专利名称：液体涂敷方法和应用该方法的电子器件制造方法
技术领域：
本发明涉及将液体涂敷于阴极射线管，半导体基板，液晶基板，光盘用基板等的涂敷对象形成薄膜的液体涂敷方法，液体涂敷装置，应用该液体涂敷方法的阴极射线管、光盘等的电子器件的制造方法，以及喷嘴。
已往，液体涂敷装置，使用的有如将掺有荧光体的液体涂敷于构成彩色电视用阴极射线管(CRT)显示部分的保护玻璃上形成红(R)、绿(G)、蓝(B)3色荧光膜的装置。
这种液体涂敷装置，通常备有供给掺有荧光体液体的液体供给台；在保护玻璃内展开液体的液体涂敷台；用加热器对涂敷后的液体进行干燥处理的干燥台；用于连接各个台输送保护玻璃的多个输送车。该输送车上设有，前端的吸着保持保护玻璃的吸着部，和可旋转和倾动支持吸着部的旋转支持部。
该液体涂敷装置使保护玻璃的凹面向上吸着保持，由液体供给台将如绿色荧光体的液体加到保护玻璃的底部中央。接着，用输送车将保护玻璃运往涂敷台，通过使旋转支持部倾动并低速旋转使保护玻璃倾斜旋转。然后，利用离心力及倾斜，将供给底面中央的液体散布到保护玻璃的内表面上，形成如300μm左右厚的涂膜。涂膜形成后的剩余液体，通过进一步倾斜保护玻璃将其排出。并回收该排出液体再加以利用。涂膜形成后的保护玻璃送往干燥台，当送至干燥台时，通过面对保护玻璃配置的加热器对涂膜进行干燥获得荧光膜。接着，经过众所周知的光刻处理，在预定区域上形成如绿色用的荧光膜。再重复2次上述工序，即形成余下的蓝色和红色用的荧光膜。
如上所述的已有技术的液体涂敷装置，是通过使保护玻璃倾斜旋转涂敷荧光体的液体的，由于液体粘度，易发生以同一圆周周边为界膜厚变化的不均匀现象，称为沙滩状不均匀。而且，低速旋转涂敷到涂膜厚度达300μm左右需涂敷时间长，同时干燥所需时间也长，从而荧光膜形成时间长。进而，为了使膜厚均匀，需供给大量液体，涂敷后需排出剩余液体，这种剩余液体虽可再利用，但会白白耗费液体。
本发明的目的在于能够抑制液体消耗短时间形成薄的涂膜，不易出现涂敷不均匀。
本发明的涂料涂敷方法，包含用配置在涂敷对象对面的喷嘴一边向涂敷对象喷吐平面状气体一边喷吐液体添加到上述气体中的喷吐工序；一边喷吐液体一边使上述涂敷对象与上述喷嘴作相对移动的相对移动工序。以此，将液体涂敷于涂敷对象上。
按照上述方法，液体添加于平面状喷出的气体喷吐到涂敷对象上，使喷嘴与涂敷对象相对移动，从而能维持一定的膜厚将液体涂敷于涂敷对象上，通过调整液体喷吐量，能够抑制液体消耗，短时间形成涂敷不均匀度低的均匀的薄涂膜。
本发明的阴极射线管的制造方法是，将喷嘴配置在保持玻璃部的对面，一边使该保护玻璃部与喷嘴相对移动，一边喷吐平面状气体，同时喷吐掺有荧光体的液体添加到气体中进行涂敷，在保护玻璃部预定位置上形成荧光体层。
按照上述方法，即使供给量少，也不会导入空气中断荧光体液体的喷吐，从而能在短时间内对保护玻璃部进行薄而均匀的涂敷，而且，由于能涂敷薄的掺有荧光体的液体，所以干燥时间也短，能短时间形成荧光体层，而且，由于荧光体层厚度薄而均匀，从而能获得亮度一定提供白色质量(white quality)的阴极射线管。
本发明的光盘制造方法是，将喷嘴配置在光盘基板的对面，一边使光盘基板旋转并使喷嘴从光盘基板中心部朝外周部移动，一边向光盘基板喷吐平面状气体，同时喷吐紫外线硬化树脂添加到气体中，在上述光盘基板上形成紫外线硬化树脂层。
按照上述方法，能够在短时间内涂敷薄而均匀的紫外线硬化树脂，由于紫外线硬化树脂涂敷得薄，所以干燥时间也短，能够在短时间内形成紫外线硬化树脂层，从而能在短时间内获得具有涂敷不均匀度低的均匀而薄的紫外线硬化树脂层的光盘。
下面，结合附图详细说明本发明的实施例。
图1表示本发明第一实施例液体涂敷装置结构的立体图；图2为上述液体涂敷装置的局剖侧视图；图3为用于上述液体涂敷装置的喷嘴的剖面图；图4为用于上述液体涂敷装置的喷嘴的底视图；图5为用上述液体涂敷装置制造阴极射线管时的流程图；图6表示本发明第二实施例液体涂敷装置结构的立体图；图7为图6液体涂敷装置的平面图；图8为用于图6液体涂敷装置的喷嘴的底视图；图9为表示本发明第三实施例液体涂敷装置结构的立体图；图10为用于图9液体涂敷装置的喷嘴的立体图；图11为本发明第四实施例液体涂敷装置的喷嘴的剖面图；图12为图11喷嘴主要部分的放大断面图；图13为图11液体涂敷装置的喷嘴的另一例断面图；图14为图11液体涂敷装置的喷嘴的再一例剖面图；图15为图11液体涂敷装置的喷嘴的再一例的顶视图。
参照图1至图4说明本发明第一实施例的液体涂敷装置。
