一种外延炉反应室的可拆卸顶盖的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种外延炉反应室的可拆卸顶盖，包括上顶盖及下顶盖，下顶盖包括一中心圆插件及至少两个扇形环插件，所述中心圆插件通过连接件与上顶盖中部连接，所述扇形环插件紧密配合的环绕于中心圆插件外侧并分别与上顶盖连接；其中中心圆插件与扇形环插件的相接处及扇形环插件相互之间的相接处均形成台阶状配合。相对于传统的整片式下顶盖，本实用新型设计成多部件拼接易于拆卸清洁维护及更换，同时多点受力可以有效减少形变防止抱死。
【专利说明】
一种外延炉反应室的可拆卸顶盖
技术领域
[0001]本实用新型涉及半导体技术，特别是涉及一种外延炉反应室的可拆卸顶盖。【背景技术】
[0002]外延晶片，例如碳化硅外延晶片通常是采用CVD(化学气相沉积)的方法来生长，具体是将衬底置于外延炉反应室中，将含有构成薄膜元素的化合物、单质气体通入反应室，借助孔径气相化学反应在衬底表面上沉积固体薄膜。反应室的顶盖是反应室的重要组成部分，可以调节反应室内部温度场分布，改善外延生长条件。
[0003]反应室的顶盖包括上顶盖及下顶盖，其中下顶盖为高纯石墨且外表面设有涂层。 在使用过程中，下顶盖亦会沉积反应物及副产物，这些沉积物随着使用时间的增加越来越厚，并在外延生长过程中掉落到晶片上引起外延生长缺陷的产生，因而需要人工及时进行清理。现有的下顶盖是整片式结构，其中心点与上顶盖连接固定，在此单点受力情况下高温环境中受热后极易发生形变，因而难以拆卸下来进行清洁。当进行设备维护时，只能直接在反应室内部清理其沉积物，清理过程中会产生大量的粉尘等污染，对后续外延生长的质量造成很大影响，这对维持反应腔室内环境洁净度带来巨大的困难。【实用新型内容】
[0004]本实用新型提供了一种外延炉反应室的可拆卸顶盖，其克服了现有技术所存在的不足之处。
[0005]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0006]—种外延炉反应室的可拆卸顶盖，包括上顶盖及下顶盖，所述下顶盖包括一中心圆插件及至少两个扇形环插件，所述中心圆插件通过连接件与上顶盖中部连接，所述扇形环插件紧密配合的环绕于中心圆插件外侧并分别与上顶盖连接;其中中心圆插件与扇形环插件的相接处及扇形环插件相互之间的相接处均形成台阶状配合。
[0007]优选的，所述扇形环插件背面设置有轨道槽，所述上顶盖设有与所述轨道槽配合的轨道，所述扇形环插件与上顶盖通过轨道槽与轨道插接实现可拆卸连接。
[0008]优选的，所述中心圆插件周缘下凹形成环状台阶，所述扇形环插件的内环外凸形成圆弧状台阶，环状台阶与圆弧状台阶拼接。
[0009]优选的，扇形环插件的两侧边外凸形成台阶，且相邻扇形环插件的侧边台阶相互拼接。
[0010]优选的，所述上顶盖中部设有与所述连接件配合的固定件，所述中心圆插件中部设有通孔，所述连接件包括大于所述通孔的支撑部及小于所述通孔的连接部，连接部穿过所述通孔并与所述固定件连接。
[0011]优选的，所述固定件为一外凸部，外凸部上设有卡槽;所述连接件为一卡环，卡环上设有卡扣;所述中心圆插件的通孔套进所述外凸部并通过卡环的卡扣与外凸部的卡槽插接以实现可拆卸连接。
[0012]优选的，所述扇形环插件为4个，且各扇形环插件的圆心角均为90°。[〇〇13]优选的，所述中心圆插件、扇形环插件及连接件由石墨制成，且外表面涂覆有TaC涂层。
[0014]相较于现有技术，本实用新型具有以下有益效果:
[0015]1.下顶盖包括一中心圆插件及至少两个扇形环插件，中心圆插件通过连接件与上顶盖中部连接，扇形环插件紧密配合的环绕于中心圆插件外侧并分别与上顶盖连接，形成了可拆卸式的多个部件，且各部件均与上顶盖连接，增加了受力点，有效防止单点固定下形变造成抱死的情况，且各部件可拆卸并在反应室外进行清洁维护工作，提高了生产环境洁净度;同时可以根据反应物具体沉积情况进行区域性更换，减少设备更换的支出。
[0016]2.中心圆插件与扇形环插件的相接处及扇形环插件相互之间的相接处均形成台阶状配合，使插件之间配合形成一个整体且具有平整的表面，同时互为支撑，进一步提高了受力均匀性，延长使用寿命。
[0017]3.连接件及轨道槽与轨道配合的方式易于拆卸安装，省时省力。【附图说明】
[0018]图1是本实用新型的整体结构示意图；
[0019]图2是本实用新型的上顶盖结构示意图；
[0020]图3是本实用新型的中心圆插件结构示意图，其中3a为俯视图，3b为正视图；[〇〇21]图4是本实用新型的连接件结构示意图，其中4a为俯视图，4b为正视图；[〇〇22]图5是本实用新型的扇形环插件结构示意图，其中5a为俯视图，5b为正视图。【具体实施方式】
