树脂涂布装置的制作方法

专利名称：树脂涂布装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及以覆盖半导体晶片等工件(被加工物)的一个表面的方式涂布树脂的树脂涂布装置。
背景技术：
为了除去用于半导体器件的制造上的工件的起伏和翘曲，提出有如下的方法在工件的一个表面涂布树脂，并在使树脂硬化后磨削工件从而将工件表面加工得平坦(例如，参考专利文献I)。作为像这样涂布树脂的装置，提出有如下的装置在将工件载置于供给到载置台上的液状的树脂上后，通过使按压垫下降而朝向树脂按压工件，从而在工件的背面整体均匀地涂布树脂(例如，参考专利文献2)。专利文献I :日本特开2009-148866号公报专利文献2 :日本特开2010-155298号公报然而，现有的树脂涂布装置是通过使按压垫下降至预先设定好的预定的位置来朝向树脂按压工件的结构，因此由于工件厚度的不均或树脂的量的增减，产生了树脂无法恰当地扩展、无法在工件的背面整体均匀地涂布树脂这样的问题。

发明内容
本发明正是鉴于所述问题而完成的，其目的在于提供一种树脂涂布装置，能够与工件厚度的不均或树脂的量的增减无关地使树脂恰当地扩展。本发明的树脂涂布装置包括按压部，所述按压部具有能够吸附保持工件的按压面；载置台，所述载置台与所述按压面对置地配设；树脂供给部，所述树脂供给部向所述载置台的上表面供给液状树脂；移动部，所述移动部使所述按压面相对于所述载置台接近和离开；以及控制部，所述控制部控制所述移动部的动作，以保持于所述按压面的所述工件对供给至所述载置台的上表面的所述液状树脂自上方进行按压来使所述液状树脂在所述工件的下表面扩展，其特征在于，所述按压部具有检测压力的压力传感器，该压力是在通过利用所述移动部使所述按压面所保持的所述工件接近所述载置台而使所述液状树脂在所述工件下表面扩展时所述按压面所受到的压力，所述控制部基于所述压力传感器检测出的压力来控制所述移动部的动作。根据该结构，由于在以保持于按压面的工件对供给至载置台上表面的液状树脂自上方进行按压时能够与按压部所受到的压力的变化对应地调节按压部的压入量，因此能够与树脂厚度的不均和树脂的量的增减无关地使树脂恰当地扩展。此外，优选的是，在上述树脂涂布装置中，当所述压力传感器检测到的压力在预先设定的压力以上时，所述控制部停止利用所述移动部使所述按压面所保持的所述工件接近所述载置台。另外，优选的是，在上述树脂涂布装置中，当所述压力传感器检测到的压力在刚刚检测到的压力以下时，所述控制部停止利用所述移动部使所述按压面所保持的所述工件接近所述载置台。根据本发明，能够与工件厚度的不均和树脂的量的增减无关地使树脂恰当地扩展。


图I是本实施方式的树脂涂布装置的立体图。图2是本实施方式的盒收纳部的立体图。图3是本实施方式的盒收纳部的剖视示意图。图4是本实施方式的外部门和内部门的开闭动作的说明图。图5是本实施方式的粘贴装置的剖视示意图。图6是本实施方式的粘贴装置的粘贴动作的说明图。图7是示出本实施方式的按压传感器的测定值与从移动部的移动开始起经过的经过时间之间的一般性的关系的图。图8是示出本实施方式的按压传感器的测定结果的一例的图。图9是对表示本实施方式的与保持板-载置台之间的间隙的变化对应的压力传感器的测定结果的映射图的一例进行示出的图。图10是本实施方式的粘贴装置的装配作业的说明图。图11是本实施方式的薄膜供给部的侧视示意图。图12是本实施方式的第一鼓风部和第二鼓风部的放大图。图13是本实施方式的卷装薄膜支承部的局部剖视示意图。图14A是由本实施方式的薄膜供给部实现的薄膜切断动作的说明图。图14B是由本实施方式的薄膜供给部实现的薄膜切断动作的说明图。图15是由本实施方式的卷装薄膜支承部实现的卷装薄膜的锁定动作和解锁动作的说明图。图16是对表示本实施方式的与卷装薄膜的变化对应的光传感器的测定结果的映射图的一例进行示出的图。图17是本实施方式的载置台的示意图。图18是本实施方式的薄膜搬送部的剖视示意图。图19是由本实施方式的薄膜搬送部实现的薄膜的贴附动作的说明图。图20是使用变形例的薄膜保持部的、薄膜的贴附动作的说明图。图21是另一变形例的载置台的剖视示意图。标号说明I :树脂涂布装置；2 :外部壳体；3 :底座台；4、5 :盒;6 :控制部；100:盒收纳部；
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200第一工件搬送部；
300第二工件搬送部；
400工件检测部；
500薄膜切断部；
600粘贴装置；
601基座；
602载置台；
603树脂供给部；
604按压部；
605立柱部；
606移动部；
611导轨；
612Z轴工作台；
613支承部；
621底座部件；
622凹部；
623按压板；
624保持板；
631流路；
632气体抽吸部；
633压力传感器；
634按压面；
635按压传感器；
636发光部；
637气体供给部；
651凹部；
652第一保持面；
653第二保持面；
654侧面；
655第一抽吸口；
656第二抽吸口；
657密闭空间；
700薄膜供给部；
800薄膜搬送部。
具体实施例方式下面，参考附图详细地说明本实施方式。图I是本实施方式的树脂涂布装置的立体图。另外，本实施方式的树脂涂布装置并不限定于图I所示的结构。树脂涂布装置只要是利用液状树脂在工件的一个面粘贴薄膜的话，可以具有任意的结构。另外，在图I中为了说明的方便，以虚线示出了树脂涂布装置的外部壳体。如图I所示，树脂涂布装置I配置在磨削加工的前一阶段，该树脂涂布装置I以利用液状树脂将薄膜S粘贴在工件W的下表面的方式构成。该树脂涂布装置I以如下方式进行动作向被吸附保持于载置台602的薄膜S供给液状树脂，使在载置台602的上方保持于按压部604的工件W相对于薄膜S自上方进行按压。树脂涂布装置I通过相对于薄膜S按压工件W而使液状树脂遍及器件表面的整个区域。工件W是形成器件图案之前的工件，所述工件W可通过以钢丝锯切断圆柱状的结晶块得到。在工件W的下表面粘贴有液状树脂以吸收由钢丝锯进行切断时发生的起伏和翘曲等。工件W在收纳于盒4的状态下被搬入到树脂涂布装置I。另外，工件W并不限定于硅晶片(Si)、砷化镓(GaAs)JMt- (SiC)等晶片。例如也可以将陶瓷、玻璃、蓝宝石(Al2O3)类的无机材料基板、板状金属或树脂的延展性材料、要求微米级至亚微米级的平坦度(TTV Total Thickness Variation,总厚度偏差)的各种加工材料作为工件。另外，此处所称的平坦度表示的是以工件W的被磨削面作为基准面沿厚度方向进行测定得到的高度中最大值与最小值的差。此外，薄膜S例如是聚对苯二甲酸乙二醇酯等具有弹性的柔软的材料即可。树脂涂布装置I具有沿X轴方向延伸的长方体状的外部壳体2。在外部壳体2的后端部设有盒收纳部100，该盒收纳部100具有上下两层的盒座103 (参考图2)。在上层的盒座103载置用于收纳加工前的工件W的搬入侧的盒4。在下层的盒座103载置用于收纳带薄膜S的工件W的搬出侧的盒5。在外部壳体2内，在盒收纳部100的前方设有第一工件搬送部200，该第一工件搬送部200相对于盒4、5进行工件W的搬入和搬出。第一工件搬送部200的前方空间由被立柱部605的背面支承的底座台3上下地分开。在底座台3的上表面设有工件检测部400，该工件检测部400检测加工前的工件W的位置和朝向。在底座台3的下表面设有薄膜切断部500，该薄膜切断部500将粘贴于工件W 的薄膜S沿工件W的外形切断。第一工件搬送部200将加工前的工件W从上层的盒4内搬送到工件检测部400，并将带薄膜S的工件W从薄膜切断部500搬送到下层的盒5内。在工件检测部400和薄膜切断部500的前方设有粘贴装置600，该粘贴装置600利用液状树脂将保护用的薄膜S粘贴于工件W。粘贴装置600包括吸附保持薄膜S的载置台602 ;和在载置台602的上方吸附保持工件W的按压部604。在载置台602的附近设有树脂供给部603，该树脂供给部603向载置台602上的薄膜S供给光硬化性的液状树脂。粘贴装置600通过使保持着工件W的按压部604接近被供给了液状树脂的薄膜S来进行粘贴动作。此外，在粘贴装置600的基座601内设有发光部636 (参考图5)，该发光部636隔着载置台602向液状树脂照射光。在工件检测部400和薄膜切断部500的侧方设有第二工件搬送部300，该第二工件搬送部300在工件检测部400与粘贴装置600之间以及粘贴装置600与薄膜切断部500 之间搬送工件W。第二工件搬送部300将加工前的工件W从工件检测部400搬送至按压部 604，并将带薄膜S的工件W从载置台602搬送至薄膜切断部500。在粘贴装置600的前方设有向粘贴装置600供给薄膜S的薄膜供给部700。薄膜供给部700将从卷装薄膜R送出的薄膜S以预定长度切断。在薄膜供给部700的侧方设有薄膜搬送部800，该薄膜搬送部800将来自薄膜供给部700的薄膜S搬送至粘贴装置600。薄膜搬送部800对在薄膜供给部700以预定长度切断了的薄膜S进行保持并将该薄膜S搬送至载置台602上。此外，在外部壳体2设有总体控制树脂涂布装置I的各部分的控制部6。控制部6由执行树脂涂布装置I的各种处理的处理器、存储器等构成。存储器根据用途不同而由ROM (Read Only Memory,只读存储器)、 RAM (Random Access Memory,随机访问存储器)等的一个或多个存储介质构成。