腔室盖装置、传送腔室装置以及用于提升盖的装置的制作方法

本公开的实施例大体涉及在用于处理基板的系统中利用的传送腔室。更具体而言，本文所述的实施例涉及传送腔室盖以及与所述传送腔室盖相关联的致动器。

背景技术：

有机发光二极管(OLED)用于制造用于显示信息的电视机屏、计算机监视器、移动电话等。典型的OLED可以包括位于两个电极之间的诸个有机材料层，这些层全都以形成具有单独可供能的像素的矩阵显示面板的方式被沉积在基板上。OLED一般被置于两个玻璃面板之间，并且密封这两个玻璃面板边缘以在其中封装OLED。

随着市场对平板技术的接受，对更大的显示器、增加的产量以及更低的制造成本的需求已驱使设备制造商为平板显示器制造方开发适应更大尺寸的玻璃基板的新系统。另外，以高效且具有成本效益的方式维护各种系统部件的能力可有助于改善与操作此类设备相关联的成本。然而，由于采用了此类大型设备来处理大面积基板，因此，此类系统的接取和维护变得耗时且困难。例如，为了移除传送腔室的盖以提供进行清洁和维护的通路，就需要升降架(crane)。升降架的必要性是对于可构造制造设施所具有的灵活性的额外成本，并且通常限制了可构造的制造设施所具有的灵活性。另外，设备的增加的尺寸可能阻碍升降架的操作。

因此，本领域中需要用于传送腔室的改进的盖和致动器组件。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种腔室盖装置、传送腔室装置以及用于提升盖的装置，其可解决上面提及的所有技术缺陷。

在一个实施例中，提供腔室盖装置。所述腔室盖装置可以包括：盖体；一个或多个臂，所述一个或多个臂耦接至所述盖体；以及一个或多个齿轮箱，所述一个或多个齿轮箱通过一个或多个第一轴耦接至所述一个或多个臂。电机还可通过一个或多个第二轴耦接至所述一个或多个齿轮箱。

较佳地，所述盖体是矩形圆顶状结构。更较佳地，所述盖体耦接有一个或多个角撑构件，并且所述一个或多个角撑构件被配置成在结构上加强所述圆顶状结构；或者，所述盖体包含铝材。

较佳地，所述一个或多个臂通过一个或多个支架耦接至所述盖体。

较佳地，所述一个或多个第一轴包括轴承组件，所述轴承组件配置成允许所述一个或多个臂相对于所述一个或多个第一轴转动。

较佳地，所述一个或多个齿轮箱包括多个齿轮，所述多个齿轮配置成在所述一个或多个第二轴与所述一个或多个第一轴之间转换转动力。

较佳地，所述装置进一步包括：一个或多个销构件，所述一个或多个销构件穿过所述一个或多个臂而设置。

较佳地，所述装置进一步包括：指示器销支架，所述指示器销支架耦接至所述盖体的外围处。

在另一实施例中，提供传送腔室装置。所述传送腔室装置可以包括：腔室体，所述腔室体在其中限定有容积；以及盖，盖可转动地耦接所述腔室体。一个或多个撑杆构件可邻近盖耦接至所述腔室体，并且一个或多个臂可耦接至盖和所述腔室体。一个或多个齿轮箱可以通过一个或多个第一轴耦接至所述一个或多个臂，并且电机可以通过一个或多个第二轴耦接至所述一个或多个齿轮箱。

较佳地，盖是包含铝材的矩形圆顶状结构。

较佳地，所述一个或多个臂通过一个或多个第一支架耦接至所述盖。更较佳地，所述一个或多个臂通过一个或多个第二支架耦接至所述腔室体。还要较佳地，所述一个或多个臂从所述一个或多个第二支架，通过所述一个或多个撑杆构件中的至少一个而延伸至所述一个或多个第一支架。

较佳地，所述装置进一步包括：传感器，所述传感器耦接至所述腔室体。更较佳地，所述装置进一步包括：指示器销，所述指示器销耦接至盖体的外围处，所述指示器销配置成与所述传感器对接并接触所述传感器。

较佳地，所述一个或多个齿轮箱包括多个齿轮，所述多个齿轮配置成在所述一个或多个第二轴与所述一个或多个第一轴之间转换转动力。

较佳地，盖配置成从与所述腔室体接触的第一位置转动至从所述第一位置偏离150°的第二位置。更较佳地，所述一个或多个第一轴限定盖的转动轴。

在又一实施例中，提供用于提升盖的装置。所述装置可以包括耦接至多个第一支架和多个第二支架的多个臂。多个第一轴可以通过所述多个第二支架耦接至所述多个臂，并且多个齿轮箱可耦接至所述多个第一轴。一个或多个第二轴可耦接至所述多个齿轮箱，并且电机可耦接至所述一个或多个第二轴。

