压缩成形装置的树脂材料供应装置及压缩成形装置的制作方法

本发明是关于一种以树脂密封半导体芯片等电子零件的装置，尤其是关于一种为了进行压缩成形而将颗粒状、粉末状的树脂材料(以下，将这些总简称为“树脂材料”)供应至模具的腔室的装置、及压缩成形装置。

背景技术：

随着电子零件的小型化及因应而生的半导体芯片等的接合线(bonding wire)的小径化，而在电子零件的密封成形上逐渐采用压缩成形。在压缩成形中，将树脂材料供应至以脱模膜被覆的下模腔室，并在加热熔融之后，在安装有已构装电子零件的基板的上模之间进行闭模以压缩该树脂而由此进行成形。在上述的压缩成形中，为了进行遍及大型基板整体不产生缺陷的成形，对腔室无过多与不足且均等地供应既定量的树脂材料是相当重要的。若对腔室供应的树脂材料的量存在不均匀性，则在闭模时于腔室内产生树脂材料流动(移动)，而对电子零件基板的接合线等的配线产生不良影响。

为了均等地供应既定量的树脂材料至腔室，有如下的方法，也即，并不是从贮存树脂材料的供应部直接将树脂材料供应至腔室，而是暂时将树脂材料供应至树脂托盘并达到均匀的厚度，之后，通过打开该树脂托盘下面的闸门(shutter)而使树脂材料一举落下至腔室整面(专利文献1，段落[0004])。

然而在该方法中，发现到有以下的倾向，也即，在打开闸门时，树脂托盘内的树脂材料因与闸门的上面之间的摩擦而被拖引，而在最初开口的部分(中央部分)落下较少，在最后开口的部分(两端部分)落下较多(专利文献1，图6(1))。

对于电子零件的密封用的树脂材料，虽使用例如环氧树脂或硅树脂等(将这些称为基本树脂(base resin))，但除了这些基本树脂以外也有因各种用途而含有其他物质(将此称为填充材)的情形。例如有为了提高热传导率或降低热膨胀率等目的而含有氧化硅(silica)粉末或氧化硅结晶等以作为填充材。当将上述树脂材料供应至例如加热至170℃左右的下模时，熔融温度为170℃以下的热硬化性树脂的基本树脂熔融，但一部分填充材(例如，若为氧化硅则其熔点为1000℃以上)仍维持固体状态。由于密封用的树脂材料中的氧化硅等填充材的混合比(含有率)通常为60～80wt％，因此在将树脂材料供应至下模腔室时，即使基本树脂熔融，树脂材料整体也维持某种程度的供应时的形状。因此，在树脂材料以不均等的状态供应至下模的情形，当闭模以进行密封成形时，树脂材料产生流动(树脂从所供应的树脂量较多的部分往树脂量较少的部分流动)，因而使电子零件遭受不良影响(例如，接合线变形而彼此接触、或接合线断线等)。

因此，为了更均等地将树脂材料供应至腔室内，在专利文献1中，使用如图12所示的方法。也即，在树脂托盘131设置多个狭缝状保持部132(图12是与狭缝状保持部132的长边方向垂直的面的剖面图，且显示三个狭缝状保持部132的剖面)，从供应部均等地将树脂材料供应至该树脂托盘131的各狭缝状保持部132。然后，通过将树脂托盘131底部的闸门133往与该狭缝状保持部132的长边方向垂直的方向(在图12中为左右方向)打开，而使树脂材料从各狭缝状保持部132往腔室134内落下(将此称为狭缝·闸门方式)。

同样地作为使用具有多个狭缝状保持部的树脂托盘的方法，也有图13所示的方法。在该方法中，以上托盘141与下托盘142构成树脂托盘140，在两者形成有多个平行的狭缝。在该树脂托盘140中，上托盘141的狭缝143作为用于保持树脂的树脂保持部而发挥功能，下托盘142的狭缝144作为用于使被保持于上托盘141的狭缝143的树脂材料落下的开口而发挥功能。在上下托盘141、142的狭缝143、144完全错开(也即，下托盘142的非开口部堵住上托盘141的开口部)的状态下，将树脂材料供应至上托盘141的狭缝143，并将该树脂托盘140配置于腔室155之上(图13(a))。接下来，通过使上托盘141往与狭缝143垂直的方向移动，使上托盘141的狭缝143内的树脂材料通过下托盘142的狭缝144往腔室155内落下(图13(b)，将此称为上下狭缝方式)。

