一种基板传送装置的制作方法

文档序号:12387519阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基板传送装置,其特征在于,包括多个基板传送单元,每个基板传送单元包括:

转轴;

套设于所述转轴外侧的多个滚轮组件,所述滚轮组件包括滚轮以及与所述滚轮固定连接的滚轮辅助结构,所述滚轮辅助结构在转轴的长度方向凸出于所述滚轮且沿所述转轴的径向方向可伸缩;

紧固装置,套设于所述滚轮辅助结构外侧,以使所述滚轮组件与所述转轴保持相对固定。

2.如权利要求1所述的基板传送装置,其特征在于,所述滚轮辅助结构包括弹性滚轮辅助结构。

3.如权利要求1所述的基板传送装置,其特征在于,所述滚轮辅助结构为套设于所述转轴外侧的第一柱状圆环,所述第一柱状圆环沿其长度方向上具有豁口。

4.如权利要求2或3所述的基板传送装置,其特征在于,所述紧固装置包括套设于所述滚轮辅助结构外侧的第二柱状圆环以及紧固件,所述第二柱状圆环设置有固定孔,所述紧固件穿过所述定位孔,以紧固所述滚轮辅助结构。

5.如权利要求4所述的基板传送装置,其特征在于,所述定位孔为相对于所述豁口对称设置的两个螺纹孔,所述紧固件包括螺钉和螺母,所述螺钉穿过所述螺纹孔与所述螺母螺纹连接,以紧固所述滚轮辅助结构。

6.如权利要求2或3所述的基板传送装置,其特征在于,所述紧固装置包括套设于所述滚轮辅助结构外侧的第一卡合部和第二卡合部,所述第一卡合部与第二卡合部卡合连接,以紧固所述滚轮辅助结构。

7.如权利要求6所述的基板传送装置,其特征在于,所述第一卡合部具有卡口,所述第二卡合部具有卡扣,所述卡口与所述卡扣卡接;或者

所述第一卡合部具有卡扣,所述第二卡合部具有卡口,所述卡扣与所述卡口卡接。

8.如权利要求1所述的基板传送装置,其特征在于,所述滚轮与所述滚轮辅助结构为一体结构。

9.如权利要求1所述的基板传送装置,其特征在于,还包括用于驱动转轴转动的驱动电机。

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