技术总结
本实用新型公开了一种真空热处理炉上的可移动定位加热系统，包括设置在真空热处理炉上的反应腔以及对应反应腔外部安装的加热装置，加热装置的下端设置有滑块；所述真空热处理炉上设置有导轨，滑块滑动连接在导轨上；所述真空热处理炉上设置有传动动力装置；所述传动动力装置连接滑块，所述传动动力装置连接工控系统。本实用新型设计合理，可移动定位加热系统可实现加热系统自动移动，可以根据需要在不同工艺下进行加热系统移动状态的设置，通过工控系统控制传动动力装置，使加热系统自动前进或后退，对反应室进行加热和冷却。整个过程无需人工判断和操作，提高设备的自动化程度，降低人工成本，实用性强，适于推广。
技术研发人员：刘洋
受保护的技术使用者：青岛精诚华旗微电子设备有限公司
技术研发日：2018.01.21
技术公布日：2018.09.07