在如此构成的树脂涂布装置I中，从搬入侧的盒4将加工前的工件W搬送至粘贴装置600，并且从薄膜供给部700将薄膜S搬送至粘贴装置600。接着，在粘贴装置600将工件W与薄膜S贴合在一起，然后将带薄膜S的工件W搬送至薄膜切断部500。带薄膜的工件W在薄膜切断部500沿工件W的外形将薄膜S切断，然后将带薄膜的工件W搬送至搬出侧的盒5。下面，分别说明构成树脂涂布装置的各部分。首先，对盒收纳部的整体结构进行说明。图2是本实施方式的盒收纳部的立体图。另外，在图2中，为了说明方便，将盒收纳部的壳体部分以虚线不出。如图2所示，盒收纳部100作为相对于树脂涂布装置I的盒4的搬入口和搬出口动作。盒收纳部100具有构成外部壳体2的后端侧的侧壁部的收纳部主体101。在收纳部主体101以上下两层的形式形成有盒用的左右一对收纳间102。在上层的两个收纳间分别收纳搬入侧的盒4，在下层的两个收纳间分别收纳搬出侧的盒5。各收纳间102将树脂涂布装置I的内侧与外侧连接起来，使工件W经由装置内侧的开口端相对于盒4、5出入，并经由装置外侧的开口端搬入和搬出盒4、5。在各收纳间102的底面设有载置盒4、5的盒座103。盒座103被安装成能够在各收纳间102借助上下两层的滑动板104、105而向装置外侧滑动。在收纳部主体101设有 四个滑动式的外部门106，它们对各收纳间102的装置外侧的开口进行开闭；以及四个滑动式的内部门107，它们对各收纳间102的装置内侧的开口进行开闭。各外部门106安装在收纳部主体101的面对树脂涂布装置I的外部的侧面，并由操作者手动开闭。各内部门107 安装在收纳部主体101的面对树脂涂布装置I的内部的侧面，并且所述各内部门107与树脂涂布装置I的动作配合地自动开闭。上层的收纳间102的外部门106和内部门107通过向上方的滑动而成为打开状态，并通过向下方的滑动而成为关闭状态。下层的收纳间102的外部门106和内部门107通过向上方的滑动而成为关闭状态，并通过向下方的滑动而成为打开状态。此外，在收纳部主体101设有锁定机构，该锁定机构将各外部门106和各内部门107在关闭状态下锁定。锁定机构在对应的外部门106和内部门107中的任意一方为打开状态的情况下，将任意另一方以关闭状态锁定。参考图3，说明盒收纳部的详细结构。图3是本实施方式的盒收纳部的剖视示意图。如图3所示，盒座103具有上下两层的滑动板104、105，该上下两层的滑动板104、 105以能够相对于各收纳间102的底面滑动的方式配置。下层的滑动板104相对于各收纳间102的底面以能够朝向装置外侧滑动的方式卡合，上层的滑动板105相对于下层的滑动板104以能够朝向装置外侧滑动的方式卡合。盒座103构成为能够在前位置和后位置之间滑动移动，所述前位置是能够使第一工件搬送部200进入盒4内的位置，所述后位置是比该前位置要远离内部门107的位置。更为详细地来说，下层的滑动板104的靠内部门107侧的一端部111在收纳间102 的底面上移动，并且该一端部111在收纳间102的装置内侧的开口端与相对于该开口端向装置外侧离开了的离开位置之间移动。此外，上层的滑动板105的靠内部门107侧的一端部112在下层的滑动板104上移动，并且该一端部112在下层的滑动板104的一端部111 与相对于该一端部111向装置外侧离开了的离开位置之间移动。由此，盒座103被大幅地朝向装置外侧拉出，提高了操作者所进行的盒4、5的搬入作业和搬出作业的作业性。外部门106被安装成能够相对于收纳部主体101的外侧面沿上下方向滑动。外部门106通过操作者的手动操作而开闭。上层的外部门106被定位于使收纳间102的装置外侧的开口端关闭的关闭位置和使收纳间102的装置外侧的开口端打开的打开位置，所述打开位置从关闭位置向上方离开。下层的外部门106被定位于使收纳间102的装置外侧的开口端关闭的关闭位置和使收纳间102的装置外侧的开口端打开的打开位置，所述打开位置从关闭位置向下方离开。内部门107被安装成能够相对于收纳部主体101的内侧面沿上下方向滑动。内部门107与树脂涂布装置I的动作配合地自动开闭。上层的内部门107被定位于使收纳间 102的装置内侧的开口端关闭的关闭位置和使收纳间102的装置内侧的开口端打开的打开位置，所述打开位置从关闭位置向上方离开。下层的内部门107被定位于使收纳间102的装置内侧的开口端关闭的关闭位置和使收纳间102的装置内侧的开口端打开的打开位置， 所述打开位置从关闭位置向下方离开。此外，在上层的外部门106和内部门107的上端部形成有锁定用的卡合孔113。在下层的外部门106和内部门107的下端部形成有锁定用的卡合孔113。这样，在本实施方式的盒收纳部100中，将内部门107和外部门106设成横向两列且上下两层，并且沿上下方向开闭。由此，能够减小盒收纳部100的左右方向的尺寸，缩窄操作者在多个加工装置横向并排地配置的工厂等中的移动范围，能够减轻操作者的负担。锁定机构与各外部门106和各内部门107分别对应地具有设于收纳部主体101的锁定销114和门传感器115。上层的锁定销114与定位于关闭位置的外部门106和内部门 107的上端部对应地进行配置。上层的门传感器115在上层的锁定销114的附近相对于定位于打开位置的外部门106和内部门107的上端部向上方偏离地进行配置。下层的锁定销 114与定位于关闭位置的外部门106和内部门107的下端部对应地进行配置。下层的门传感器115在下层的锁定销114的附近相对于定位于打开位置的外部门106和内部门107的下端部向下方偏离地进行配置。锁定销114被设成能够与门传感器115的检测对应地借助未图示的电磁线圈等相对于收纳部主体101的外侧面和内侧面进出。锁定销114由未图示的复位弹簧向收纳部主体101内侧施力，并且通过使电磁线圈通电而克服复位弹簧的作用力向收纳部主体101外突出。锁定销114通过与外部门106和内部门107的卡合孔113卡合来将外部门106和内部门107在关闭状态下锁定。门传感器115例如是光传感器，其通过被外部门106和内部门107遮蔽来检测外部门106和内部门107的打开状态。当外部门106用的门传感器115检测到外部门106的打开状态后，向同一收纳间的内部门107用的锁定销114供给驱动电流。相反地，当内部门107用的门传感器115检测到内部门107的打开状态后向同一收纳间的外部门106用的锁定销114供给驱动电流。这样，锁定机构根据外部门106用的门传感器115检测到外部门106这一情况，使与同一盒座103对应的内部门107用的锁定销114锁定内部门107。此外，锁定机构根据内部门107用的门传感器115检测到内部门107这一情况，使与同一盒座103对应的外部门 106用的锁定销114锁定外部门106。由此，当外部门106和内部门107中的任意一方从关闭位置滑动时，任意另一方不会从关闭位置滑动，提高了操作者的作业的安全性。参考图4，说明外部门和内部门的开闭动作。图4是本实施方式的外部门和内部门的开闭动作的说明图。另外，在图4中，对上层的外部门和内部门的开闭动作进行说明，下层的外部门和内部门也是同样的。如图4的(a)所示，在初始状态下，外部门106和内部门107定位于关闭位置。在该情况下，外部门106用的锁定销114与外部门106的卡合孔113对位，内部门107用的锁定销114与内部门107的卡合孔113对位。各锁定销114借助复位弹簧的作用力被向收纳部主体101内施力，从而相对于对应的卡合孔113离开。如图4的(b)所示，当由操作者使外部门106向上方(打开位置)滑动时，由外部门106将外部门106用的门传感器115遮蔽。当外部门106用的门传感器115被遮蔽时， 检测出外部门106的打开状态，向包围内部门107用的锁定销114的电磁线圈接通驱动电流。接着，内部门107用的锁定销114克服复位弹簧的作用力而被驱动，锁定销114向内部门107的卡合孔113内突出。由此，内部门107在关闭状态下被锁定销114锁定。接着，由操作者将盒座103拉出到外部，将前门敞开的盒4载置到盒座103。此时， 由于树脂涂布装置I的内侧和外侧由内部门107分隔开，因此确保了操作者的作业的安全性。接着，当由操作者将外部门106滑动到关闭位置时，外部门106用的门传感器115露出， 从而停止对包围内部门107用的锁定销114的电磁线圈接通驱动电流。接着，内部门107 用的锁定销114通过复位弹簧的作用力而被向收纳部主体101侧压回，锁定销114从内部门107的卡合孔113退避。由此，关闭状态的内部门107被解锁。如图4的(C)所示，当利用第一工件搬送部200取出工件W时，使内部门107向上方(打开位置)滑动，由内部门107将内部门107用的门传感器115遮蔽。当内部门107 用的门传感器115被遮蔽时，检测出内部门107的打开状态，向包围外部门106用的锁定销 114的电磁线圈接通驱动电流。接着，外部门106用的锁定销114克服复位弹簧的作用力而被驱动，锁定销114向外部门106的卡合孔113内突出。由此，外部门106在关闭状态下被锁定销114锁定。根据该结构，当第一工件搬送部200取出工件W时，操作者不能打开外部门106，因此确保了操作者的作业的安全性。接着，当由第一工件搬送部200从盒4将所有的工件W 取出时，内部门107滑动到关闭位置，内部门107用的门传感器115露出，从而停止对包围外部门106用的锁定销114的电磁线圈接通驱动电流。接着，外部门106用的锁定销114 通过复位弹簧的作用力而被向收纳部主体101侧压回，锁定销114从外部门106的卡合孔 113退避。