附图说明

因此，为了详细地理解本公开的上述特征结构的方式，可以通过参照实施例来获取对上文简要概述的本公开的更具体的描述，在所附附图中示出实施例中的一些。然而，应当注意，所附附图仅示出示例性的实施例，并且因此不应被视为限制本公开的范围，因为本公开可以允许其他等效实施例。

图1示出处理系统中的传送腔室的示意性平面图。

图2示出传送腔室的平面图。

图3示出图2的传送腔室的侧视图。

图4示出传送腔室盖和致动器组件的部分侧视图。

图5示出图4的传送腔室盖的内部的立体图。

图6示出指示器销和传感器的侧视图。

为了便于理解，在可能的情况下，已使用了完全相同的附图标记来指定各图所共有的完全相同的元件。构想了一个实施例的元件和特征可有益地并入其他实施例，而无需进一步叙述。

具体实施方式

本公开的实施例涉及传送腔室，所述传送腔室具有盖和致动器组件。所述盖能够可转动地耦接至所述传送腔室，并且所述致动器组件可将所述盖打开和关闭以允许进出所述传送腔室的内部。所述致动器组件一般包括支架(bracket)，所述支架将臂耦接至所述盖和所述腔室体。多个轴以及齿轮箱可耦接在所述臂与电机之间。所述电机可转动所述轴以打开和关闭所述盖。还公开了用于确定盖位置的传感器。

图1示出处理系统100中的传送腔室102的示意性平面图。处理系统100一般可配置成用于在显示器型基板上制造OLED器件。传送腔室102可居中地定位在处理系统100内，并且多个处理腔室108可耦接至传送腔室102。负载锁定腔室104也可耦接至传送腔室102，并且负载锁定腔室104可配置成可操作地耦接至工厂接口106。

负载锁定腔室104可耦接至真空生成装置(未示出)，并且生成与传送腔室102内维持的环境类似的压力环境。在操作中，可将基板从工厂接口106传送至负载锁定腔室104，并且随后传送进传送腔室102中。传送腔室102内的机械臂可往返于耦接至传送腔室102的一个或多个处理腔室108来传送基板。在一个实施例中，传送腔室102可以是八边形的。虽然示出五个处理腔室108，但是构想了更多或更少数量的处理腔室108可耦接至传送腔室102。在某些实施例中，掩模腔室(未示出)也可耦接至传送腔室102。

图2示出传送腔室102的平面图。传送腔室102包括腔室体204，所述腔室体204限定位于其中的容积。盖206能够可转动地耦接腔室体204。盖206可以主要为矩形形状，然而，构想了可利用其他形状。盖206的至少部分可以是圆顶形(参照图5更详细地示出)，并且角撑(gusset)构件210可耦接至圆顶状部分以改善盖206的结构完整性。在一个实施例中，盖206可由铝材制造，然而，构想了也可利用其他材料，诸如，不锈钢。一般来说，为盖206和腔室体204的制造而选择的材料可以是相同的材料。

一个或多个撑杆(brace)构件208还可耦接腔室体204。撑杆构件208可以邻近盖206线性地设置。在一个实施例中，撑杆构件208可设置在盖206的任一侧。例如，可邻近矩形形状的盖206的长侧来设置撑杆构件208。撑杆构件208可配置成用于改善腔室体204的结构完整性，在盖206的打开和关闭期间尤其如此。在一个实施例中，撑杆构件208可由铝材形成，然而，构想了也可利用其他合适的材料。

致动器组件202可耦接在腔室体204与盖206之间。致动器组件202一般包括一个或多个第一支架214、一个或多个臂212、一个或多个第一轴220、222、一个或多个齿轮箱216、一个或多个第二轴224以及电机218。一个或多个第一支架214可耦接至盖206。第一支架214可通过多个紧固构件(诸如，螺杆或螺栓等)耦接至盖206。第一支架214还可耦接至一个或多个臂212。臂212可由任何合适的装置(诸如，通过焊接等)来紧固至第一支架214。臂212可以从第一支架214延伸至一个或多个第二支架406，将参考图4更详细地描述这一个或多个第二支架406。臂212能够可转动地耦接至一个或多个第一轴220、222。第一轴220、222可以延伸穿过臂212，并且臂212可相对于这一个或多个第一轴220、222转动。在一个实施例中，第一轴220、222可与轴承对接，这些轴承配置成允许第一轴220、222以及由此的臂212围绕第一轴220、222的中心线转动。

第一轴220、222还可耦接至一个或多个齿轮箱216。齿轮箱216可耦接至腔室体204和/或撑杆208中的一个。齿轮箱216可以容纳多个齿轮，在转动这些齿轮时，这些齿轮在第一轴220、222上施加转动力。该齿轮箱还可耦接至一个或多个第二轴224。第二轴224可耦接至电机218，该电机218配置成转动第二轴224。在操作中，电机218可在第二轴224上生成转动力。第二轴224的转动力可转换到齿轮箱216内容纳的多个齿轮。这些齿轮可进一步将转动力转换到第一轴220、222上。第一轴220、222随后可将转动力转换到臂212，取决于所期望的操作，这可使盖206打开或关闭。

