油性金刚石研磨液的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及表面超精研磨技术领域，特别设及一种油性金刚石研磨液。
【背景技术】
[0002] 超精密加工是现代尖端产业重要的生产技术，其不仅要求高精度、高质量，而且要 求低成本和高的再现性。而超精密研磨抛光由于具有独特的加工原理和对加工设备、环境 因素要求不高等特点，可W实现纳米级甚至原子级的加工，已成为超精密加工技术中的一 个重要部分，实现超精密研磨抛光的关键材料是精密研磨制品。目前，用磨粒去除材料的去 除单位已达到纳米甚至是亚纳米数量级，要达到运样高的表面光洁度，可W使用含有磨料 的研磨液，或者使用磨料固定在薄膜上的抛光膜，分粗磨、中磨、精磨、抛光等数步进行，也 可W把研磨液和抛光膜结合起来交叉使用。
[0003] 金刚石微粉具有硬度高和耐腐蚀等优点，成为精密研磨制品的首选原料。在研磨 液行业，在研磨部分器件比如高含钻量的计算机磁头的研抛、研磨盘采用铸铁盘的研磨体 系等，若用水性的抛光液会使其材料表面或研磨盘受到腐蚀，所W油性纳米金刚石抛光液 的研制显得非常迫切。
[0004] 本发明就是为了提供一种新的油性纳米金刚石抛光液。
【发明内容】
[0005] 本发明的主要目的在于提供一种油性金刚石研磨液。
[0006] 本发明通过如下技术方案实现上述目的：一种油性金刚石研磨液，该研磨液由金 刚石微粉、软化剂、馨合剂、表面活性剂W及烧控类溶剂组成，各成分的重量百分含量为：
[0007] 金刚石微粉：0.5-2%;
[0008]偶联剂：0. 002-0. 04%;
[0009]软化剂：0.1-1%;
[0010]馨合剂：0.2-5%;
[0011] 表面活性剂：〇. 4-25% ;
[0012] 其余为烧控类溶剂。
[0013] 具体的，所述金刚石微粉粒度为0. 5-1μm。。
[0014] 具体的，所述软化剂为有机酸或有机碱中的一种。
[0015] 进一步的，所述有机酸为酒石酸、硬脂酸、油酸、亚油酸或月桂酸中的一种。
[0016] 进一步的，所述有机碱为Ξ乙胺、化晚、环己胺或赃晚中的一种。
[0017] 具体的，所述馨合剂为NTA或邸TA。
[001引具体的，所述表面活性剂为非离子表面活性剂。
[0019] 具体的，所述非离子表面活性剂为烷基酪聚氧乙締酸、高碳脂肪醇聚氧乙締酸、月旨 肪酸聚氧乙締醋、脂肪酸甲醋乙氧基化物、失水山梨醇醋中的一种或多种的混合物。
[0020] 具体的，所述烧控类溶剂为白油或石脑油中的一种。
[0021] 采用上述技术方案，本发明技术方案的有益效果是：
[0022] 1、经改性的小粒径金刚石分散性能好，能够长久保持状态稳定；
[0023] 2、软化剂可使金属表面氧化膜软化，使之容易被研磨去除；
[0024] 3、馨合剂能使研磨下来的金属被转化为馨合物，抑制其再附着金属表面，提高研 磨精度。
【具体实施方式】
[0025] 下面结合具体实施例对本发明作进一步详细说明。
[0026] 该油基金刚石研磨液的制备方法如下：
[0027] 1)按配比将表面活性剂加入烧控类溶剂中，充分揽拌5分钟，使表面活性剂均匀 分散于烧控类溶剂中的溶液；
[002引。按配比将粒度为0. 5-1μm的金刚石微粉加入上述溶液中，充分揽拌并超声分 散12分钟，制成对金刚石微粉表面有改性效果的分散液；
[0029] 3)按配比将软化剂和馨合剂加入上述分散液中，超声且继续揽拌至粘度达到 101-103m/化.S后得到油基纳米金刚石抛光液。
[0030] 小粒径金刚石比表面积大，经改性后分散性能好，能够长久保持状态稳定；软化剂 可使金属表面氧化膜软化，使之容易被研磨去除；馨合剂能使研磨下来的金属被转化为馨 合物，抑制其再附着金属表面，提高研磨精度。
[0031] 参照W上方法，通过改变不同组分配比制备得到的油基金刚石研磨液对2寸的初 始粗糖度28-30皿的L邸衬底片进行抛光效果测试，抛光压力为化奸，转速为60rpm/min， 抛光时间为lOmin，研磨液流量为2ml/min。
[0032] 各实施例组分配比及抛光效果如下表，从表上可W看出抛光处理后表面粗糖度能 够达到4. 723-5. 832皿，抛光效率达到1. 52-2. 25ym/min。
[0033]
[0034]
[0035] W上所述的仅是本发明的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不 脱离本发明创造构思的前提下，还可W做出若干变形和改进，运些都属于本发明的保护范 围。
【主权项】
1. 一种油性金刚石研磨液，其特征在于：该研磨液由金刚石微粉、软化剂、螯合剂、表 面活性剂以及烷烃类溶剂组成，各成分的重量百分含量为： 金刚石微粉：〇. 5-2% ; 软化剂：〇. 1-1% ; 螯合剂：0.2-5% ; 表面活性剂：〇. 4-25% ; 其余为烷烃类溶剂。2. 根据权利要求1所述的油性金刚石研磨液，其特征在于：所述金刚石微粉粒度为 0. 5-1μm〇3. 根据权利要求1所述的油性金刚石研磨液，其特征在于：所述软化剂为有机酸或有 机碱中的一种。4. 根据权利要求3所述的油性金刚石研磨液，其特征在于：所述有机酸为酒石酸、硬脂 酸、油酸、亚油酸或月桂酸中的一种。5. 根据权利要求3所述的油性金刚石研磨液，其特征在于：所述有机碱为三乙胺、吡 啶、环己胺或哌啶中的一种。6. 根据权利要求1所述的油性金刚石研磨液，其特征在于：所述螯合剂为NTA或EDTA。7. 根据权利要求1所述的油性金刚石研磨液，其特征在于：所述表面活性剂为非离子 表面活性剂。8. 根据权利要求1所述的油性金刚石研磨液，其特征在于：所述非离子表面活性剂为 烷基酚聚氧乙烯醚、高碳脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯酯、脂肪酸甲酯乙氧基化物、 失水山梨醇酯中的一种或多种的混合物。9. 根据权利要求1所述的油性金刚石研磨液，其特征在于：所述烷烃类溶剂为白油或 石脑油中的一种。
【专利摘要】本发明属于表面超精研磨技术领域，涉及一种油性金刚石研磨液，该研磨液由金刚石微粉、软化剂、螯合剂、表面活性剂以及烷烃类溶剂组成。本发明改性金刚石微粒分散性能好，长久稳定，软化剂具有软化金属表面氧化膜效果，研磨效率高，螯合物能防止研磨下来的金属再附着金属表面，研磨精度高。
【IPC分类】C09K3/14, C09G1/02
【公开号】CN105368324
【申请号】CN201510888450
【发明人】王国祥
【申请人】苏州博洋化学股份有限公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年12月7日