一种硅片传送导向装置的制作方法

技术特征：

1.一种硅片传送导向装置，包括传送机构(3)，其特征在于：所述传送机构(3)的两侧均设有水平位移调节机构(1)，两个所述水平位移调节机构(1)上均设有高度调节机构(2)，每个所述水平位移调节机构(1)均带动与其对应的高度调节机构(2)向所述传送机构(3)靠近或者远离，所述高度调节机构(2)包括高度调节导向座(4)和导向条(5)，所述高度调节导向座(4)固定安装于水平位移调节机构(1)上，所述导向条(5)安装于高度调节导向座(4)上，两个所述导向条(5)分别位于所述传送机构(3)的两侧，所述高度调节导向座(4)上开设有竖直的卡槽B，所述高度调节导向座(4)上从上到下开设有多个卡槽A(6)，多个所述卡槽A(6)通过卡槽B连通，所述卡槽B和所述导向条(5)配合，所述导向条(5)的底部设有凸块(7)，所述凸块(7)与任意一个所述卡槽A(6)相配合。

2.根据权利要求1所述的一种硅片传送导向装置，其特征在于：所述导向条(5)的顶面距地面的高度大于所述传送带(10)的顶面距地面的高度。

3.根据权利要求2所述的一种硅片传送导向装置，其特征在于：所述水平位移调节机构(1)包括固定框架(11)、安装于固定框架(11)内的滑块(12)和多个导杆(13)，所述固定框架(11)和支架(8)固定连接，所述滑块(12)的顶端和所述高度调节导向座(4)的底端固定连接，所述固定框架(11)为矩形，所述滑块(12)的两端分别与所述固定框架(11)的两条短边滑动配合，所述导杆(13)贯穿所述滑块(12)、且与所述滑块(12)垂直，所述导杆(13)的两端分别与所述固定框架(11)的两条长边固定连接，所述固定框架(11)的一条长边和所述滑块(12)之间的一段导杆(13)上套设有弹簧(14)，所述弹簧(14)的两端分别接触固定框架(11)和滑块(12)，所述固定框架(11)的另一条长边上开设有螺纹通孔(15)， 所述螺纹通孔(15)内设有螺纹推杆(17)，所述滑块(12)的一侧开设有沉孔(16)，所述螺纹推杆(17)的一端与所述沉孔(16)间隙配合，所述螺纹推杆(17)的另一端位于所述固定框架(11)的外侧，所述螺纹推杆(17)通过所述螺纹通孔(15)和所述固定框架(11)螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种硅片传送导向装置，其特征在于：所述螺纹推杆(17)位于固定框架(11)外侧的一端设有转盘(18)，所述转盘(18)和所述螺纹推杆(17)固定连接。

5.根据权利要求1～4任一项所述的一种硅片传送导向装置，其特征在于：所述导向条(5)与所述传送带(10)的传送方向呈γ夹角设置，所述导向条(5)距所述传送带(10)的距离沿传送带(10)的传送方向减小。