如图1所示，液体涂敷装置1备有，可旋转支持如宽高比为16∶9的阴极射线管(CRT)的保护玻璃部2的管支持部3，将掺有荧光体的液体喷向保护玻璃部2的喷嘴4，使喷嘴4在管支持部3上作X方向和正交的Y方向移动的喷嘴移动部5。如图3所示，喷嘴4具有构成喷出部的在X方向(纸面深度方向)上长的狭缝20。
管支持部3为箱状部件，其下面安装着包括电动机在内的旋转驱动部10。管支持部3的形状适应阴极射线管保护玻璃部2的尺寸，装卸自如地安装于旋转驱动部10上。管支持部3上面四周构成具有坡度的排出沟，用以排出剩余液体。排出沟11最低位置上设有排出口12，剩余液体从排出口12排到外部再被利用。管支持部3中部形成大致矩形的安装孔13，用于安装保护玻璃部2。该安装孔13呈保护玻璃部2外周的形状，其内周部安装有密封部件14，用于防止液体泄漏。
如图3所示，喷嘴4具有大致为板棒状的喷嘴本体22，其下部有倾斜面22a。喷嘴本体22下面构成接续于倾斜面22a的X方向上长的狭缝20。狭缝20的长度大于涂敷对象最大尺寸的保护玻璃部2X方向的长度。狭缝20两端，如图4所示，形成比其它部分宽的导流头21。由于在狭缝20两端形成这种导流头21，故狭缝20喷出的液体两端不易成尖细状。导流头21未必要设置。在设有导流头21情况下，狭缝20两端的流量比其它部分多，液体的厚度也比其它部分厚。因此，可以按照使该导流头21的液体不喷吐到保护玻璃部2那样来确定狭缝20的长度。
如图3所示，喷嘴本体22内部设有从上部导入空气的空气导入部23，从下部使液体循环、导入及排出的一对液体导入部24、25。空气导入部23经接续体连接着空气软管30。空气软管30连接于未图示的空气气压源。液体导入部24、25经接续件连接循环软管31、32。循环管31，如图2所示，连接于循环泵33的输出侧，该泵33由齿轮泵构成。循环管32经阀36连接于循环泵33的吸入侧。循环泵33吸入侧经阀35连接有贮存荧光体液体的桶34。这里，使液体不断循环是为了防止液体供给停止时，液体中荧光体沉淀滞留于配管、软管或狭缝喷嘴20中。液体供给停止时，阀35关闭，阀36打开，使液体在循环管31、32内循环，抑制荧光体的沉淀。
喷嘴本体22的空气导入部23开口于空气贮留部40，该贮留部40在X方向上形成长的空间。空气贮留部40连通于空气通路41，该空气通路41在喷嘴本体22中心部中上下延伸连通于狭缝20。空气通路41的途中设有整流板42，用于将供给的空气整流成层流。通过该整流板42的空气变成层流的空气。液体导入部24、25开口于在X方向上形成长空间的液体贮留部43。液体贮留部43，是容量比流量小的空间，贮留于该液体贮留部43中的液体不会以常压喷出。液体贮留部43连通于空气通路41中整流板42的下方。空气通路41中液体贮留部43下方的粗线部分的侧壁43a上进行亲水处理使侧壁43a构成亲水面。又，相反侧粗线部分的侧壁43b上进行拒水处理，使侧壁43b构成一拒水面。这里，侧壁43a上施行亲水处理是为了能平滑不间断喷出帘状液体，侧壁43b上实施拒水处理是为了防止附着于液体中的污点扰乱了层液空气。
通过对流量及压力控制将空气和液体供给上述结构的喷嘴4时，从狭缝20喷出层流平板状空气45，同时从狭缝20喷出帘状液体46添加到该空气45中。该液体46，即使供给量少也喷出导入空气而不截断。
如图1和图2所示，喷嘴移动部5具有，配置在管支持部3两侧在Y方向中延伸的一对导轨50，沿图1中深侧导轨50配置的可旋转的螺杆轴51，固定于喷嘴4两端的驱动架52及从动架53。螺杆轴51由轴承57、58旋转自如地支持其两端，轴承57侧端部连结驱动电动机54。驱动架52上设有在导轨50上引导的直线轴承55，和与螺杆轴51啮合的螺母56。从动架53上设有在导轨50上导引的直线轴承55。
下面，说明上述结构的液体涂敷装置1的动作。
将涂敷对象的阴极射线管的保护玻璃部2安装于管支持部3，再将管支持部3安装于旋转驱动部10使其长度方向沿Y方向，打开阀35关闭阀36。由此，循环管31、32及喷嘴4内循环的掺有荧光体的液体经循环管31从桶34供给喷嘴4。由空气气压源将加压的空气供给喷嘴4。加压后的空气经空气导入部23从空气管30导入空气贮留部40，在此，导入在X方向中扩展的空气通路41。导入空气通路41的空气，通过整流板42时变成层流空气45，从狭缝20喷出。
另一方面，借助循环泵33从桶34经循环管31供给的掺有荧光体的液体，经液体导入部24贮留在液体贮留部43中并在X方向上扩展。然后，由层流空气吸出添加到该空气中的帘状液体46从狭缝20下方喷出。此时的流量随阴极射线管2的尺寸而异，大致在200-500cc/min之间。