图3示出图2中示出的传送腔室102的侧视图。盖206示出为处于关闭的位置。盖206的圆顶形状也在图3中更清楚地示出。可由致动器组件202将处于闭合位置的盖206打开至图4中所示的打开的位置。

图4示出盖206和致动器组件202的部分侧视图，其中盖206处于打开的位置。致动器组件202可配置成将盖206从关闭的位置(在图3中示出)移至打开的位置。在一个实施例中，可将处于打开的位置的盖206从闭合的位置转动约100°与约180°之间的角度，诸如，约150°。盖206可围绕由一个或多个第一轴220、222限定的轴转动。能够将盖206转动成超过垂直于该盖的闭合的位置的位置的能力提供了通过设施升降架进行的改善的清洁。因此，当盖206处于打开的位置时，制造设施升降架可围绕设施自由地移动。

上文所提到的一个或多个第二支架406可耦接至腔室体204和/或撑杆构件208。第一轴220、222可延伸穿过第二支架406，使得臂212可耦接至第一轴220、222。在一个实施例中，第二支架406可以包括止挡构件404。止挡构件404可耦接至第二支架406，并且可以具有配置成接触臂212的至少一个斜切或倒角的边缘。在一个实施例中，止挡构件404定位成使得当盖206处于打开的位置时，臂212接触该止挡构件404。

销构件402也可耦接至臂212。销构件402可以延伸穿过第二支架406，并且可配置成当盖206处于打开的位置时，将臂212锁定在适当的位置。在一个实施例中，销构件402可以是由弹簧加载的，使得当盖206处于打开的位置时，销构件402可以接合第二支架406中形成的孔(未示出)。销构件402可以延伸穿过第二支架的孔，并且将臂212锁定在适当的位置。可以选择性地使销构件402脱离，以便允许致动器组件202将盖206返回至关闭的位置。

指示器销支架408也可耦接至盖206。指示器销支架408可由各种耦接装置(诸如，通过螺杆、螺栓/螺母、以及焊接等)紧固至盖206的外围处。指示器销支架408可以延伸超过盖206的外围，使得指示器销608(参见图6)可以接合传感器组件602。

图5示出盖206的内部的立体图。如先前所提及，盖206可以包括可由盖206的内表面502限定的圆顶状部分。一般来说，在基板的传送和处理期间，传送腔室被维持在真空下。因此，盖206必须能够在结构上耐受高真空度。多个桁架(truss)构件504可沿内表面502横跨盖206的内部。桁架构件504可在矩形形状的盖206的长侧之间延伸，并且桁架构件504可耦接至内表面502并与该内表面502接触。在一个实施例中，桁架构件504可焊接至内表面502。一个或多个孔506可形成在桁架构件504中的每一个桁架构件中。孔506可以减少盖206的重量，这可提供由致动器组件202对盖206的改进的打开和关闭操作。

图6示出指示器销支架408和传感器组件602的侧视图。如先前所提及，指示器销支架408耦接至盖206，并且延伸超过盖206的外围。接头(joint)构件606可耦接至指示器销支架408，并且指示器销608可从接头构件606延伸。在一个实施例中，接头构件606可以容纳耦接至指示器销608的弹簧(未示出)。

块构件604可耦接至腔室体204，并且传感器组件602可耦接至块构件604。块构件可配置成定位传感器组件602以接收指示器销608。传感器组件602可以包括传感器610，诸如，接近度传感器，该传感器被配置成感测指示指示器销608相对于盖206的位置的度量。如图6所示，盖206位于闭合的位置，并且指示器销608完全设置在传感器610内。当指示器销608接合传感器610时，信号可发送至传送腔室控制装置。该信号可提供盖206被正确地定位的指示以进行真空操作。当由致动器组件202提升盖206时，指示器销608可以移离传感器610。另外，盖206从闭合的位置处略微位移的量也可由传感器610检测。因此，传感器组件602可将指示盖206处于用于真空操作的所需位置的信号提供给传送腔室控制装置。

总而言之，该传送腔室致动器组件可允许以高效的方式来打开和关闭传送腔室盖。可打开和关闭盖以允许对传送腔室的维护通路。盖可打开至允许更有效地使用升降架的位置。因此，腔室停机时间可以减少，这有助于对其中利用传送腔室的处理系统的产量的改善。

尽管上述内容是针对本公开的实施例，但也可设计本公开的其他和进一步的实施例而不背离本公开的基本范围，并且本公开的范围由所附权利要求书来确定。