由此，关闭状态的外部门106被解锁。另外，在本实施方式中，分别在上层的盒座103载置搬入侧的盒4，并在下层的盒座103载置搬出侧的盒5，然而并不限定于此。也可以在上层的盒座103载置搬出侧的盒5，而在下层的盒座103载置搬入侧的盒4。此外，也可以将搬入侧的盒4和搬出侧的盒5分开载置于左右的盒座103。此外，在本实施方式中，将盒用的左右一对收纳间以上下两层的方式形成为四个， 不过收纳间的数量能够适当改变。可以仅形成两个收纳间，也可以形成四个以上收纳间。此外，在本实施方式中，在收纳间设有外部门106，然而也可以不设外部门106。此外，外部门106并不限定为滑动式的门，也可以是回转式的门。此外，外部门106并不限定为以手动开闭的结构，也可以是半自动地开闭的结构。此外，在本实施方式中，将盒座103形成为通过上下两层的滑动板104、105拉出的结构，然而也可以是通过一个滑动板拉出的结构。此外，也可以构成为仅将下层的盒座103 向装置外侧拉出，而不将上层的盒座103向装置外侧拉出。此外，盒4也可以是伴随着外部门106向打开位置的滑动而被拉到装置外侧。此外，在本实施方式中，锁定机构利用门传感器115和锁定销114锁定外部门106 和内部门107，然而并不限定于此。锁定机构只要是在同一收纳间102的外部门106和内部门107中的任意一方处于打开状态的时候使任意另一方以关闭状态锁定即可。此外，在本实施方式中，在收纳部主体101设有锁定机构，然而也可以是不设锁定机构的结构。此外，在设置锁定机构的情况下，至少在内部门107处于打开状态的时候使外部门106以关闭状态锁定即可。回到图1，说明第一工件搬送部、工件检测部、第二工件搬送部、薄膜切断部。如图 I所示，第一工件搬送部200构成为被支承在一对导轨201上，并且能够借助滚珠丝杠式的移动机构沿Y轴方向移动，所述一对导轨201配置在外部壳体2的底壁部并与Y轴方向平行。此外，第一工件搬送部200包括支承台202，其能够沿上下方向移动；多节连杆机构 203，其设于支承台202上；以及工件保持部204，其设于多节连杆机构203的末端。支承台202借助未图示的Z轴马达而上下运动，以使工件保持部204的高度方向对位。多节连杆机构203由三节连杆构成，用于使工件保持部204的水平方向对位。通过控制滚珠丝杠式的移动机构、支承台202、多节连杆机构203的驱动，第一工件搬送部200在搬入侧的盒4与工件检测部400之间、薄膜切断部500与搬出侧的盒5之间搬送工件W。工件检测部400包括临时放置工作台401，其用于通过第一工件搬送部200临时放置工件W ;以及拍摄部402，其拍摄临时放置工作台401上的工件W。临时放置工作台401 形成为比工件W直径小的圆板状。拍摄部402经由L字状的臂部403被支承在临时放置工作台401的上方，并且被配置成将临时放置工作台401上的工件W整体收入于拍摄范围。拍摄部402读取工件W的外形并将工件W的图像数据输出到控制部6。控制部6算出工件W 的水平方向的朝向和中心位置。第二工件搬送部300构成为被支承在一对导轨301上，并且能够借助滚珠丝杠式的移动机构沿X轴方向移动，所述一对导轨301配置在外部壳体2的底壁部并与X轴方向平行。此外，第二工件搬送部300与第一工件搬送部200同样地包括支承台302、多节连杆机构303以及工件保持部304。通过根据工件检测部400的检测结果控制滚珠丝杠式的移动机构、支承台302、多节连杆机构303的驱动，第二工件搬送部300在工件检测部400与按压部604之间、载置台602与薄膜切断部500之间将工件W定位到恰当的搬送位置。薄膜切断部500包括旋转台501，其安装在底座台3的下部；以及切割件502，其从旋转台501的外周面向外侧突出。旋转台501形成为能够绕Z轴旋转且能够沿Z轴方向移动。切割件502与工件W的外形尺寸配合地调整刃部的位置。薄膜切断部500相对于配置在下方的带薄膜S的工件W通过旋转台501的Z轴方向的移动来调整对薄膜S的切入深度，并通过旋转台501的旋转来将薄膜S沿工件W的外形切断。参考图I和图5，详细地说明粘贴装置。图5是本实施方式的粘贴装置的剖视示意图。如图I和图5所示，粘贴装置600具有大致长方体状的基座601。在基座601上表面的大致前半部设置有载置台602，该载置台602对保护用的薄膜S进行吸附保持。载置台 602由石英玻璃等透光性材料形成为圆板状。在载置台602的上表面中央形成有俯视呈圆形形状的凹部651。载置台602利用该凹部651的阶梯差一边拉伸一边吸附薄膜S以消除薄膜S的褶皱。在载置台602的附近设有树脂供给部603，该树脂供给部603向薄膜S上表面供给液状树脂。树脂供给部603被安装成能够与粘贴装置600的动作配合地在基座601上表面的薄膜S的中央位置和相对于中央位置退避的退避位置之间回转。作为液状树脂，采用紫外线硬化性树脂等光硬化性树脂，例如选择具有大约50 30000[MPa]的粘度的树脂。树脂供给部603与设于基座601内的未图示的树脂箱连接，并将从树脂箱抽出的液状树脂供给到薄膜S上表面。在基座601上表面的大致后半部立起设置有立柱部605，该立柱部605将按压部 604支承在载置台602的上方。在立柱部605的前表面设有移动部606，该移动部606使按压部604相对于载置台602接近和离开。移动部606包括与Z轴方向平行的一对导轨611 ； 和被设置成能够在一对导轨611上滑动的Z轴工作台612。Z轴工作台612构成为能够借助滚珠丝杠式的移动机构沿Z轴方向移动。在Z轴工作台612的前表面经由支承部613支承有按压部604。按压部604具有安装在支承部613的下部的底座部件621。在底座部件621的下表面形成有俯视呈圆形形状的凹部622。在底座部件621的凹部622以防脱状态收纳有按压板623。在按压板623的下表面安装有吸附保持工件W的保持板624。在保持板624形成有吸附保持工件W的抽吸口。抽吸口经由设在粘贴装置600内的流路631与气体抽吸部 632连接。气体抽吸部632经由流路631使保持板624的抽吸口产生抽吸力。在保持板624的抽吸口和气体抽吸部632之间的流路631设有用于测定流路631 内的压力的压力传感器633。压力传感器633检测保持板624的吸附力的降低和工件W从抽吸口偏离(位置错开)等情况。按压部604以将保持于保持板624的工件W向供给有液状树脂L的薄膜S按压的方式进行动作。即，保持板624的保持工件W的保持面成为向薄膜S按压工件W的按压面634。通过该结构，液状树脂均匀地扩展到工件W的下表面的整个区域。此外，在底座部件621的凹部622的内底面和按压板623的上表面之间设有作为压力传感器的按压传感器635。按压传感器635隔着保持板624和按压板623测定从液状树脂作用于按压面634的压力的变化。作用于按压面634的压力伴随着液状树脂L向工件 W的外缘的扩展而增加，并且在从工件W的外缘溢出后开始降低。粘贴装置600通过利用该特性而根据按压力的变化调整移动部606的驱动量来使液状树脂L铺满至工件W的外缘。
另外，粘贴装置600例如也可以是在由按压传感器635检测到预先设定的阈值以上的压力的时刻停止移动部606对按压部604的驱动。此外，粘贴装置600例如也可以是在由按压传感器635检测出压力的降低的时刻停止移动部606对按压部604的驱动。这样，本实施方式的粘贴装置600根据液状树脂的压力的变化而调整按压部604的压入量。由此， 不存在如根据按压面634与载置台602上表面之间的间隔来调整按压部604的压入量的情况那样、由于工件W和薄膜S的尺寸误差、树脂的涂布量的误差等而使得液状树脂的涂布范围不均匀。S卩，在贴附树脂时，如果存在未贴附有树脂的部位的话，则在磨削时会发生工件 W的破裂等，如果考虑到这样的情况而使溢出的树脂的量过多的话，则不仅浪费树脂而且溢出的部分因氧气阻碍而无法充分地被紫外线硬化，从而在搬送、磨削时产生问题。另外，还存在过度溢出的树脂在磨削时被卷入而导致磨削异常的可能性。考虑到这些情况，树脂恰如其分地贴附于工件W的整个表面的状态或者稍稍从工件W溢出的状态被认为是理想的， 如果根据压力来调整按压部604的压入量的话，则能够维持这样的理想的贴附状态。在基座601内设置有发光部636，该发光部636朝向载置台602照射紫外光等光。 发光部636通过利用隔着载置台602照射的光使液状树脂L硬化，从而在工件W和薄膜S 之间形成树脂膜。在按压部604的按压动作结束后、即按压部604离开工件W后实施发光部636的照射。由此，能够在工件W形成树脂膜而不会在工件W残留内部应力。此外，在粘贴装置600设有间隔检测构件，该间隔检测构件检测保持板624与载置台602之间的间隔。间隔检测构件在从保持板624的抽吸口朝向载置台602喷射空气的状态下使保持板624接近载置台602并测定流路631内的压力变化，由此检测保持板624与载置台602之间的间隔。间隔检测构件构成为包括气体供给部637、上述的控制部6的处理器以及存储器等，所述气体供给部637经由设于粘贴装置600的流路631与抽吸口连接。压力传感器633兼用于在工件W的吸附时测定流路631内的吸气压力，并且构成为在间隔检测时还能够测定流路631内的排气压力。此外，在存储器存储有表示与保持板 624和载置台602之间的间隔的变化对应的流路631内的压力变化的映射图。