喷出上述空气作为层流并开始喷出液体时，驱动电动机54使螺杆轴51旋转，使驱动架52在Y方向上移动，从而使喷嘴4在Y方向中移动。这样，喷嘴4一边喷出液体一边在Y方向上移动，从喷嘴4喷出的帘状液体46涂敷在阴极射线管的保护玻璃部2上。为喷吐掺有荧光体的液体取打开阀35关闭阀36的时间为同时，一边喷吐液体一边使喷嘴在Y方向上移动的时间随阴极射线管2的尺寸而异，大致为2秒。其后，同时关闭阀35和打开阀36。由此，掺有荧光体的液体在循环管31、32及喷嘴4内循环。
荧光体的液体的涂敷一结束，旋转驱动部10使管支持部3以40-50rpm的转速旋转，抑制液体向保护玻璃部2的中部流动，同时将未图示的加热器配置在保护玻璃2上部，如下文所述，进行曝光、显像，形成荧光体层。
如上所述，在层流喷出的气体45上添加厚度均匀的帘状液体46以平面状喷向保护玻璃部2，并使喷嘴4相对于保护玻璃2移动，从而能使液体涂敷在保护玻璃部2上并维持预定的膜厚。因此，通过调节液体喷吐量，就能抑制液体消耗并在短时间内形成涂敷不均匀性低的均匀的薄的涂膜。再有，因流量比较小，接触到保护玻璃部2时也不会出现气泡。再有，狭缝20的长度比阴极射线管的保护玻璃部2的宽度长，因此就能使喷嘴4相对于保护玻璃部2作一次移动就能将液体涂敷。
然后，通过众所周知的光刻(photolithograph)法，在预定位置上形成荧光体层后，上述工序全部重复3次，就能在保护玻璃部2的预定位置上形成如矩阵状的绿、蓝、红的3色荧光体层。
下面，参照图5说明保护玻璃部2上形成绿、蓝、红荧光体层的工序。
在图5的步骤100中，清洗保护玻璃部2，步骤101将用于构成点的光硬化性浆液(PVP)涂敷于保护玻璃部2内面的整个面上，步骤102曝光，固化需要处的PVP。接着在步骤103洗掉未固化处的PVP。结果，在保护玻璃部2上形成绿、蓝、红3色的荧光体层的地方形成点。接着，在步骤104，在含有点的保护玻璃层2的整个面上涂敷用于构成隔壁的黑色树脂液(DAG)，步骤105显影，冲洗掉点上的DAG。结果，在保护玻璃部2上，除形成绿、蓝、红3色荧光体层的地方以外，形成残留DAG层的黑色矩阵。
接着，步骤106在保护玻璃部2的整个面上涂敷含有绿色荧光体的荧光体液，再用加热器使绿色荧光体的湿膜干燥。步骤107，用曝光机和蔽光罩使光仅照射要形成绿色点或条形图的部位使之硬化。此时，未照射光的部位仍未硬化。接着在步骤108的显影过程中，当用水冲洗时，冲洗掉未固化处的绿色荧光体，而仅保留已硬化部分的图形，形成绿色荧光体层。接着，步骤109在保护玻璃部2的整个面上涂敷含有蓝色荧光体的荧光体液，再用加热器使蓝色荧光体的湿膜干燥。在步骤110，用曝光机和蔽光罩使光仅照射要形成蓝色点或条形图的部位使之硬化。此时，未照射光的部位仍未硬化。接着，在步骤111显影过程中，当用水冲洗时，冲洗掉未固化处的蓝色荧光体，而仅保留已硬化部分图形，形成蓝色的荧光体层。接着，步骤112在保护玻璃部2的整个面上涂敷含有红色荧光体的红色荧光体液，再用加热器使红色荧光体的湿膜干燥。步骤113，用曝光机和蔽光罩使光仅照射要形成红色点或条形图的部位使之硬化。此时，未照射光的部位仍未硬化。接着，步骤114的显影过程中，当用水冲洗时，冲洗掉未固化处的红色荧光体，而仅保留已硬化部分的图形，形成红色荧光体层。结果，在保护玻璃部2的PVA点上在预定位置上形成如矩阵状的绿色、蓝色和红色的荧光体层。
如上形成的荧光体层，厚度约100μm那么薄，并能均匀地形成在保护玻璃部上，因荧光体层厚度薄且均匀，所以能获得亮度不变白色质量高的阴极射线管。
在上述实施例中，其3色荧光体的涂敷工序使用液体涂敷装置1涂敷掺有荧光体的液体，但在PVP及DAG的涂敷工序中也可用液体涂敷装置1进行涂敷。
下面，参照图6至图8说明本发明第二实施例的液体涂敷装置。
如图6所示，液体涂敷装置1备有，能旋转支持如长宽比为4∶3的阴极射线管(CRT)的保护玻璃部2a的圆盘状管支持部3a，具有图7所示构成喷出部的狭缝20a并向保护玻璃部2a喷吐掺有荧光体液体的喷嘴4a，和使喷嘴4a在管支持部3a上作径向移动的喷嘴移动部5a。
管支持部3a为圆筒箱状部件，其下面安装有包括电动机的旋转驱动部10a。该管支持部3a备有适应阴极射线管保护玻璃部2a尺寸的形状，并装卸自如地安装于旋转驱动部10a上。按照喷嘴4a向外周侧移动时旋转速度渐渐下降来控制旋转驱动部10a，使作用于液体的离心力总是不变。即与喷出液体的喷出位置半径的平方成反比地控制旋转速度的减速。