[0023]以下结合附图及实施例对本发明作进一步详细说明。本发明的各附图仅为示意以更容易了解本发明，其相对大小比例可依照设计需求进行调整。此外，文中所描述的图形中相对元件的上下关系，在本领域技术人员应能理解是指构件的相对位置而言，因此皆可以翻转而呈现相同的构件，此皆应同属本说明书所揭露的范围。
[0024]实施例，请参见图1所示，一种外延炉反应室的可拆卸顶盖，包括上顶盖1及下顶盖。下顶盖包括一中心圆插件2及至少两个扇形环插件3,中心圆插件2通过连接件4与上顶盖1中部连接，扇形环插件3紧密配合的环绕于中心圆插件2外侧并分别与上顶盖1连接，其中中心圆插件2与扇形环插件3的相接处及扇形环插件3相互之间的相接处均形成台阶状配合。
[0025]具体的，例如碳化硅外延炉反应室的上顶盖是不锈钢外盖，且不锈钢外盖内侧设有石墨泡沫层，形成良好的隔热保温的效果。在上顶盖1内侧的中部设有与连接件4配合的固定件。中心圆插件2中部设有通孔21，连接件4包括大于通孔21的支撑部及小于通孔21的连接部，连接部穿过通孔21并与固定件连接。参考图2至图4,作为一种优选的实施方式，固定件为外凸部11，外凸部11上设有卡槽111。连接件4为一设有卡扣的卡环，卡环的环状部41 即形成支撑部，其外径大于通孔21的圆径，卡扣42形成连接部。中心圆插件2具有用于容纳卡环环状部41的台阶22,其通孔21套进外凸部11后，再将卡环的内圆套进外凸部11，旋转卡环使卡扣42旋进卡槽111，通过卡扣42与卡槽111插接实现了中心圆插件2与上顶盖1的固定。拆卸时，反方向旋转卡环，从而实现了可拆卸连接。
[0026]结合图2及图5,扇形环插件3的背面设置有轨道槽31，上顶盖1设有与轨道槽31配合的轨道12,扇形环插件3与上顶盖1通过轨道槽31与轨道12插接固定，拆卸时，扇形环插件 3向外滑动，从而实现了可拆卸连接。
[0027]参考图3及图5,中心圆插件2周缘下凹形成环状台阶23,扇形环插件3的内环外凸形成圆弧状台阶32,环状台阶23与圆弧状台阶32拼接。扇形环插件3的两侧边外凸形成台阶 33,且相邻扇形环插件3的侧边台阶33相互拼接，从而使中心圆插件2及扇形环插件3拼接后于外观上形成一个圆形的下顶盖整体且具有平整的表面。台阶式拼接亦使扇形环插件3之间互为支撑，提高了整体受力的均匀性。
[0028]作为一种优选的实施方式，扇形环插件3可为4个，且各扇形环插件的圆心角均为 90°，实现均匀对称的拼接。中心圆插件2、扇形环插件3及连接件4均由高纯石墨制成，且外表面涂覆有TaC涂层，以减少碳化硅的沉积。
[0029]上述实施例仅用来进一步说明本实用新型的一种外延炉反应室的可拆卸顶盖，但本实用新型并不局限于实施例，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均落入本实用新型技术方案的保护范围内。
【主权项】
1.一种外延炉反应室的可拆卸顶盖，包括上顶盖及下顶盖，其特征在于:所述下顶盖包 括一中心圆插件及至少两个扇形环插件，所述中心圆插件通过连接件与上顶盖中部连接， 所述扇形环插件紧密配合的环绕于中心圆插件外侧并分别与上顶盖连接;其中中心圆插件 与扇形环插件的相接处及扇形环插件相互之间的相接处均形成台阶状配合。2.根据权利要求1所述的外延炉反应室的可拆卸顶盖，其特征在于:所述扇形环插件背 面设置有轨道槽，所述上顶盖设有与所述轨道槽配合的轨道，所述扇形环插件与上顶盖通 过轨道槽与轨道插接实现可拆卸连接。3.根据权利要求1所述的外延炉反应室的可拆卸顶盖，其特征在于:所述中心圆插件周 缘下凹形成环状台阶，所述扇形环插件的内环外凸形成圆弧状台阶，环状台阶与圆弧状台 阶拼接。4.根据权利要求1或3所述的外延炉反应室的可拆卸顶盖，其特征在于:扇形环插件的 两侧边外凸形成台阶，且相邻扇形环插件的侧边台阶相互拼接。5.根据权利要求1所述的外延炉反应室的可拆卸顶盖，其特征在于:所述上顶盖中部设 有与所述连接件配合的固定件，所述中心圆插件中部设有通孔，所述连接件包括大于所述 通孔的支撑部及小于所述通孔的连接部，连接部穿过所述通孔并与所述固定件连接。6.根据权利要求5所述的外延炉反应室的可拆卸顶盖，其特征在于:所述固定件为一外 凸部，外凸部上设有卡槽;所述连接件为一卡环，卡环上设有卡扣;所述中心圆插件的通孔 套进所述外凸部并通过卡环的卡扣与外凸部的卡槽插接以实现可拆卸连接。7.根据权利要求1所述的外延炉反应室的可拆卸顶盖，其特征在于:所述扇形环插件为 4个，且各扇形环插件的圆心角均为90°。8.根据权利要求1所述的外延炉反应室的可拆卸顶盖，其特征在于:所述中心圆插件、 扇形环插件及连接件由石墨制成，且外表面涂覆有TaC涂层。
【文档编号】C30B25/08GK205635849SQ201620365709
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年4月27日
【发明人】李奕洋, 冯淦, 赵建辉
【申请人】瀚天天成电子科技（厦门）有限公司