该映射图预先通过在从抽吸口喷射空气的状态下一边使保持板624向载置台602接近一边利用压力传感器633测定流路631内的压力而生成。处理器基于存储在存储器中的映射图和压力传感器633的测定结果，算出保持板624与载置台602之间的间隔。粘贴装置600通过利用间隔检测构件检测保持板624与载置台602之间的间隔， 从而实施运行前的维护时的按压部604的装配(setup)作业。粘贴装置600除了将压力传感器633作为测定流路631内的吸气压力的传感器使用之外，还将其作为背压传感器使用。 由此，利用保持板624的吸附工件W用的现有的流路631和压力传感器633，能够构成装配机构。这样，本实施方式的粘贴装置600无需新设置位置传感器等，能够通过廉价且简易的结构实施装配作业。参考图6和图7说明粘贴装置的粘贴动作。图6是本实施方式的粘贴装置的粘贴动作的说明图。图7是示出本实施方式的按压传感器的测定值与从移动部的移动开始起经过的经过时间之间的一般性的关系的图。另外，在图7中，纵轴表示按压传感器的测定值， 横轴表示从移动部的移动开始起经过的经过时间。如图6的(a)所示，在初始状态下，薄膜S被吸附保持在载置台602上，保持有工件W的按压部604定位于载置台602的上方。在薄膜S的中央形成有由树脂供给部603供给的液状树脂L的液滴。从该状态起，利用移动部606使按压部604向下方移动，以便利用工件W将液状树脂L的液滴压扁。如图6的(b)所示，按压部604向下方移动，当工件W接触到液状树脂L时，由工件W将液状树脂压扁，液状树脂L开始沿工件W的下表面扩展。此时，通过设于按压部604 的按压传感器635，开始测定从液状树脂L隔着工件W作用于按压面634的压力变化。如图 7所示，在从该初始状态起到与图6的(b)对应的时刻A之间，通过工件W与液状树脂L的接触，作用于按压面634的载荷(压力)平缓地增加。如图6的(C)所示，当从图6的(b)所示的状态起按压部604进一步向下方移动时，由工件W将液状树脂L进一步压扁，液状树脂L扩展至工件W的外缘的附近。如图7所示，在从与图6的(b)对应的时刻A到与图6的(c)对应的时刻t2之间，随着液状树脂L 向工件W的外缘的扩展，作用于按压面634的载荷进一步增加。如图6的(d)所示，当从图6的(C)所示的状态起按压部604进一步向下方移动时，由工件W将液状树脂L进一步压扁，液状树脂L从工件W的外缘稍稍溢出。此时，通过设于按压部604的按压传感器635，测定出从液状树脂L隔着工件W作用于按压面634的压力的减小。如图7所示，在从与图6的(c)对应的时刻t2到与图6的(d)对应的时刻t3 之间，在液状树脂L到达工件W的外缘为止，作用于按压面634的载荷增加，而在液状树脂 L从工件W的外缘溢出的时刻，作用于按压面634的载荷减小。这样，作用于按压面634的载荷以液状树脂L到达工件W的外缘的时刻为顶点进行变化。因而，可以在该顶点之前预先设置阈值，并在通过按压传感器635检测到阈值以上的载荷的时刻停止由移动部606实现的按压部604的移动。例如，将与时刻t2对应的载荷设为阈值，在时刻t2使按压部604的移动停止。由此，能够使液状树脂L扩展至工件W的外缘附近为止，能够使液状树脂L遍及工件W的大致整个区域。此外，由于作用于按压面634的载荷以顶点为界降低，因此也可以在由按压传感器635检测出载荷低于刚刚检测到的载荷的时刻停止由移动部606实现的按压部604的移动。例如，在载荷开始降低的时刻t3停止按压部604的移动。由此，能够使液状树脂L扩展至从工件W的外缘稍稍溢出的程度，能够使液状树脂L遍及工件W的下表面的整个区域。 另外，表示压力的变化的曲线图的曲线形状随树脂的涂布量、粘度、树脂扩展的面积不同而变化。参考图8，具体地说明按压传感器的测定结果的一例。图8是示出本实施方式的按压传感器的测定结果的一例的图。另外，在图8中，纵轴表示按压传感器的测定值，横轴表示从移动部的移动开始经过的经过时间。由粘贴装置600实施粘贴动作，在大约2 4英寸的晶片的整个表面涂布用于形成大约100 1000 [ μ m]的厚度的膜的量的树脂(粘度1500 [CPS]左右)，并利用按压传感器635测定作用于按压面634的载荷，在这样的情况下，得到如图8所示的测定结果。另外， 在此，使由移动部606实现的按压部604的移动的移动速度为O. I [mm/sec]，使按压传感器 635的测定频率为每100[mSec] —次。在从0[sec]到25[sec]之间，载荷从0[kN]平缓地增加至O. l[kN]。在从25 [sec]到28 [sec]之间，载荷从O. I [kN]急剧地增加至1.3[kN]。 在28[sec]以后，载荷从1.3[kN]急剧地减小。根据该测定结果可知，在测定出I. 3[kN]的载荷的时刻，液状树脂L到达工件W的外缘。此外，在测定出1.2[kN]的载荷的时刻，与测定出1.3[kN]的载荷的时刻相比，按压部604的移动位置基本没有差别。因此，通过作为移动部606的停止条件而将阈值设定为 I. 2 [kN]，能够在液状树脂L到达工件W的大致外缘的时刻使移动部606的驱动停止。参考图9和图10，对粘贴装置的装配作业进行说明。图9是对表示本实施方式的与保持板-载置台之间的间隙的变化对应的压力传感器的测定结果的映射图的一例进行示出的图。图10是本实施方式的粘贴装置的装配作业的说明图。另外，在图9中，纵轴示出压力传感器的测定值，横轴示出保持部与载置台之间的间隙。在装配作业之前，在从抽吸口喷射空气的状态下，一边使保持板624与载置台602 之间的间隔变化一边测定流路631内的压力，从而生成了图9所示的映射图。另外，在此，使来自气体供给部637的气体的供给流量为25[L/min]，使保持板624-载置台602之间的间隙以10[μπι]的间隔缩窄，并由压力传感器633实施测定。如映射图所示，压力传感器633 的测定值随着保持板624接近载置台602而增加。通过参考该映射图将保持板624相对于载置台602的预期的高度设定为粘贴装置600的基准位置，从而实施装配作业。具体来说，如图10的(a)所示，将保持板624定位于离开载置台602足够远的位置，并由气体供给部637从抽吸口喷射空气。此时，由于保持板624-载置台602之间的间隙宽，因此确保了从抽吸口喷射的空气的逃逸通道，流路631内的压力被保持得低。从该状态起，当驱动移动部606使保持板624朝向载置台602接近时，保持板624-载置台602之间的间隙逐渐缩窄。由此，从抽吸口喷射的空气的逃逸通道变窄，流路631内的压力开始增加。如图10的(b)所示，当由压力传感器633测定到在映射图中与保持板624-载置台602之间的预期的间隙对应的压力时，停止移动部606的驱动。将此时的保持板624相对于载置台602的高度位置设定为按压方向的基准位置。例如，在保持板624-载置台602 之间的预期的间隙为10[ytm]的情况下，在由压力传感器633测定到96[kPa]的时刻停止移动部606的驱动，并将此时的按压部604相对于载置台602的高度设定为基准高度(参考图9)。另外，在本实施方式中，可以通过多孔材料等形成保持板624。即，形成于保持板 624的抽吸口可以利用设于多孔材料的细小的孔形成。此外，在本实施方式中，按压传感器635设于按压板623与底座部件621之间,然而并不限定于此。按压传感器635只要能够测定由液状树脂作用于按压面634的压力的话， 可以设置在任意的位置。此外，在本实施方式中，利用按压传感器635测定按压面634受到的来自液状树脂的压力，然而并不限定于此。也可以将按压传感器635设于保持板624的按压面634来测定工件W受到的来自液状树脂的压力。此外，在本实施方式中，液状树脂为光硬化性树脂，然而并不限定于此。液状树脂只要是能够将工件W粘贴于薄膜S的树脂即可，例如也可以是热硬化性树脂。此外，液状树脂并不限于完全的液状的状态，也包括凝胶状的固体。此外，在本实施方式中，将树脂供给部603以能够回转的方式安装于基座601，然而并不限定于此。树脂供给部603只要能够向薄膜S供给液状树脂的话，可以是任意的结构。
此外，在本实施方式中，作为按压部604采用了在底座部件621设置按压板623和保持板624的结构，然而并不限定于此。按压部604只要具有吸附保持工件W的按压面634 即可。此外，在本实施方式中，在移动部606设有滚珠丝杠式的移动机构，然而并不限定于此。移动部606只要是使按压面634相对于载置台602离开和接近的结构即可。此外，在本实施方式中，以单一的压力传感器633测定流路631内的吸气压力和排气压力，然而并不限定于此。也可以在粘贴装置600设置吸气用的压力传感器和排气用的压力传感器。此外，可以取代压力传感器而采用能够测定流体特性的变化的传感器，例如可以采用流量传感器。此外，在本实施方式中，形成为将保持板624-载置台602之间的间隙与流路631 内的压力的关系以映射图形式存储在存储器中的结构，然而并不限定于此。存储器只要存储表示保持板624-载置台602之间的间隙与流路631内的压力的关系的数据即可，例如可以以表格形式存储保持板624-载置台602之间的间隙与流路631内的压力的关系。此外，在本实施方式中，在装配作业时，形成为利用气体供给部637向载置台602 吹送空气的结构，然而并不限定于此。只要是能够向载置台602吹送的气体，气体供给部 637可以吹送任意的气体。参考图11详细地说明薄膜供给部。图11是本实施方式的薄膜供给部的侧视示意图。图12是本实施方式的第一鼓风部和第二鼓风部的放大图。