管支持部3a上面四周形成有坡度的排出沟11a，用以排出剩余液体。排出沟11a最低位置上设有排出口12a，剩余液体从该排出口排到外部再被利用。管支持部3a中部形成大致矩形的安装孔13a，用于安装保护玻璃部12a。安装孔13a具有沿保护玻璃部2a外周的形状，其内周部安装有防止液体泄漏的密封部件14a。
喷嘴4a有与喷嘴4大致相同的内部结构，故省略其说明。但是，狭缝20a，如图8所示，4个倾斜在X方向上并排配置于喷嘴本体22a下面。狭缝20a的纵横比为5∶1。纵横比10∶1以下为好，5∶1以下更好。当纵横比在10∶1以下时，能以高速喷出更具帘状的液体。4个狭缝20配置得使相邻端部在X方向上重合。这4个狭缝20a的X方向整体长度短于保护玻璃部2a的宽度。喷嘴4a上，与喷嘴4相同，连接有空气管30a，循环管31a、32a，循环管31a、32a接续于循环泵33a。循环泵33a上连接着桶34a。
如上构成的喷嘴4a，狭缝20a的长度短，纵横比小，从而能喷出更稳定厚度的帘状液体。
喷嘴移动部5a，如图6和图7所示，具有，喷嘴4a安装于其前端沿X方向延伸的支持臂60，安装在臂60根部的移动架61，在X方向上引导移动架61的上下一对导轨62，和在导轨62之间沿导轨配置的螺杆轴63。移动架61上设有在导轨62上进行引导的直线轴承(未图示)，和与螺杆轴63啮合的螺母(未图示)。驱动电动机64连结于螺杆轴63的一端。
下面，说明上述结构的液体涂敷装置的动作。
将涂敷对象的阴极射线管的保护玻璃部2a安装于管支持部3a上，若管支持部3a安装于旋转驱动部10a上，则打开阀35a关闭阀36a。这样，循环管31a、32a及喷嘴4a内循环的荧光体液体，经过循环管31a，从桶34a供给喷嘴4a。空气气压源将加压的空气供给喷嘴4a。由此，帘状液体从下方喷出添加到各狭缝20a来的空气中。
如上所述，空气作为层流喷出并开始喷出液体时，驱动电动机64使螺杆轴63旋转使移动架61沿X方向(径向)移动，与此同时，旋转驱动部10a使管支持部3a旋转。结果如图7所示，喷嘴4a一边沿Y方向移动，一边按螺旋状将液体涂敷于保护玻璃部2a上。此时，随喷嘴4a向外周侧运行，旋转速度变慢，作用于液体的离心力基本不变，从而能抑制出现沙滩状等涂敷不均匀现象。
液体涂敷一结束，就将未图示的加热器配置于保护玻璃部2a上，与上述第一实施例一样，曝光、显影、形成荧光体层后，全部重复3次上述过程，保护玻璃部2a的预定位置上形成如矩阵状的绿、蓝、红3色荧光体层。
如上所述，一边使狭缝20a移动一边使保护玻璃部2a旋转，能够利用离心力以涡流状均匀进行液体涂敷，同时，一个狭缝20a的纵横比小，能够喷出更稳定的帘状液体，能够形成更均匀膜厚的涂膜。而且，涂敷对象的旋转速度渐渐减低使作用于涂敷液体的离心力均等，故涂敷后的液体易于均等展开，能进一步减小涂膜不均匀度。
如上形成的荧光体层，厚度可薄至100μm左右，且能均匀地形成在保护玻璃部上，由于荧光体层厚度薄，均匀，故能获得亮度不变、白色质量(white quality)高的阴极射线管。
下面，参照图9说明本发明第三实施例的液体涂敷装置。
如图9所示，涂膜形成装置1备有，可旋转吸着保持光盘基板2b的基板保持部3b，向保持在基板保持部3b上的光盘基板2b喷吐紫外线硬化树脂类处理液的喷嘴4b，将处理液供给喷嘴4b的处理液供给部7，使喷嘴4b从光盘基板2b中心侧向周边侧径向移动的喷嘴移动部5b，对基板保持部3b、处理液供给部7、及喷嘴移动部5b进行控制的控制部8。
基板保持部3b具有，吸着光盘基板2b旋转自如圆板状的基板保持台16，使基板保持台16旋转的基板旋转电动机17。在基板保持部3b周围配置着扣盖被保持光盘基板2b周围的罩18。
喷嘴4b，如图10所示，具有如7个直径渐渐增大的喷墨式喷出部15a-15g。这些喷出部15a-15g的孔径由周边侧增大的涂敷面积确定。各喷出部15a-15g在一方向中呈一列配置。该喷出部15a-15g的配列方向可在光盘基板2b的径向上，也可与径向交叉规定的角度。再有，光盘基板2b周边侧涂敷面积比中心侧大，故最小直径的喷出部15a配置于光盘基板2b的中心侧，而最大直径的喷出部15g配置于周边侧。
处理液供给部7，如可由可调节喷出量的定量喷出泵或加压后密闭的桶等构成。处理液供给部7将一定喷出量的处理液供给喷嘴4b，该一定喷出量取决于涂敷面积，处理时间，或膜厚。