通过所述狭缝·闸门方式或上下狭缝方式，可解决腔室内的中央与端部中的树脂材料供应量的差异。此外，通过使狭缝的宽度变窄并使狭缝的数量变多，而即使是较宽的腔室也能够大致均等地供应树脂材料。

专利文献1：日本特开2007-125783号公报。

技术实现要素：

即使是在上述狭缝·闸门方式或上下狭缝方式的任一方式中，均必须将树脂材料供应至上托盘141(在狭缝·闸门方式中为树脂托盘131)的狭缝143(在狭缝·闸门方式中为狭缝状保持部132)。上述的树脂材料往狭缝板(上托盘)141(在狭缝·闸门方式中为树脂托盘131)的狭缝143(在狭缝·闸门方式中为狭缝状保持部132)的供应，如图14所示，是通过使用线性给料器(linear feeder)的树脂供应机构40进行。更详细而言，一边使已收容于该树脂供应机构40的漏斗(hopper)41的树脂材料，通过以既定频率振动的线性给料器42以既定流量从线性给料器前端的供应口42a落下，一边使载置树脂托盘140(在狭缝·闸门方式中为树脂托盘131)的载置台45以既定速度移动，将树脂材料均等地投入于上托盘141的狭缝143(在狭缝·闸门方式中为树脂托盘131的狭缝状保持部132)。另外，在树脂托盘140(在狭缝·闸门方式中为树脂托盘131)相对于线性给料器42的长度较大的情形，也可将树脂托盘140分为多个区域，就各区域投入树脂材料。在图14(c)中，由于线性给料器42的长度l较树脂托盘140的长度L短，因此将树脂托盘140分为二个区域，在一方的区域投入树脂材料之后，通过马达M使载置台45旋转180°(图14(d))，对另一区域投入树脂材料。

如上所述，线性给料器42虽以一气呵成的要领对各狭缝143供应树脂材料，但当在从某狭缝143往下一狭缝143移动，在跨过其间的非开口部145时关闭线性给料器前端的供应口42a以停止树脂材料的供应时，在该供应口42a将滞留树脂材料，而在下一狭缝143的最初部位开放供应口42a时，立即于该处供应该滞留的树脂材料，将供应较其他部位更多量的树脂材料。因此，为了也在跨过狭缝143间的非开口部145时在不关闭供应口42a的情形下维持供应树脂材料，则将在非开口部145之上留有树脂材料(图14(d))。

此外，也在对狭缝143的部分供应树脂材料时，因树脂材料从线性给料器的供应口42a落下的期间扩散、或因些微的空气流动而流动，而使一部分的树脂材料留在非开口部145之上。

上述的留在非开口部之上的树脂材料，虽在使狭缝内的树脂材料通过闸门(在狭缝·闸门方式的情形)或下托盘的狭缝(在上下狭缝方式的情形)供应至腔室时同时被供应至腔室，但尽管使狭缝内的树脂材料均等地供应，由于留在非开口部上的树脂材料的量不均等，因而使树脂材料往腔室内的供应不均等。也在留在非开口部上的树脂材料未供应至腔室内而维持原状态的情形，恐有在将树脂托盘131或树脂托盘140配置于腔室上或从该处移除时往下模附近落下而污染压缩成形装置周边，或进入间隙而妨碍其正常动作的情况。

本发明所欲解决的问题，是提供一种能够将树脂材料均等地供应至腔室，此外，不污染装置的周边或妨碍正常动作的压缩成形装置的树脂材料供应装置。

为了解决上述课题而完成的本发明的压缩成形装置的树脂材料供应装置，具备具有多个树脂保持孔的树脂保持板、及用于闭锁及开放该树脂保持孔的闸门机构；在所述树脂保持孔之间的树脂保持板的上部不具有平坦部分。

在本发明的压缩成形装置的树脂材料供应装置中，首先，通过闸门机构闭锁树脂保持板的多个树脂保持孔，在此状态下于该多个树脂保持孔放入树脂材料并加以保持。接着，通过闸门机构开放该多个树脂保持孔，由此使被保持于多个树脂保持孔的树脂材料落下，供应至压缩成形装置的下模腔室。