如图11所示，薄膜供给部700以将薄膜S从卷装薄膜R拉出并按照预定长度切断的方式进行动作。卷装薄膜R通过将薄膜S卷绕于筒701而构成。薄膜S例如是厚度为 50[ym]左右的聚对苯二甲酸乙二醇酯的膜。薄膜S并不限定为上述的膜，可以根据各种用途而适当变更。筒701例如是由聚乙烯形成的直径3英寸的树脂管。筒701并不限定为上述的树脂管，例如可以是由聚丙烯、ABS (Acrylonitrile Butadiene Styrene,丙烯腈-苯乙烯-丁二烯共聚物)树脂等形成的树脂管，也可以是纸管。薄膜供给部700具备卷装薄膜支承部702，其用于安装卷装薄膜R ;以及薄膜拉出部703，其将薄膜S从卷装薄膜R拉出。在卷装薄膜支承部702与薄膜拉出部703之间， 由第一从动辊704、第二从动辊705和夹持部706形成薄膜S的搬送路径。卷装薄膜支承部 702贯穿插入至卷装薄膜R的筒701，将卷装薄膜R支承成能够以筒701的伸长方向为旋转轴旋转。卷装薄膜支承部702构成为能够从内侧固定筒701，从而与卷装薄膜R —体地旋转。此外，当卷装薄膜支承部702向相对于搬送方向正向进给的旋转方向旋转时,通过张力施加部707对卷装薄膜支承部702施加制动力(逆向进给旋转方向的旋转力)。张力施加部707通过对卷装薄膜支承部702施加制动力，从而对从卷装薄膜R拉出的薄膜S 作用有张力。施加于卷装薄膜支承部702的转矩即便在以固定的力拉出薄膜S的情况下也随着卷装薄膜R的直径而变化。由此，张力施加部707要与卷装薄膜R的直径的变化配合地调整制动力，以对薄膜S作用适度的张力。第一从动辊704、第二从动辊705在搬送路径中配置在卷装薄膜支承部702的下游。第一从动辊704、第二从动辊705分别与从卷装薄膜R拉出的薄膜S的表面滚动接触。 在搬送路径中，在第一从动辊704、第二从动辊705之间配置有第一鼓风部708、第二鼓风部709。第一鼓风部708与薄膜S的表面相对，通过吹送空气来除去薄膜S的表面侧的异物。 第二鼓风部709与薄膜S的背面相对，通过吹送空气来除去薄膜S的背面侧的异物。如图12所示，第一鼓风部708、第二鼓风部709包括块体723，该块体723形成有吹送侧的流路721和抽吸侧的流路722。流路721的吹出口附近急剧地变窄，从而提高了吹送到薄膜S的气体的流速。该流路721的吹出口附近的间隙优选为50 500 [ μ m]，更优选为50 200 [μ m]。在本实施方式中，将流路721的吹出口附近的间隙设定为100 [ μ m]。块体723靠近薄膜S地配置。未鼓风的状态下的块体723与薄膜S之间的间隙优选为O 100 [ μ m],更优选为O 50[ μ m]。在本实施方式中，将未鼓风的状态下的块体723与薄膜S之间的间隙设定为0[ μ m]。即使在将块体723与薄膜S之间的间隙设定为O [ μ m]的情况下，也能够通过进行鼓风而利用薄膜S的张力和鼓风的风量形成一定的间隙，从而能够除去几十[μπι]左右的异物。第一鼓风部708、第二鼓风部709通过向吹送侧的流路721送入空气并从抽吸侧的流路722抽吸空气，从而产生如箭头Al所示的空气的气流。从吹送侧的流路721吹出的空气一边在块体723与薄膜S之间的间隙收进异物一边经抽吸侧的流路722排出。这样，通过第一鼓风部708、第二鼓风部709来清洗薄膜S的两面。回到图11，在第二从动辊705的下游配置有夹持部706。夹持部706以通过上侧板714和下侧板715从上下夹紧薄膜S的方式进行动作。上侧板714由具有水平面的板材形成，并且安装在位于搬送路径的上方的驱动部716的杆717。下侧板715由具有水平面的板材形成，并且安装在位于搬送路径的下方的驱动部718的杆719。上侧板714和下侧板 715通过杆717、719的驱动而分别上下运动。上侧板714和下侧板715与薄膜S的拉出和切断对应地移动到恰当的高度。具体来说，上侧板714和下侧板715在上层位置731和下层位置732之间沿上下方向移动(参考图14)，所述上层位置731为由薄膜拉出部703把持薄膜S的前端的位置，所述下层位置 732为由后述的切割部711将薄膜S切断的位置。另外，对于上侧板714和下侧板715的动作的详细内容在后面叙述。在夹持部706的下游配置有切割部711。切割部711包括切割件735，其将薄膜 S沿与搬送方向正交的宽度方向切断；以及保持部736，其吸附保持薄膜S的背面。切割件 735和保持部736以隔着薄膜S的搬送路径在上下方向对置的方式进行配置。切割件735 位于薄膜S的上方，并且构成为能够借助切割件移动部746从薄膜S的宽度方向的一端侧向另一端侧移动。保持部736位于薄膜S的下方，并且形成为沿薄膜S的宽度方向延伸的长条状。保持部736具有吸附保持薄膜S的背面的保持面737。保持面737水平地形成， 并且形成为与移动到下层位置的下侧板715的上表面处于大致同一平面。在保持面737沿保持部736的延伸方向形成有供切割件502的刀尖退刀的退刀槽738。此外，在保持面737 的夹着退刀槽738的两侧沿退刀槽738形成有多个抽吸口 739。多个抽吸口 739经由未图示的流路与空气的抽吸源和供给源连接。切割部711在切断薄膜时通过多个抽吸口 739的抽吸来将拉出的薄膜S吸附在保持面737，并且在退刀槽738内通过切割件移动部746的驱动而使切割件735的刀尖沿退刀槽738滑动移动，由此将薄膜S切断。由此，能够在将薄膜S保持于保持面737的状态下
16将薄膜S切断。此外，切割部711在拉出薄膜时通过从多个抽吸口 739吹送空气来抑制薄膜S与保持面737的接触。通过该空气的吹送，防止了拉出薄膜时薄膜S与保持面737的摩擦。薄膜拉出部703包括把持部741，其把持薄膜S的前端；以及移动部742，其使把持部741向相对于杆717、719的驱动方向倾斜的倾斜方向移动。移动部742包括支承台 743，其相对于水平面P倾斜设置；导轨744，其在支承台743上与X轴方向平行；以及滑块 745，其被设置成能够沿导轨744滑动。滑块745构成为能够借助滚珠丝杠式的移动机构沿倾斜方向移动。在滑块745的上表面安装有底座板751。把持部741具有立起设置于底座板751的固定板752。固定板752以如下方式形成从底座板751的后端立起并向前方侧弯折，进而末端部753向下方弯折。此外，把持部 741具有相对于固定板752的末端部753接近和离开的可动板754。从侧面观察，可动板754 弯折成反L字状，并且该可动板754具有与固定板752的末端部753对置的平板部755。可动板754安装于在底座板751的后端侧设置的驱动部756的杆757。把持部741通过使可动板754的平板部755接近固定板752的末端部753而把持薄膜S的前端，并且通过使可动板754的平板部755离开固定板752的末端部753而释放薄膜S的前端。此外，把持部741朝向前方位置761向斜上方移动来把持薄膜S的前端，并且在把持薄膜S的前端的状态下朝向后方位置762向斜下方移动，从而将薄膜S从卷装薄膜R拉出(参考图14)。此时，把持部741把持薄膜S的把持高度在前方位置761处与切割部711的上方的上层位置731大致一致，而在后方位置762处与利用切割部711切断薄膜S的下层位置 732大致一致。即，把持部741在前方位置761处以不与保持部736冲突的方式把持薄膜 S，并从前方位置761移动到后方位置762，由此将薄膜S拉出，以使得薄膜S的背面与切割部711的保持面737处于同一平面。此外，在卷装薄膜支承部702的附近配置有直径检测部712，该直径检测部712检测卷装薄膜R的直径。直径检测部712例如包括反射型的光传感器767和上述的控制部6 的存储器，该反射型的光传感器767是通过在发光部765的周围设置受光部766而构成的。 光传感器767测定与卷装薄膜R的直径的变化相伴的受光量的变化。存储器中例如存储有表示受光量与卷装薄膜R的直径的关系的映射图。该映射图预先通过在使卷装薄膜R的直径变化的同时测定光传感器767的受光量而生成。当卷装薄膜R的直径减小时，光传感器767与卷装薄膜R的外周面之间的距离扩大，因此由光传感器767测定的受光量降低。此外，当从卷装薄膜R将薄膜全部拉出时，由于筒701的反射率与薄膜S的反射率不同，因此由光传感器767测定的受光量大幅地变化。 直径检测部712利用这些特性并基于存储在存储器中的映射图和光传感器767的测定结果，来检测卷装薄膜R的直径和薄膜S的有无。由直径检测部712检测出的卷装薄膜R的直径被通知给张力施加部707。张力施加部707通过根据卷装薄膜R的直径调整制动力，从而使薄膜产生适度的张力。此外，由直径检测部712检测出的薄膜S的有无被通知给监视部768。监视部768在检测到卷装薄膜 R中没有薄膜S的情况时发出警报。参考图13，说明卷装薄膜支承部的详细结构。图13是本实施方式的卷装薄膜支承部的局部剖视示意图。如图13所示，卷装薄膜支承部702具有棒状的轴部772，该棒状的轴部772突出设置在圆板状的抵接板771的板面。卷装薄膜R以将轴部772贯穿插入到筒701内并使该卷装薄膜R抵接于抵接板771的方式被支承在卷装薄膜支承部702。轴部772形成为中空，并且在内部设有能够沿轴向进退的驱动杆773。此外，在轴部772设有一对爪部774，该一对爪部774通过驱动杆773的进退而从筒701的内侧将卷装薄膜R锁定和解锁。在轴部772形成有收纳空间776，该收纳空间776以使驱动杆773能够进退的方式收纳该驱动杆773。