喷嘴移动部5b，在如图9实线所示的起始位置和2点虚线所示的退避位置之间，使喷嘴4b在光盘基板2b的径向上移动。喷嘴移动部5b备有，喷嘴4b安装于其前端的臂部70，移动架71，上下一对导轨72，保持架73，螺杆轴74，移动电动机75。臂部70途中具有转动部70a，用于绕垂直轴调节喷嘴的安装姿势。移动架71安装于臂部70的根端。上下一对导轨72在水平方向中引导移动架71。保持架73保持导轨72的两端，同时旋转自如地支持螺杆轴74。螺杆轴74位于导轨72之间平行于导轨72配置着，其一端连结着移动电动机75。移动架71内安装有滑动自如地支持于导轨72的导轨轴承(未图示)。
控制部8由包含CPU、ROM、RAM等的微型计算机(以下简称为微机)构成。控制部8连接着处理液供给部7，基板旋转电动机17，移动电动机75，及其它输入输出部。控制部8还连接着包含操作开始用的起动键的输入键，及各种传感器，包括检测螺杆轴74的旋转位置或基板旋转电动机17的转速的传感器等。
下面，说明上述结构的液体涂敷装置1的动作。
初始设定时，喷嘴移动部5b将喷嘴4b移至2点虚线所示退避位置处，等待光盘基板2b装入基板保持台16上。一旦光盘基板2b安装于基板保持台16上，喷嘴移动部5b将喷嘴4b移至图9实线所示起始位置处，接通基板旋转电动机17，使光盘基板2b以一定转速旋转。接着，接通处理液供给部7，喷嘴4b向光盘基板2b喷吐处理液。然后，使喷嘴4b以一定速度朝光盘基板2b的周边侧移动。一旦喷嘴4b到达涂敷结束位置，就停止基板旋转电动机17，移动电动机75及处理液供给部7。其后，使处理液即紫外线硬化树脂硬化，在光盘基板2b上形成紫外线硬化树脂层。
因此，能够在短时间内在光盘基板上涂敷薄而均匀的紫外线硬化树脂，紫外线硬化树脂涂得薄，能缩短硬化时间，能短时间形成紫外线硬化树脂层，从而能以短时间获得形成有涂敷不均匀度低的均匀而薄的紫外线硬化树脂层的光盘。
下面，说明喷吐液体的喷嘴的实施例。
如图11及图12所示，液体涂敷用的喷嘴4备有第一块41和第二块42。
第一块41为断面大致T字形的长工件，纵边前端侧呈尖细状，具有沿内部长度方向延伸的液体贮留部43。液体贮留部43为沿喷嘴4长度方向延伸大的隧道。在液体贮留部43的底部(T形纵面前端部)，沿第一块41的长度方向形成由多个小孔44构成的内侧喷出部。
小孔44的列长度比涂敷对象最大尺寸即保护玻璃部(未图示)的纵或横向的长度都长，如可取600mm，也可取1000mm。
第二块42为断面大致U形的长工件，第一块41的横边前端面上密封使无气体流通，第一块41的外侧具有构成气体贮留部46的内部空间47。该内部空间47的底部，沿第二块长度方向形成由多个小孔48构成的外侧喷出部，小孔48形成在正对小孔44的位置上。
小孔48做得比小孔44大，使小孔44喷出的液体流容易通过小孔48内。小孔44、48的形状可任意，如可为圆孔，多边形孔，星形孔，不定形孔等种种形状。若从使喷出的液体流，气体流易于形成各自的旋转流考虑，取六边形孔较佳，细长孔更好，细长六边形孔还要好，因此喷嘴长度方向上细长的六边形孔为最好。
小孔44、48的大小任意，相邻小孔的中心距离如可为0.5-2mm左右，但考虑到喷出的液体到达涂敷对象表面横流相邻液体连接情况和易于涂敷均匀，最好取0.5-1mm。相邻小孔44的中心距离为1mm，对应于600mm的保持玻璃部，小孔44可作成600个，或对应于1000mm的保护玻璃部可作成1000个。
第一块41由，通过沿长度方向通过作为内侧喷出部小孔44宽度方向中心的铅垂面，被分割的2部分分割体41a、41b构成。第二块42由以上述同样分割方式分割的2部分分割体42a、42b构成。
气体贮留部46与小孔48之间设有气体通路49，将气体流整流为层流。
在上述喷嘴中，液体贮留部中的液体从内侧喷出部喷出，同时气体贮留部中的气体从外侧喷出部喷出，形成的气体流从外侧包围从内侧喷出部流下的线状或帘状的液体流。因此，液体流垂直流下在喷嘴的前后方向中无偏移，均匀到达涂敷对象的表面。内侧喷出部及外侧喷出部有小孔时，形成的气体流筒状包围线状液体流，因此，液体流在喷嘴前后方向或左右方向中无偏差，更容易笔直流下。
再有，如图13所示，喷嘴4c上部设有液体贮留部43c，其下端设有液体通路41c，连通于狭缝20c，液体通路41c两侧也可以设有一对整流部42c。该整流部42c连接着空气贮留部40c。
如上构成的喷嘴4c，空气以平板状从液体两侧喷出，帘状液体被空气挟持喷出。