在本发明的压缩成形装置的树脂材料供应装置中，由于在树脂保持孔之间的树脂保持板的上部不设置平坦部分，因此在将树脂材料放入多个树脂保持孔时，不会有在树脂保持板的上部留下树脂材料的情况。因此，在从多个树脂保持孔将树脂材料供应至压缩成形装置的下模腔室时，不会有多余的树脂材料被供应至腔室的情况，通过多个树脂保持孔而实现预定的均等供应。

此外，在将该树脂材料供应装置配置于腔室上或从该处移除时，不会有树脂材料往下模附近落下而污染压缩成形装置的周边、或进入间隙而妨碍其正常动作的情况。

在本发明的压缩成形装置的树脂材料供应装置中，多个树脂保持孔可设成平行的多个狭缝状的孔。在该情形，所述多个狭缝状的孔之间的树脂保持板虽为如横架般的部分，但根据本发明，在该横架的上部不具有平坦部分。

在该情形，树脂保持板，可以多个平行配置的横架、与以两端固定所述横架的框架构成。

或者，也可一体构成所述多个平行配置的横架、与以两端固定所述横架的框架。

如上所述在将多个树脂保持孔设定成多个平行的狭缝状的情形，闸门机构，可为如所述狭缝·闸门方式般的闸门，也可为如所述上下狭缝方式般的具有同样的平行狭缝的狭缝板。

在本发明的压缩成形装置的树脂材料供应装置中，多个树脂保持孔也可为平面形状为四角形、三角形、圆形、椭圆形等的孔。在该情形，所述树脂保持孔呈二维状配置。

也在该情形，闸门机构，可为如所述狭缝·闸门方式般的覆盖、打开所述树脂保持板的下面的以一片或二片板件构成的闸门，也可为如所述上下狭缝方式般的配置有同样的多个孔的板件。

根据本发明的压缩成形装置的树脂材料供应装置，由于在多个树脂保持孔之间的树脂保持板的上部并无平坦部分，因此在对多个树脂保持孔供应树脂材料时，不会有在该处留下树脂材料的情况。因此，在从所述多个树脂保持孔将树脂材料供应至压缩成形装置的下模腔室时，不会有多余的树脂材料被供应至腔室的情况，通过多个树脂保持孔而实现预定的均等供应。

此外，在将该树脂材料供应装置配置于腔室上或从该处移除时，不会有树脂材料往下模附近落下而污染压缩成形装置的周边、或进入间隙而妨碍其正常动作的情况。

附图说明

图1(a)至图1(f)是说明使用本发明的树脂材料供应装置的第一实施例进行压缩成形的顺序(a)～(f)的步骤图。

图2(a)至图2(d)分别是显示该实施例的树脂材料供应装置的树脂保持托盘的立体图与剖面图、及将颗粒状树脂投入于开口部的状态的俯视图与剖面图。

图3是说明通过该实施例的树脂材料供应装置将颗粒状树脂供应至腔室的顺序的流程图。

图4(a)和图4(b)分别是该实施例的树脂材料供应装置的树脂保持托盘的其他例的剖面图。

图5(a)、图5(b)和图5(c)分别是显示本发明的树脂材料供应装置的第二实施例的树脂保持托盘的剖面图，以及将颗粒状树脂投入于树脂保持部的状态的图，以及其之后使树脂保持托盘振动而使颗粒状树脂平坦的状态的图。

图6是说明通过该实施例的树脂材料供应装置将颗粒状树脂供应至腔室的顺序的流程图。

图7(a)和图7(b)分别是本发明的树脂材料供应装置的第三实施例的树脂托盘的俯视图及X-X’剖面图，图7(c)和图7(d)是本发明的树脂材料供应装置的第三实施例的树脂托盘的变形例的剖面图。

图8(a)、图8(b)和图8(c)分别是该实施例的树脂材料供应装置的其他的树脂托盘的俯视图、X-X’剖面图及Y-Y’剖面图。

图9是说明通过该实施例的树脂材料供应装置将颗粒状树脂供应至腔室的顺序的流程图。

图10(a)和图10(b)分别是显示本发明的树脂材料供应装置的第四实施例的重叠小型树脂保持托盘与大型树脂保持托盘的状态的俯视图，及从小型树脂保持托盘往大型树脂保持托盘供应颗粒状树脂的样子的剖面图。