收纳空间776经由贯穿插入孔777和一对长孔781与外部相连，所述贯穿插入孔777形成于轴部772的末端部，所述一对长孔781形成于轴部772的外周部。轴部772形成为驱动杆773的末端部778能够经由末端的贯穿插入孔777突出，并且一对爪部774能够经由外周面的一对长孔781与筒701的内表面抵接。此外，在轴部772形成有空气的供给空间783，该空气的供给空间783与收纳空间776的基端侧相连。通过将驱动杆773收纳到收纳空间776而将供给空间783密闭。通过向供给空间 783供给空气，驱动杆773向使末端部778突出到轴部772外的退出方向移动。此外，通过停止对供给空间783供给空气，驱动杆773形成为能够借助操作者的手动操作而向将末端部778收纳到贯穿插入孔777内的进入方向移动。此时，通过驱动杆773抵接于环状块体 775来限制驱动杆773的进入位置，所述环状块体775在收纳空间776和供给空间783之间从轴部772的内周面突出。驱动杆773包括直径形成得小的末端部778 ;以及直径形成得比末端部778大的前方部785、中间部786、后方部787。在驱动杆773向退出方向移动时，末端部778经由贯穿插入孔777从轴部772的末端面突出。末端部778的突出部分作为解除卷装薄膜R的锁定的解锁用操作部发挥作用。前方部785和后方部787具有与形成于轴部772内的圆柱状的支承面788、789的内径尺寸大致相同的外径尺寸，并且前方部785和后方部787由支承面788、789支承成能够沿进退方向滑动。中间部786配置在一对爪部774之间，该一对爪部774以能够相对于轴部772开闭的方式安装。在中间部786的前方部785侧形成有朝向驱动杆773的进入方向直径变大的锥形面791。通过锥形面791与驱动杆773共同进退，从而隔着一对爪部774的末端侧地对置的锥形面791与筒701的内表面之间的间隔发生变化。一对爪部774与一对长孔781对应地配置在收纳空间776内，并且该一对爪部774 在一对长孔781的后方以能够摆动的方式支承于轴部772。一对爪部774包括臂部792，其从基端部向前方延伸，该基端部被以能够摆动的方式支承于摆动支点796 ;以及辊部793， 其设在臂部792的末端部。臂部792形成为从末端部朝向基端部宽度变窄，并且该臂部792 具有从基端部向轴部772的径向内侧延伸的卡定部794。辊部793与中间部786的锥形面 791滚动接触。当驱动杆773向退出方向移动时，通过锥形面791将辊部793推向外侧，臂部792 经长孔781向朝向筒701侧的外侧摆动。由此，一对爪部774抵接于筒701的内表面从而将卷装薄膜R锁定。此外，当驱动杆773向进入方向移动时，通过中间部786的后端面795将卡定部794推向进入方向，臂部792向朝向驱动杆773侧的内侧摆动。由此，一对爪部774 离开筒701的内表面从而将卷装薄膜R解锁。另外，关于卷装薄膜支承部702对卷装薄膜R的锁定和解锁的详细内容在后面叙述。参考图14A和图14B，说明由薄膜供给部实现的薄膜切断动作。图14A和图14B是由本实施方式的薄膜供给部实现的薄膜切断动作的说明图。如图14A的(a)所示，上侧板714和下侧板715在下层位置732夹持薄膜S。在该情况下，薄膜S的前端位于切割部711 (保持部736)的保持面737上。此外，把持部741 在使固定板752的末端部753与可动板754的平板部755分离的状态下于后方位置762待机。此时，把持部741的高度对准能够在下层位置732把持薄膜S的前端的高度。接着，如图14A的(b)所示，上侧板714和下侧板715在夹持薄膜S的状态下朝向上层位置731向箭头A2方向移动。由此，薄膜S的前端移动到切割部711的保持面737的上方。接着，如图14A的(c)所示，把持部741朝向前方位置761向斜上方(箭头A3方向) 移动。当把持部741定位于前方位置761时，薄膜S的前端被定位在固定板752的末端部 753与可动板754的平板部755之间。接着，如图14B的(d)所示，可动板754的平板部755向固定板752的末端部753 接近(箭头A4方向)，从而利用固定板752和可动板754把持薄膜S的前端。这样，在前方位置761，把持部741的高度对准能够在上层位置731把持薄膜S的高度。接着，如图14B的(e)所示，通过下侧板715朝向下层位置732向箭头A5方向移动来解除对薄膜S的夹持，并且通过把持部741朝向后方位置762向斜下方(箭头A6方向) 移动来将薄膜S拉出。此时，把持部741在移动的同时将薄膜S的把持位置的高度从上层位置731改变至下层位置732。此外，在拉出薄膜S时，从在保持面737形成的多个抽吸口 739对薄膜S吹送空气。通过该空气的吹送来防止拉出薄膜S时薄膜S与保持面737的摩擦。接着，如图14B的(f)所示，当薄膜S的拉出结束时，通过多个抽吸口 739将薄膜S 吸附在保持面737，薄膜搬送部800自上方保持被拉出到把持部741与保持面737之间的薄膜S。接着，在利用薄膜搬送部800保持薄膜S的状态下，切割件735沿形成于保持面737 的退刀槽738滑动，沿与搬送方向正交的宽度方向将薄膜S切断。由于是在沿退刀槽739 形成于退刀槽738两侧的多个抽吸口 739保持薄膜S的状态下进行切断，因此能够进行稳定的切断。当薄膜S被切断后，解除把持部741对薄膜S的把持，利用薄膜搬送部800将薄膜 S搬送至载置台602。此时，通过上侧板714移动至下层位置732来夹持薄膜S，从而回到图 14A的(a)所示的状态。这样，在本实施方式中，通过把持部741从前方位置761朝向后方位置762向斜后方移动，从而将薄膜S在改变高度的同时拉出。由此，只要使把持部741向斜方向这一轴方向移动即可，与使其向前后方向和上下方向这两轴方向移动的结构相比， 能够通过廉价且简易的结构将薄膜S拉出。参考图15说明卷装薄膜支承部实现的卷装薄膜的锁定动作和解锁动作。图15是由本实施方式的卷装薄膜支承部实现的卷装薄膜的锁定动作和解锁动作的说明图。如图15的(a)所示，在卷装薄膜R的解锁时，驱动杆773被推向轴部772的收纳空间776的深处，并与设于轴部772的内周面的环状块体775抵接。一对爪部774以卡定部794与中间部786的后端面795抵接，从而如箭头A7所示，使臂部792的末端侧按压在驱动杆773的外周面。此时，设于臂部792的末端部的辊部793与锥形面791的小径侧滚动接触。在该卷装薄膜R的解锁状态下，当向供给空间783供给空气时，驱动杆773开始向退出方向移动。当驱动杆773开始朝向退出方向移动时，辊部793在锥形面791上从小径侧向大径侧移动。由此，臂部792如箭头A8所示地以摆动支点796为中心向筒701侧摆动。 接着，如图15的(b)所示，当驱动杆773被完全地向退出方向推出时，臂部792的末端侧经长孔781被啮入到筒701的内表面与锥形面791之间。根据该结构，筒701的内表面被臂部792按压，通过臂部792从筒701的内侧将卷装薄膜R锁定。在该情况下，臂部792如箭头AS的摆动方向所示地自朝向抵接板771的斜方向抵接于筒701的内表面。因此，卷装薄膜R以抵接于抵接板771的状态被一对爪部774 锁定。此外，在卷装薄膜R的锁定状态下，作为解锁用的操作部的驱动杆773的末端部778 经由轴部772的贯穿插入孔777突出到外部。在该锁定状态下，在停止向供给空间783供给空气后，当操作者按压从轴部772突出了的驱动杆773的末端部778时，驱动杆773开始向进入方向移动。当驱动杆773开始朝向进入方向移动时，臂部792的末端侧被从卷装薄膜R的筒701的内表面与锥形面791 之间解除啮入。接着，如图15的(a)所示，当驱动杆773被向进入方向完全推入时，中间部 786的后端面795与一对爪部774的卡定部794抵接。通过该后端面795相对于卡定部794 的抵接，臂部792如箭头A7所示地以摆动支点796为中心向驱动杆773侧摆动。通过该结构，臂部792完全从筒701的内表面离开，从而卷装薄膜R被解锁。这样， 由于通过操作者的手动操作进行解锁，因此不存在因空气的供给停止等而自动地解除锁定的情况。因此，在卷装薄膜R的解锁时一定要进行操作者的操作，因此能够抑制操作者无意识下的卷装薄膜R的解锁。参考图16，说明直径检测部对卷装薄膜的直径检测处理。图16是对表示本实施方式的与卷装薄膜的变化对应的光传感器的测定结果的映射图的一例进行示出的图。另外， 在图16中，卷装薄膜为PET (polyethylene terephthalate,聚对苯二甲酸乙二醇酯)膜,筒为聚乙烯制成。此外，纵轴表示与受光量对应的光传感器的测定电压，横轴为从光传感器到测定对象的距离。如图16所示，在薄膜供给部700的驱动之前，在使光传感器767与测定对象之间的距离变化的同时测定光传感器767的测定电压，从而得到了实线W1、虚线W2的测定结果。 在此，实线Wl为以卷装薄膜R作为测定对象的情况下的测定结果，虚线W2为仅以筒701作为测定对象的情况下的测定结果。如实线Wl所示，随着光传感器767的受光面与卷装薄膜 R的外周面之间的距离变远，光传感器767的与受光量对应的测定电压降低。在图示例中， 当光传感器767的受光面与卷装薄膜R的外周面之间的距离从96[mm]增加到160[mm]时， 测定电压从5. O [V]降低至I. 4 [V]。此外，如虚线W2所示，随着光传感器767的受光面与筒701的外周面之间的距离变远，光传感器767的与受光量对应的测定电压降低。