如图14所示，喷嘴4d上部设有液体贮留部43d，其下端设有液体通路41d，连通于狭缝20d，液体通路41d途中可设有曲折90°的整流部42d。该整流部42d的结构使得不易扰乱液体的流动。该整流部42d连接于空气贮留部40d。
上述结构的喷嘴4d从空气两侧喷出帘状液体。
多个狭缝(喷出部)的设置不受限于上述第二实施例的配置，如图15所示，多个狭缝20b也可以在并行设置方向上相互间隔隔开使相邻狭缝20b的端部重复并行2列配置，其它配置也可以。但是，最好将相邻狭缝20b的端部重复配置。
在上述第一实施例中也可用具有多个狭缝(喷出部)的喷嘴，在上述第二实施例中也可用具有一个狭缝的狭缝喷嘴。
如上所述，在本发明的液体涂敷方法及装置中，由于液体添加到平面状喷出的气体中喷向涂敷对象，使喷嘴与涂敷对象相对移动，所以能将液体涂敷于对象而维持一定的膜厚。所以，通过调节液体喷出量，能抑制液体消耗，在短时间内形成涂敷不均匀度低的均匀的薄的涂膜。由于层流喷出气体，液体添加到气体中以帘状喷出，从而液体的喷出更稳定。
而且，沿某一方向配置比涂敷对象物在该方向中的长度更长的喷嘴，使上述喷嘴在与配置方向交差的方向上作直线相对移动，相对移动一次就能将液体涂敷于涂敷对象的整个面上，从而能进一步缩短涂敷时间。
喷嘴并排设置多个喷出部使整个长度比涂敷对象的一方向长度更长，沿上述一方向配置上述喷嘴，并在与配置方向交差的方向上使上述喷嘴作直线相对移动，能够一次相对移动将液体涂敷于涂敷对象物的整个面上，能进一步缩短涂敷时间，同时，因一个喷出部的纵横比小，能喷出更稳定的帘状液体，从而能形成更均匀膜厚的涂膜。
喷嘴，多个喷出部倾斜并排配置，或多个喷出部并排设置方向上相互间隔隔开排成2列配置，由多个较短的狭缝喷出气体及液体，因而即使使用狭缝间液体不中断的多个狭缝，也能高速形成均匀膜厚的涂膜。
再有，一边使涂敷对象物旋转移动，一边使喷嘴从上述涂敷对象的中心部向外周部移动，边移动喷嘴边旋转涂敷对象，从而能以旋涡状均匀涂敷液体。此外，喷嘴从中心部向外周移动期间，按照作用于已涂液体的离心力均等渐渐减低涂敷对象的旋转速度，使涂敷后的液体更易均等扩展，进一步减小涂膜的不均匀度。
再有，喷嘴并排设置多个喷出部使整个长度比涂敷对象一方向的长度短，随着使上述涂敷对象旋转移动，使上述喷嘴从上述涂敷对象中心部向外周部在喷出部并排设置的方向中移动，利用离心力能以旋涡状均匀涂敷液体，同时，一个喷出部的纵横比小，从而能喷出更稳定的帘状液体，能形成更均匀膜厚的涂膜。
本发明的阴极射线管制造方法，将喷嘴配置在保护玻璃部的对面，一边使上述保护玻璃部相对于上述喷嘴移动，一边向上述保护玻璃部喷出平面状气体，同时喷出掺有荧光体的液体添加到气体上进行涂敷，将荧光体层形成到上述保护玻璃部的预定位置上，因而，对于掺有荧光体的液体，即使供给量少，也可喷出而不会中断导入空气，能够在短时间内对保护玻璃部进行薄而均匀的涂敷，而且，涂敷的荧光体液体薄，干燥时间也能缩短，从而能短时间形成荧光体层，由于荧光体层厚度薄又均匀，从而能获得亮度不变、白色质量高的阴极射线管。
本发明的光盘制造方法，将喷嘴配置于光盘基板的对面，使上述光盘基板旋转移动，同时使喷嘴从上述光盘基板中部向外周部移动，与此同时，边向上述光盘基板喷出平面状气体，边喷出紫外线硬化树脂添加到气体上，在上述光盘基板上形成紫外线硬化树脂层，因而能在短时间内在光盘基板上涂敷薄而均匀的紫外线硬化树脂，由于紫外线硬化树脂涂得的薄，故也能缩短干燥时间，并在短时间内形成紫外线硬化树脂层，从而能在短时间内获导具有涂敷不均匀性低的薄而均匀的紫外线硬化树脂层的光盘。
本发明的喷嘴，具有在一方向上长的一个或多个喷出部。上述喷出部备有，平面状喷出气体作为层流的气体喷出部，喷出液体添加到上述气体喷出部喷出的气体的液体喷出部。液体添加到上述气体喷出部喷出的气体上喷出，将液体涂敷于涂敷对象，通过使液体喷出添加到平面状喷出的气体，并使喷出部相对于涂敷对象移动，从而能以一定膜厚将液体涂敷于涂敷对象。因此，通过调节液体喷出量，就能抑制液体消耗并在短时间内形成涂敷不均匀性低的均匀而薄的涂膜。
喷出部其两端部比其它部分宽，两端部中流量增大，不易产生因两端部中表面张力影响而引起的尖细状态，故能喷出更为矩形的帘状液体。
由于是从比涂敷对象一方向长度更长的一个或多个喷出部喷出气体及液体，故能相对移动一次就能将液体涂敷于涂敷对象的整个面上，进一步缩短了涂敷时间。在喷出部为多个情况下，一个喷出部的纵横比小，故能喷出更稳定的帘状液体，形成的涂膜的膜厚更均匀。