图11是说明通过该实施例的树脂材料供应装置将颗粒状树脂供应至腔室的顺序的流程图。

图12是显示通过现有的狭缝·闸门方式将树脂材料供应至腔室的状态的说明图。

图13(a)和图13(b)分别是显示通过现有的上下狭缝方式将树脂材料供应至腔室的状态的说明图。

图14(a)和图14(b)分别是显示现有的上下狭缝方式的树脂保持托盘的立体图及侧视图，图14(c)和图14(d)分别是将颗粒状树脂投入狭缝的状态的俯视图及侧视图。

附图标记说明：

10：压缩成形装置

11：上模具

111：基板设定部

12：下模具

121：腔室

123：腔室底部构件

13：中间板

15：基板

16：脱模膜

20：树脂材料供应装置

21：树脂保持托盘

22：狭缝板移动机构

23：基座台

31：上狭缝板(树脂保持板)

33：狭缝(树脂保持孔)

35：横架

32：下狭缝板

34：狭缝

36：横架(闸门)

37：框架

40：树脂供应机构

41：漏斗

42：线性给料器

42a：供应口

45：载置台

47：给料器

50：树脂保持托盘

51：上狭缝板(树脂保持板)

53：狭缝(树脂保持孔)

55：横架

57：框架

58：空间(树脂保持孔)

52：下狭缝板

54：狭缝

56：横架(闸门)

61、67：树脂托盘(树脂保持板)

62、68：开口部(树脂保持孔)

63、69：横架

66：闸门

70：小型树脂保持托盘

71：上狭缝板

73：狭缝

75：横架

72：下狭缝板

74：狭缝

76：横架

80：大型树脂保持托盘

81：上狭缝板

83：狭缝

85：横架

82：下狭缝板

84：狭缝

86：横架

131：树脂托盘

132：狭缝状保持部

133：闸门

134：腔室

140：树脂托盘

141：上托盘

143：狭缝

142：下托盘

144：狭缝

145：非开口部

155：腔室。

具体实施方式

(第一实施例)

针对使用本发明的树脂材料供应装置20的第一实施例的电子零件的压缩成形步骤，一边参照图1(a)至图1(f)一边进行说明。此处使用的压缩成形装置10的模具，是由上模具11、下模具12、及中间板13构成，且下模具12的腔室121在俯视观察下为矩形。另外，腔室的俯视形状也可为三角形、正方形、菱形、椭圆形、圆形等，可在不改变本发明下适用。树脂材料供应装置20，具备由上下狭缝板构成的树脂保持托盘21、与使树脂保持托盘21的狭缝板移动的狭缝板移动机构22。关于树脂材料供应装置20待后详述。另外，本实施例虽使用颗粒状树脂作为树脂材料，但只要是可投入于树脂保持托盘21且可从狭缝供应至腔室，则也可为粉末状等其他形态。

首先，将安装有电子零件的基板15，以其安装面朝下的状态设定于上模具11的基板设定部111(图1(a))。在其之前或之后，使跨越下模具12设置的供应侧与卷取侧的脱模膜滚筒旋转，将从供应侧的脱模膜滚筒引出的新的脱模膜16铺设于下模具12的腔室121的上方。接着，在已固定中间板13的状态下使下模具12上升，隔着脱模膜16使中间板13与下模具12的薄膜按压构件122抵接。进一步地，通过在已固定中间板13的状态下使下模具12上升而将中间板13与下模具12的薄膜按压构件122间的抵接面往下按压于腔室121。腔室121上的脱模膜16，通过中间板13与下模具12的薄膜按压构件122间的抵接面往下按压而铺设。然后，从腔室121侧吸引脱模膜16，由此以脱模膜16被覆腔室121(图1(a)、图1(b))。

