技术总结
本实用新型公开了一种硅片传送导向装置,包括传送机构,传送机构的两侧均设有水平位移调节机构,两个水平位移调节机构上均设有高度调节机构,每个水平位移调节机构均带动与其对应的高度调节机构向传送机构靠近或者远离,高度调节机构包括高度调节导向座和导向条,高度调节导向座固定安装于水平位移调节机构上,导向条安装于高度调节导向座上,两个导向条分别位于传送机构的两侧。本实用新型中导向条更换方便的同时可以重复利用、减少更换时间、降低生产成本。
技术研发人员:李志刚;付振;余建
受保护的技术使用者:武汉帝尔激光科技股份有限公司
文档号码:201721047133
技术研发日:2017.08.21
技术公布日:2018.04.24