再有，由于是从比涂敷对象一方向长度更短的一个或多个喷出部喷出气体及液体，借助涂敷对象的旋转和向喷嘴喷出部形成方向的移动，故能利用离心力以涡流状均匀地涂敷液体。在喷出部为多个情况下，一个喷出部的纵横比小，故能喷出更稳定的帘状液体，形成更均匀膜厚的涂膜。
再有，由于从喷出的液体两侧喷出平面状气体，故能使喷出的液体更具帘状，形成更均匀膜厚的涂膜。由于从喷出气体两侧喷出液体，故液体的流量大，能以更短时间涂敷液体。
再有，气体通路中配置有整流部，故能确保导入气体的导入部中的紊流气体形成层流。
由于借助液体通路连通导入液体的液体导入部和整流部下流侧的气体通路，故能确保液体沿层流气体走行。
权利要求
1.一种液体涂敷方法，其特征在于，包含从配置于涂敷对象物对面的喷嘴向上述涂敷对象物一边喷出平面状气体一边喷出液体添加于上述气体的喷出工序；一边喷出液体一边使上述涂敷对象物相对于上述喷嘴移动的相对移动工序。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在上述喷出工序中，喷嘴喷出的气体为层流。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在相对移动工序中，沿一方向配置有比涂敷对象物一方向长度更长的喷嘴，使上述喷嘴在与配置方向交差的方向上作直线相对移动。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述喷嘴，并排设置多个喷出部使整体长度比涂敷对象物一方向长度长，在相对移动工序中，使上述喷嘴沿上述一方向配置，并使上述喷嘴在与配置方向交叉的方向中作直线相对移动。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述喷嘴将多个喷出部倾斜并排配置。
6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述喷嘴将多个喷出部在并排设置方向上相互以间隔隔开并排2列配置。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在相对移动工序中，使涂敷对象物旋转移动，同时使喷嘴从上述涂敷对象物中心部向外周部移动。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，在相对移动工序中，喷嘴从中心部移向外周部期间，渐渐减低涂敷对象物的旋转速度使得作用于已涂敷液体的离心力均等。
9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，喷嘴并排设置多个喷出部，使整体长度比涂敷对象物一方向长度短，在相对移动工序中，使上述涂敷对象物旋转移动，同时使上述喷嘴在并排设置方向上从上述涂敷对象物中心部向外周部移动。
10.一种阴极射线管的制造方法，其特征在于，将喷嘴配置在保护玻璃部的对面，使上述保护玻璃部相对于上述喷嘴相对移动，同时一边向上述保护玻璃部喷出平面状气体，一边喷出掺有荧光体的液体添加到气体进行涂敷，在上述保护玻璃部的预定位置处形成荧光体层。
11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，可进一步包含将用于构成点的光硬化性浆液涂敷于保护玻璃部上曝光后显影形成点的工序；涂敷用于构成隔壁的黑色树脂液、显影、形成黑色矩阵的工序；涂敷掺有绿色荧光体的液体、曝光、在预定部位硬化后用水冲洗、在上述点上预定位置处形成绿色荧光体层的工序；涂敷掺有蓝色荧光体的液体、曝光、在预定部位硬化后用水冲洗、在上述点上预定位置处形成蓝色荧光体层的工序；涂敷掺有红色荧光体的液体、曝光、在预定部位硬化后用水冲洗、在上述点上预定位置处形成红色荧光体层的工序，在涂敷至少掺有3色荧光体的液体的工序中，使上述保护玻璃部对面的喷嘴相对于上述保护玻璃部移动，同时，一边向上述保护玻璃部喷出平面状气体，一边喷出掺有荧光体的液体添加到气体进行涂敷。
12.一种光盘制造方法，其特征在于，将喷嘴配置于光盘基板对面，随着使上述光盘基板旋转移动使喷嘴从上述光盘基板中心部向外周部移动，同时，一边向上述光盘基板喷出平面状气体一边喷出紫外线硬化树脂添加到气体，在上述光盘基板上形成紫外线硬化树脂层。
13.一种液体涂敷装置，其特征在于，备有喷嘴；和使上述喷嘴在涂敷对象物上相对于该涂敷对象物移动的相对移动手段，所述喷嘴具有向上述涂敷对象物喷出平面状气体的气体喷出部，和喷出液体添加到上述气体喷出部喷出的气体的液体喷出部。