将保持颗粒状树脂的树脂保持托盘21，如图1(b)所示配置于腔室121上，将颗粒状树脂往腔室121内供应(图1(c))。在通过下模具12的热融化颗粒状树脂(图1(d))之后，使下模具12接近上模具11，使电子零件浸渍于已融化的树脂，并通过腔室底部构件123按压树脂(图1(e))。树脂硬化后，打开上模具11与下模具12及中间板13，而由此获得电子零件的树脂密封成形品(图1(f))。

接下来，针对本实施例的树脂材料供应装置20一边参照图2(a)至图2(d)、图3一边详细地进行说明。

树脂保持托盘21，如图2(a)及图2(b)所示，由相接的上狭缝板31与下狭缝板32构成。上狭缝板31与下狭缝板32，分别具有8条相互平行的开口部的狭缝33、34与它们之间的非开口部的横架35、36。在下狭缝板32，狭缝34与横架36的宽度相等。上狭缝板31的各狭缝33，如图2(b)所示，在上狭缝板31的下面与下狭缝板32的狭缝34的宽度相同，从该处起随着越往上面侧而逐渐扩大，且于上面相邻的狭缝33彼此相接。也即，横架35的剖面呈山形状，在其最上部不存在平坦部分。该横架35的剖面形状，也可为如图4(a)所示般仅于上部具有倾斜部，也可为如图4(b)所示般上部呈半圆状。另外，在上狭缝板31的下面与下狭缝板32，其各个狭缝的宽度也可与相邻的狭缝间的非开口部的宽度不相同。此外，狭缝33、34的数量当然不限定为8条。进一步地，下狭缝板32的狭缝34的宽度，也可大于上狭缝板31的狭缝33下面侧的宽度。

上狭缝板31，可为多个横架35与固定它们的框架37一体形成的一体型，也可为组装不同零件的两者而构成的组装型。关于下狭缝板32也相同。

上狭缝板31、上狭缝板31的狭缝33，分别作为树脂保持板、树脂保持孔而发挥作用，下狭缝板32的狭缝34作为用于使被保持于树脂保持孔(上狭缝板31的狭缝33)的颗粒状树脂落下的开口而发挥作用。而且，下狭缝板32的相邻的狭缝34间的横架36，作为堵塞上狭缝板31的狭缝的闸门而发挥作用。在初始状态下，树脂保持托盘21，以上狭缝板31的所有的狭缝33通过下狭缝板32的横架36而完全堵塞的方式，上狭缝板31与下狭缝板32重叠(图2(b)、图2(c))。

在树脂保持托盘21设有狭缝板移动机构22，狭缝板移动机构22，在树脂保持托盘21的下狭缝板32的上面维持与上狭缝板31的下面相接的状态、且使两狭缝板31、32的狭缝33、34保持平行的状态下，使上狭缝板31往与所述狭缝33、34的长边方向垂直的方向移动。另外，下狭缝板32，并不一定要与上狭缝板31的下面接触，只要以至少颗粒状树脂不进入的程度的间隙接近即可。作为狭缝板移动机构22的驱动源，可使用马达或气缸、油压缸等。另外，狭缝板移动机构22的操作，也可以于上狭缝板31设置操作把手以手动的方式进行。

在使用本树脂材料供应装置20将颗粒状树脂供应至压缩成形装置的腔室内时的各部的动作如以下说明(图3)。

首先，在树脂保持托盘21的上狭缝板31的8个狭缝(树脂保持部)33，均等地投入既定量的颗粒状树脂(步骤S11)。该颗粒状树脂的投入，可使用上述的树脂供应机构40以一气呵成的要领进行(图2(c))。

此时，上狭缝板31的横架35，由于其剖面形状呈山形状，且于上部不存在平坦部分，因此在线性给料器42前端的供应口42a一气呵成地进行移动时于跨过横架35时投入至横架35上的颗粒状树脂，往其前后的狭缝33的任一方落下。也即，并不会有如以往般在上狭缝板31的横架35上残留颗粒状树脂的情况。

之后，使在上狭缝板31的狭缝33保持有颗粒状树脂的树脂保持托盘21，与狭缝板移动机构22一起往压缩成形装置10的被覆有脱模膜16的腔室121上移动。在树脂保持托盘21的下面，设置具有与腔室121相同形状的开口的基座台23，构成可在基座台23上移动树脂保持托盘21。通过将该基座台23载置于腔室121的周缘，将树脂保持托盘21配置于腔室121的上方(步骤S12，图1(b))。另外，基座台23的开口的大小，与腔室121的开口相同，或稍微较其为小。

