二控制杆212的移动,由于第一封闭门23和第二封闭门24需要同时开启才能够保持下料的均匀,因此,通过连接杆4将第一控制杆211和第二控制杆212进行连接,驱动机构3连接于连接杆4,驱动机构3驱动连接杆4朝向出料口112的方向移动时,第一控制杆211和第二控制杆212同时移动,从而使得第一封闭门23和第二封闭门24同时开启,进一步达到下料均匀的技术效果。

以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

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