14.如权利要求13所述的装置，其特征在于，可进一步备有将液体循环供给液体喷出部的液体供给部。
15.如权利要求13所述的装置，其特征在于，所述气体喷出部从喷嘴向涂敷对象物喷出的气体为层流。
16.如权利要求13所述的装置，其特征在于，所述喷嘴沿涂敷对象物一方向配置，具有比所述涂敷对象物一方向长度长的一个喷出部，所述相对移动手段使所述喷嘴在与配置方向交差的方向上作直线相对移动。
17.如权利要求13所述的装置，其特征在于，所述喷嘴沿涂敷对象物一方向配置，并排设置有多个喷出部使整个长度比所述涂敷对象物一方向长度长，所述相对移动手段使喷嘴在与配置方向交差的方向上作直线相对移动。
18.如权利要求17所述的装置，其特征在于，所述喷嘴倾斜并排配置多个喷出部。
19.如权利要求17所述的装置，其特征在于，所述喷嘴在并排设置方向上相互以间隔隔开并排配置2列多个喷出部。
20.如权利要求13所述的装置，其特征在于，所述相对移动手段可备有使喷嘴从涂敷对象物中心部向外周部移动的第一移动手段，和使所述涂敷对象物旋转的旋转移动手段。
21.如权利要求20所述的装置，其特征在于，所述旋转移动手段在喷嘴从中心部向外周部移动期间渐渐减低所述涂敷对象物的旋转速度，使得作用于已涂敷液体的离心力均等。
22.如权利要求13所述的装置，其特征在于，所述喷嘴并排设置多个喷出部使整体长度比涂敷对象物一方向长度短，所述相对移动手段备有，使所述喷嘴在喷出部的并设方向上从所述涂敷对象物中部向外周部移动的第二移动手段，和使所述涂敷对象物旋转的旋转移动手段。
23.一种喷嘴，其特征在于，具有一方向上长的一个或多个喷出部，所述喷出部备有平面状喷出层流气体的气体喷出部；喷出液体添加到所述气体喷出部喷出的气体的液体喷出部，使液体喷出添加到所述气体喷出部喷出的气体将液体涂敷于涂敷对象物上。
24.如权利要求23所述的喷嘴，其特征在于，所述喷出部其两端比其它部分宽。
25.如权利要求23所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴具有一个喷出部，该喷出部的长度比涂敷对象物一方向长度长。
26.如权利要求23所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴具有一个喷出部，该喷出部的长度比涂敷对象物一方向长度短。
27.如权利要求23所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴具有多个喷出部，该喷出部的整体长度比涂敷对象物一方向长度长。
28.如权利要求27所述的喷嘴，其特征在于，多个喷出部倾斜并排配置。
29.如权利要求27所述的喷嘴，其特征在于，多个喷出部在并排设置方向上相互间隔隔开排列配置成2列。
30.如权利要求23所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴具有多个喷出部，该喷出部整体长度比涂敷对象物一方向长度短。
31.如权利要求30所述的喷嘴，其特征在于，所述多个喷出部倾斜并排配置。
32.如权利要求30所述的喷嘴，其持征在于，所述多个喷出部在并设方向上相互间隔隔开并排配置成2列。
33.如权利要求23所述的喷嘴，其特征在于，所述气体喷出部从液体喷出部喷出的液体两侧喷出平面状气体。
34.如权利要求23所述的喷嘴，其特征在于，所述液体喷出部从气体喷出部喷出的气体两侧喷出液体。
35.如权利要求23所述的喷嘴，其特征在于，所述气体喷出部备有，导入气体的导入部，连接所述气体导入部与喷出部的气体通路，和配置于所述气体通路中的整流部。
36.如权利要求23所述的喷嘴，其特征在于，所述液体喷出部备有，导入液体的液体导入部，贮留所述液体导入部导入的液体的液体贮留部，和连通所述液体导入部与整流部下流侧气体通路的液体通路。
全文摘要
本发明的液体涂敷方法是由配置在阴极射线管的保护玻璃部2对面的喷嘴4一边向保护玻璃部2喷出平面状气体，一边喷出荧光体液体添加到气体，同时，一边喷出荧光体液体一边使保护玻璃部2相对于喷嘴4移动，上述方法能抑制液体消耗，短时间内形成薄的涂膜，而且不易出现涂敷不均匀。
文档编号B05D1/26GK1147688SQ9610533
公开日1997年4月16日 申请日期1996年5月24日 优先权日1995年5月24日
发明者中裕之, 三谷真人, 中岛和人, 外园信贵 申请人:松下电器产业株式会社