之后，通过狭缝板移动机构22使上狭缝板31如上所述般在其下面维持与下狭缝板32的上面相接的状态、且使两狭缝板31、32的狭缝33、34保持平行的状态下，往与所述狭缝33、34的长边方向垂直的方向以既定速度移动(步骤S13)。

使上狭缝板31可仅以狭缝33的一个间距量(＝狭缝33的宽度+横架35的宽度)移动，也可多次往返。无论是任何的情形，将上狭缝板31移动的速度，设定为在上述的移动的期间被保持于狭缝(树脂保持部)33的颗粒状树脂全部落下的程度的值。该速度可由预先的实验求得。

使上狭缝板31以上述的方式移动后，停止狭缝板移动机构22(步骤S14)。

如上所述，由于在上狭缝板31的上部未残留颗粒状树脂，因此均等地投入于狭缝33的既定量的颗粒状树脂全部被供应至下模具的腔室121内，实现预定的均等供应。

(第二实施例)

针对本发明的压缩成形装置的树脂材料供应装置的第二实施例，一边参照图5(a)至图5(c)及图6一边进行说明。本实施例的树脂材料供应装置中，树脂保持托盘50与第一实施例同样地，是由上狭缝板51与下狭缝板52构成。下狭缝板52以与第一实施例的下狭缝板32相同的构成，具有狭缝54与非开口部的横架56。上狭缝板51，如图5(a)所示，横架55的高度低于框架57的高度(上面的位置)。因此，在上狭缝板51的上方，形成有以框架57围绕的一个大的空间58。

在本实施例的树脂材料供应装置中，上狭缝板51作为树脂保持板以发挥作用，上狭缝板51的狭缝53与它们的上部的空间58作为树脂保持孔以发挥作用。其他各部的作用则与第一实施例相同。

使用本树脂材料供应装置将颗粒状树脂供应至压缩成形装置的腔室121的情形时的各部的动作如以下说明(图6)。

首先，在构成树脂保持托盘50的上狭缝板51的各狭缝53从给料器47投入(供应)既定量的颗粒状树脂(步骤S21、图5(b))。此处，各狭缝53的容量总和，设定成少于树脂密封所需的颗粒状树脂的量，因此由给料器47供应的颗粒状树脂也收容于狭缝53的上部的空间58。在投入既定量的颗粒状树脂之后，通过使载置该树脂保持托盘50的载置台45前后左右振动，使上狭缝板51内的颗粒状树脂均等地分布(步骤S22、图5(c))。另外，在步骤S21中，也可利用与步骤S11同样的方法将颗粒状树脂均等地投入于狭缝53(及其上部的空间58)。

之后，进行与上述步骤S12～S14同样的操作，将颗粒状树脂均等地供应至压缩成形装置的腔室121内。也即，使树脂保持托盘50与狭缝板移动机构22一起往压缩成形装置10的被覆有脱模膜16的腔室121上移动(步骤S23)，使上狭缝板51在维持其下面与下狭缝板52相接的状态、且维持使两狭缝板51、52的狭缝53、54保持平行的状态下，往与所述狭缝53、54的长边方向垂直的方向以既定速度移动(步骤S24)，在使上狭缝板51移动既定的距离或次数后，停止狭缝板移动机构22(步骤S25)。

也在本实施例中，由于在上狭缝板51的各横架55的上部不具有平坦部，因此在从树脂保持托盘50往腔室121供应树脂时，不会有在横架55上残留颗粒状树脂、或残留的颗粒状树脂被不均等地供应至腔室内的情况。

(第三实施例)

针对本发明的压缩成形装置的树脂材料供应装置的第三实施例，一边参照图7(a)至图7(d)一边进行说明。本实施例的树脂材料供应装置，具备二维状地配置有矩形的开口部62的板状的树脂托盘61、与设置于其下面的相同大小的板状的闸门66。所述多个开口部62通过横架63区划，横架63，如图7(b)所示，上部具有山形状的剖面形状。横架63的剖面形状，如图7(c)所示，也可为上部呈半圆状，如图7(d)所示，也可为与第一实施例同样地呈三角形状。此外，开口部的平面形状，也可为长方形、三角形、菱形、圆形、椭圆形等。例如，在图8(a)至图8(c)中分别显示通过横架69区划的开口部68的平面形状为圆形的情形时的树脂托盘67的俯视图、X-X’剖面图、及Y-Y’剖面图。

