衬底容器及用于密封该衬底容器的衬圈的制作方法

文档序号:11466405阅读:来源:国知局
技术总结
本申请涉及衬底容器及用于密封该衬底容器的衬圈。一种具有改进的传导的衬圈和衬底容器。在一个实施例中,所述衬圈提供两条密封接触线。所述衬圈的凸缘部分提供第一密封接触线,并且提供与软衬圈材料的牢固但是半刚性的介接,其还可充当所述衬底容器的门与壳层之间的压缩止动器。还可通过从所述凸缘部分在前向方向上径向向外延伸的柔性顶端结构提供第二密封线。已显示所述双重密封件相比常规衬底容器使泄漏速率降低三倍到四倍。

技术研发人员:克里斯多福·N·贝尔帝;马修·A·富勒
受保护的技术使用者:恩特格里斯公司
文档号码:201621359918
技术研发日:2016.12.12
技术公布日:2017.08.22

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