在图示例中，当光传感器767的受光面与筒701的外周面之间的距离从45[mm]增加到160[mm]时，测定电压从2. 4[V]降低至 1.2[V]。这样，由于筒701比薄膜S的反射率低，因此与以卷装薄膜R为测定对象的情况相比，测定电压较低。映射图存储在控制部6的存储器中。在薄膜供给部700的驱动时，直径检测部712参考存储在存储器中的映射图，并基于来自卷装薄膜R的反射光的受光量来检测卷装薄膜R的直径。直径检测部712将检测到的卷装薄膜R的直径输出至张力施加部707。通过该结构，张力施加部707能够调整制动力，即使是在施加于卷装薄膜支承部702的转矩随着卷装薄膜R的直径而变化的情况下，也能够使薄膜S产生适度的张力。由此，避免了施加于薄膜S的张力过大而使薄膜S拉伸、或者在把持部741拉出薄膜S时有负荷作用而使动作变得不稳定等的问题。此外，避免了当施加于薄膜S的张力过小而使薄膜S松弛、对薄膜S的切割无法恰当地进行等的问题。此外，直径检测部712参考存储在存储器中的映射图，并根据卷装薄膜R与筒701 的反射率的不同来检测薄膜S的有无。在该情况下，直径检测部712将阈值设定在薄膜S 用尽前对卷装薄膜R测定出的测定电压与对此时的筒701测定出的测定电压之间。并且， 直径检测部712在通过光传感器767测定到阈值以下的测定电压时，检测出薄膜S已用尽。 在图示例中，由于薄膜S在160[mm]处用尽，因此通过将阈值设定为I. 3[V]，来检测薄膜S 的有无。直径检测部712将薄膜S的有无通知给监视部768。监视部768在检测出卷装薄膜R中的薄膜S已用尽时发出警报，敦促操作者进行卷装薄膜R的更换作业。另外，在本实施方式中，构成为将受光量与卷装薄膜R的关系以映射图形式存储在存储器中，然而并不限定于此。存储器只要存储了表示受光量与卷装薄膜R的关系的数据即可，例如也可以将受光量与卷装薄膜R的关系以表格形式存储。此外,在本实施方式中，直径检测部712基于反射型的光传感器767的受光量检测卷装薄膜R的直径，然而并不限定为光传感器。直径检测部712只要具有能够测定与卷装薄膜R的直径对应的物理量的传感器即可，例如也可以设置负载传感器来根据卷装薄膜R 的重量检测卷装薄膜R的直径。在该情况下，将负载传感器设置在卷装薄膜支承部702。此外，在本实施方式中，将筒701以比卷装薄膜R反射率低的材质形成，然而并不限定于此。在检测薄膜S的有无的情况下，筒701只要具有与卷装薄膜R不同的反射率即可，例如也可以以比卷装薄膜R反射率高的材质形成。此外，在本实施方式中，通过张力施加部707对卷装薄膜支承部702施加逆向进给旋转方向的旋转力，从而对薄膜S施加张力，然而并不限定于此。张力施加部707只要是能够对薄膜S施加适度的张力的结构即可，例如也可以构成为对卷装薄膜支承部702作用摩擦力的结构。此外，在本实施方式中，作为光传感器767米用了在发光部636的周围设置受光部 766的结构，然而并不限定于此。光传感器767也可以是在受光部766的周围设置发光部 636的结构。此外，在本实施方式中，构成为将来自光传感器767的输出通知给张力施加部707 和监视部768，然而并不限定于此。也可以是将来自光传感器767的输出通知给控制部6， 然后经控制部6通知给张力施加部707和监视部768。此外，在本实施方式中，利用一对爪部774将卷装薄膜R锁定在卷装薄膜支承部 702，然而并不限定于此。卷装薄膜支承部702只要是可锁定卷装薄膜R的结构，则可以具有任意的结构。此外，在本实施方式中，通过第一鼓风部708、第二鼓风部709向薄膜S喷射空气来清洗薄膜S，然而并不限定于此。第一鼓风部708、第二鼓风部709也可以喷射空气以外的气体来清洗薄膜S。此外，在本实施方式中，通过从抽吸口 739吹送空气来防止拉出薄膜S时薄膜S与保持面737的摩擦，然而并不限定于此。在拉出薄膜S时薄膜S与保持面737不摩擦的情况下，也可以不从抽吸口 739吹送空气。此外，在本实施方式中，薄膜拉出部703构成为在使把持部741把持薄膜S的前端的状态下，通过使把持部741滑动来将薄膜S从卷装薄膜R拉出，然而并不限定于此。薄膜拉出部703只要是能够将薄膜S从卷装薄膜R拉出的结构，则可以是任意的结构。参考图I、图17和图18，详细地说明载置台和薄膜搬送部。图17是本实施方式的载置台的示意图。另外，在图17中，(a)为载置台的俯视示意图，(b)为沿(a)中的Bl-Bl 线的剖视图。图18是本实施方式的薄膜搬送部的剖视示意图。如图17所示，载置台602由透光性材料形成为圆板状，其在上表面的除了外周区域以外的中央区域设有凹部651。载置台602上表面通过凹部651形成为台阶状，其在外周区域形成第一保持面652，在凹部651的内底面形成第二保持面653，在凹部651的内周面形成从第一保持面652到第二保持面653的侧面654。在第一保持面652呈同心圆状地形成有两个第一抽吸口 655，该两个第一抽吸口 655抽吸保持薄膜S的外周区域。在第二保持面653与侧面654的角部形成有环状的第二抽吸口 656 (抽吸口)，该环状的第二抽吸口 656抽吸薄膜S的中央区域。第一抽吸口 655经由形成于载置台602内部的流路与未图示的抽吸源连接。第二抽吸口 656经由形成于载置台602内部的流路与抽吸源连接。此外，在与第二抽吸口 656 相连的流路设有大气敞开阀。载置台602通过第一抽吸口 655的抽吸将薄膜S的外周区域吸附保持在第一保持面652。此时，通过薄膜S、第二保持面653和侧面654形成密闭空间 657 (参考图17的(b))。载置台602通过第二抽吸口 656从该密闭空间657抽吸空气，由此将薄膜S贴附在第二保持面653。当从密闭空间657抽吸空气时，薄膜S —边借助第一保持面652与第二保持面653 的阶梯差而被拉伸一边沿第二保持面653紧贴。由于第二保持面653除了形成有第二抽吸口 656的外周缘之外均形成得平坦，因此提高了对薄膜S的紧贴性，并且能够消除由发光部 636 (参考图5)照射的光的散射。因此，能够将平坦的薄膜S良好地粘贴于工件W。此外，通过将大气敞开阀敞开，使空气从第二抽吸口 656流入薄膜S与第二保持面 653之间，从而利用作用于薄膜S的张力(复原力)将薄膜S从第二保持面653剥离。这样，本实施方式的载置台602能够将薄膜S气密地贴附于第二保持面653，并且能够容易地将贴附于第二保持面653的薄膜S剥离。如图I所示，薄膜搬送部800包括搬送臂部802，其从基座801内突出，该基座801 配置在外部壳体2的底壁部；以及薄膜保持部803，其设于搬送臂部802的末端。搬送臂部 802构成为能够借助设于基座801内的未图示的移动机构向X轴方向和Z轴方向移动。薄膜保持部803形成为俯视呈矩形形状，并且该薄膜保持部803具有保持薄膜S的保持面。薄膜搬送部800借助于基座801内的移动机构在薄膜供给部700和载置台602之间搬送薄膜 S。如图18所示，在薄膜保持部803的下表面的除了外周区域以外的中央区域形成有凹部811。薄膜保持部803的下表面的外周区域作为保持面812，并形成有对薄膜S的外周区域进行抽吸保持的抽吸口 813。抽吸口 813经由在薄膜保持部803的内部形成的流路与未图示的抽吸源连接。在凹部811安装有由伸缩材料形成的膨胀膜(膨胀部)814。膨胀膜 814隔开微小的间隙地安装于凹部811的内底面。在凹部811的内底面形成有供给口 816，该供给口 816向膨胀膜814的中央部分供给空气。供给口 816经由在薄膜保持部803的内部形成的流路与未图示的供给源连接。通过经由供给口 816向膨胀膜814供给空气，膨胀膜814从中央部分开始鼓起并膨胀成圆顶状。薄膜保持部803通过在将薄膜S保持于载置台602上的第一保持面652的状态下使膨胀膜814膨胀成圆顶状，从而将薄膜S的中央部分按压于载置台602的第二保持面653。并且，被按压在第二保持面653的薄膜S如上所述地通过第二抽吸口 656的抽吸而被吸附在第二保持面653。此时，由于薄膜S的中央部分被按压在第二保持面653，因此薄膜S被以从中央向外侧挤出气泡的方式紧贴到第二保持面653。因此，抑制了气泡进入薄膜S与载置台602之间，提高了第二保持面653与薄膜S的紧贴性。参考图19，说明薄膜的贴附动作。图19是由本实施方式的薄膜搬送部实现的薄膜的贴附动作的说明图。 如图19的(a)所示，薄膜保持部803从薄膜供给部700接收薄膜S，并将薄膜S定位于载置台602的上方。在该情况下，薄膜S在由抽吸口 813将薄膜S的外周区域保持在保持面812的状态下被搬送。薄膜保持部803在保持薄膜S的状态下向下方移动，将薄膜 S载置于载置台602的第一保持面652上。载置台602在载置薄膜S后，利用第一抽吸口 655将薄膜S的外周区域吸附在第一保持面652。此时，通过薄膜S、第二保持面653和侧面 654形成密闭空间657。接着，如图19的(b)所示，当将薄膜S的外周区域吸附于载置台602的第一保持面652时，薄膜保持部803解除抽吸口 813对薄膜S的保持。接着，薄膜保持部803从供给口 816向膨胀膜814供给空气，使膨胀膜814膨胀成圆顶状。由此，薄膜S的中央部分被按压在载置台602的第二保持面653。接着，如图19的(C)所示，载置台602利用第二抽吸口 656从密闭空间657抽吸空气，从而使薄膜S贴附在第二保持面653。此时，薄膜S —边借助凹部651的阶梯差而将褶皱拉伸，一边由膨胀膜814以从中央部分向外侧挤出气泡的方式按压扩展。