在本实施例的树脂材料供应装置中，树脂托盘61作为树脂保持板而发挥作用，开口部62作为树脂保持孔而发挥作用。

使用本树脂材料供应装置将颗粒状树脂供应至压缩成形装置的腔室内时的各部的动作如以下说明(图9)。

首先，在树脂托盘61的开口部62均等地投入既定量的颗粒状树脂(步骤S31)。该颗粒状树脂的投入，可使用如图2(c)所示的树脂供应机构40以一气呵成的要领进行。

之后，使树脂托盘61往压缩成形装置10的被覆有脱模膜16的腔室上移动(步骤S32)，之后，打开堵塞开口部62的闸门66，使颗粒状树脂一举往腔室的整面落下(步骤S33)。

如上所述，树脂托盘61的横架63，其剖面形状呈山形状，且于上部不存在平坦部分，因此并不会有如以往般在树脂托盘的上部残留颗粒状树脂的情况。结果为，不会有在腔室内供应多余的颗粒状树脂的情况。

(第四实施例)

针对进行树脂密封的基板为大型基板(由此，腔室也属于大型腔室)的情形时的本发明的树脂材料供应装置的实施例，一边参照图10(a)至图10(b)一边进行说明。

本实施例的树脂材料供应装置，具备小型树脂保持托盘70、与小型树脂保持托盘70的四倍大的大型树脂保持托盘80。小型树脂保持托盘70，具有与第一实施例的树脂保持托盘21相同的构成，由具备狭缝73及山形状的横架75的上狭缝板71、与具备狭缝74及横架76的下狭缝板72构成。大型树脂保持托盘80，由上狭缝板81、与下狭缝板82构成，该上狭缝板81具备分别与小型树脂保持托盘70的狭缝73及横架75相同宽度但长度为2倍的狭缝83及横架85，该下狭缝板82具备分别与狭缝74及横架76相同宽度但长度为2倍的狭缝84及横架86。

使用本树脂材料供应装置将颗粒状树脂供应至腔室的情形时的各部的动作如以下说明(图11)。

首先，与步骤S11同样地，在小型树脂保持托盘70的上狭缝板71的狭缝73，均等地投入既定量的颗粒状树脂(步骤S41)。将该小型树脂保持托盘70配置于大型树脂保持托盘80的区域1上(步骤S42)，通过使下狭缝板72以与步骤S13相同的方式移动，将上述的量的颗粒状树脂均等地投入位于大型树脂保持托盘80的区域1的狭缝83内(步骤S43)。之后，将小型树脂保持托盘70配置于大型树脂保持托盘80的其他的区域2～区域4上并判断狭缝83内是否已投入颗粒状树脂(步骤S44)，若为不是(No)，则对接下来的任一区域2～区域4，重复进行步骤S41～步骤S43，将适当量的颗粒状树脂均等地投入于大型树脂保持托盘80的所有的区域2～区域4的狭缝83。

由于小型树脂保持托盘70的上狭缝板71的横架75、大型树脂保持托盘80的上狭缝板81的横架85均为于上部不具有平坦部分，因此不会有如以往般在上狭缝板的平坦的横架残留颗粒状树脂的情况。

在步骤S44中，若为是(Yes)，则进入下一步骤，对大型树脂保持托盘80进行与步骤S12～步骤S14同样的操作，由此将颗粒状树脂均等地供应至腔室内(步骤S45～S47)。

上述实施例的树脂材料供应装置为本发明的一例，可在本发明的范围内容许适当地变形或修正、追加。例如，在上述第一、第二、第四实施例中，虽通过狭缝板移动机构仅使上狭缝板移动，但只要能够从树脂保持托盘的狭缝均等地将树脂材料供应至腔室即可，也可仅使下狭缝板移动，也可使上狭缝板与下狭缝板两者移动。

此外，在上述实施例中，虽使用颗粒状树脂作为树脂材料，但即使其为粉末状树脂，也可使用同样的装置。