薄膜S通过利用第二抽吸口 656抽吸被挤出的气泡，从而从内侧向外侧逐渐紧贴到第二保持面653。由此，抑制了气泡进入薄膜S与载置台602之间的情况。当将薄膜S贴附到载置台602上后， 薄膜保持部803从载置台602上离开，然后对薄膜S实施上述的工件W的粘贴动作。接着，如图19的(d)所示，当工件W的粘贴动作结束后，载置台602停止来自第二抽吸口 656的空气的抽吸，打开大气敞开阀，该大气敞开阀将密闭空间657内向大气敞开。 通过大气敞开阀的敞开，空气从第二抽吸口 656流入薄膜S与第二保持面653之间，通过作用于薄膜S的张力(复原力)将薄膜S从第二保持面653剥离。这样，即使是在薄膜S气密地贴附于第二保持面653的情况下，也能够容易地将薄膜S从第二保持面653剥离。另外，在本实施方式中，在薄膜保持部803设有膨胀膜814，然而并不限定于此。薄膜保持部803只要形成为能够保持薄膜S即可，例如也可以如图20那样不设置膨胀膜814 而是在下表面整个区域形成保持面812。下面，参考图20，说明使用变形例的薄膜保持部的薄膜的贴附动作。图20是使用变形例的薄膜保持部的薄膜的贴附动作的说明图。另外，在此，对相同名称标以相同标号进行说明。如图20的(a)所示，薄膜保持部803从薄膜供给部700接收薄膜S，并将薄膜S定位于载置台602的上方。在该情况下，薄膜S在由抽吸口 813保持在保持面812的状态下被搬送。薄膜保持部803在保持薄膜S的状态下向下方移动，将薄膜S载置于载置台602 的第一保持面652上。载置台602在载置薄膜S后，利用第一抽吸口 655将薄膜S的外周区域吸附在第一保持面652。接着，如图20的(b)所示，当将薄膜S的外周区域吸附于载置台602的第一保持面652时，薄膜保持部803解除抽吸口 813对薄膜S的保持。接着，如图20的(c)所示，载置台602利用第二抽吸口 656从由薄膜S、第二保持面653和侧面654构成的密闭空间657 抽吸空气，从而使薄膜S贴附在第二保持面653。此时，薄膜S借助凹部651的阶梯差而将褶皱拉伸，并且薄膜S被紧贴到第二保持面653。当将薄膜S贴附到载置台602上后，薄膜保持部803从载置台602上离开，然后对薄膜S实施上述的工件W的粘贴动作。接着，如图20的(d)所示，当工件W的粘贴动作结束后，载置台602停止来自第二抽吸口 656的空气的抽吸，打开大气敞开阀，该大气敞开阀将密闭空间657内向大气敞开。 通过大气敞开阀的敞开，空气从第二抽吸口 656流入薄膜S与第二保持面653之间，通过作用于薄膜S的张力(复原力)将薄膜S从第二保持面653剥离。这样，即使是在薄膜S气密地贴附于第二保持面653的情况下，也能够容易地将薄膜S从第二保持面653剥离。此外，在本实施方式中，将载置台602的第二保持面653形成得平坦，然而并不限定于此，第二保持面653也可以形成有到达第二抽吸口 656的槽。例如，如图21所示，也可以以穿过第二保持面653的中心的方式在载置台602形成槽901。在图21中，(a)为载置台的俯视示意图，(b)为沿(a)中的B2-B2线的剖视图。通过该结构，在降低了从发光部 636(参考图5)照射的光的散射的状态下，减少了混入第二保持面653与薄膜S之间的气泡，从而能够提高薄膜S的吸附力。在该情况下，槽901只要是在第二保持面653上与第二抽吸口 656相连的结构的话，可以任意地形成。另外，在本实施方式中，在与第二抽吸口656相连的流路设有大气敞开阀，然而并不限定于此。只要通过第二抽吸口 656的抽吸将薄膜S吸附于第二保持面653的话，也可以是未设有大气敞开阀的结构。此外，在本实施方式中，将薄膜S利用第一抽吸口 655吸附保持在第一保持面652， 然而并不限定于此。只要将薄膜S的外周区域保持在第一保持面652即可，例如可以利用夹紧机构等将薄膜S的外周区域机械地保持在第一保持面652。此外，在本实施方式中，薄膜S通过第二抽吸口 656吸附保持在第二保持面653，然而并不限定于此。第二保持面653只要是吸附保持薄膜S的中央区域的结构即可，例如也可以由在第二保持面653和侧面654的角部形成的多个孔构成。此外，在本实施方式中，在第二保持面653和侧面654的角部形成了第二抽吸口 656，然而并不限定于此。第二抽吸口 656只要至少形成于第二保持面653和侧面654中的
一方即可。在此，参考图1，说明树脂涂布装置I的整体性的动作的流程。首先，在运行前的维护时，实施粘贴装置600的装配作业。由此，设定按压部604在按压操作时的基准位置。当树脂涂布装置I被驱动、并由操作者将搬入侧的盒4收纳到盒收纳部100后，通过第一工件搬送部200从搬入侧的盒4取出加工前的工件W，并临时放置到临时放置工作台401。此时，在外部门106和内部门107中的任意一方为打开状态的情况下，将任意另一方以关闭状态锁定，从而确保了操作者的作业的安全性。临时放置工作台401上的工件W由拍摄部402拍摄，并在控制部6算出水平方向的朝向和中心位置。拍摄后的工件W基于算出的朝向和中心位置被第二工件搬送部300交接至按压部604，并由按压部604的按压面634在载置台602的上方进行保持。另一方面， 与工件W向按压部604的搬送并行地，通过薄膜供给部700从卷装薄膜R拉出薄膜S。在拉出薄膜S时，与卷装薄膜R的直径的变化对应地进行调整，以对薄膜S作用适度的张力。由薄膜供给部700拉出的薄膜S被以预定长度切断并由薄膜搬送部800搬送到载置台602上。此时，通过设于薄膜搬送部800的膨胀膜814的膨胀和载置台602的凹部651， 将薄膜S气密地贴附到载置台602。从树脂供给部603向载置台602上的薄膜S的中央部分供给液状树脂。接着，在向粘贴装置600搬送薄膜S和工件W后，将保持在按压面634的工件W按压到供给了液状树脂的薄膜S。此时，根据按压面634从液状树脂受到的压力的变化来调整按压部604的压下量。由此，液状树脂铺满至工件W的外缘。当工件W相对于薄膜S的按压结束时，通过来自发光部636的光的照射使液状树脂硬化，从而在工件W与薄膜S之间形成树脂膜。此时，由于是在工件W相对于薄膜S的按压被解除的状态下使液状树脂硬化，因此在工件W不会残留内部应力。带薄膜S的工件W 由第二工件搬送部300从载置台602取出，并配置到薄膜切断部500的下方。接着，带薄膜 S的工件W在薄膜切断部500被沿工件W的外形切除多余的薄膜S，然后由第一工件搬送部 200从薄膜切断部500推入到搬出侧的盒5中。如上所述，根据本实施方式的树脂涂布装置1，能够在以保持在按压面634的工件 W自上方按压被供给至载置台602上表面的液状树脂L时根据按压部604受到的压力变化来调节按压部604的压入量，因此能够与工件W厚度的不均和液状树脂L的量的增减无关地使液状树脂L恰当地扩展。此外，本次公开的实施方式中所有的方面都是示例，而并非限定于该实施方式。本发明的范围并非仅由上述的实施方式的说明而是由权利要求书示出，在与权利要求书均等的含义以及范围内的所有变更均包含在本发明的范围内。工业上的可利用性如以上所说明的那样，本发明具有能够与工件厚度的不均和树脂的量的增减无关地使树脂恰当地扩展的效果，特别对于以覆盖半导体晶片等工件(被加工物)的一个面的方式涂布树脂的树脂涂布装置是有用的。
权利要求
1.一种树脂涂布装置，该树脂涂布装置包括按压部，所述按压部具有能够吸附保持工件的按压面；载置台，所述载置台与所述按压面对置地配设；树脂供给部，所述树脂供给部向所述载置台的上表面供给液状树脂；移动部，所述移动部使所述按压面相对于所述载置台接近和离开；以及控制部，所述控制部控制所述移动部的动作，以保持于所述按压面的所述工件对供给至所述载置台的上表面的所述液状树脂自上方进行按压，从而使所述液状树脂在所述工件的下表面扩展，所述树脂涂布装置的特征在于，所述按压部具有检测压力的压力传感器，该压力是在通过利用所述移动部使所述按压面所保持的所述工件接近所述载置台而使所述液状树脂在所述工件下表面扩展时所述按压面所受到的压力，所述控制部基于所述压力传感器检测出的压力来控制所述移动部的动作。
2.根据权利要求I所述的树脂涂布装置，其特征在于，当所述压力传感器检测到的压力在预先设定的压力以上时，所述控制部停止利用所述移动部使所述按压面所保持的所述工件接近所述载置台。
3.根据权利要求I所述的树脂涂布装置，其特征在于，当所述压力传感器检测到的压力在刚刚检测到的压力以下时，所述控制部停止利用所述移动部使所述按压面所保持的所述工件接近所述载置台。
全文摘要
本发明提供一种树脂涂布装置，其能够与工件厚度的不均和树脂的量的增减无关地使树脂恰当地扩展。本实施方式的树脂涂布装置(1)为以保持于按压部(604)的按压面(634)的工件(W)自上方按压被供给至载置台(602)的上表面的液状树脂(L)而使液状树脂(L)在工件(W)下表面扩展的树脂涂布装置(1)，其构成为在按压部(604)具备检测压力的压力传感器(633)，该压力是在通过利用移动部(606)使工件(W)接近载置台(602)而使液状树脂(L)在工件(W)下表面扩展时按压面(634)所受到的压力，控制部基于压力传感器(633)所检测出的压力来控制移动部(606)的动作。
文档编号B05C5/00GK102580887SQ201210010370
公开日2012年7月18日 申请日期2012年1月13日 优先权日2011年1月13日
发明者桑名一孝 申请人:株式会社迪思科