一种用于蓝宝石晶片刷洗工艺的摇臂刷洗装置的制作方法

文档序号:11073000阅读:485来源:国知局
一种用于蓝宝石晶片刷洗工艺的摇臂刷洗装置的制造方法

本实用新型是关于蓝宝石晶片的刷洗工艺领域,特别涉及一种用于蓝宝石晶片刷洗工艺的摇臂刷洗装置。



背景技术:

传统的蓝宝石晶片刷洗工艺大多数为人工用板刷刷洗,效率低,工作量特别大,而且传统的人工刷洗方式会给刷洗效果带来很多人的不确定因素,刷洗的效果也不尽人意。在晶片量产的情况下传统的刷洗方式一定不能满足生产的需求。而且传统的刷洗方式可能会给晶片带来损坏崩边,这样的刷洗方式一直给相关企业带来严重困扰,所以更换晶片的刷洗方式很有必要。

目前蓝宝石行业基本上使用两个刷辊夹住晶片,刷辊旋转对晶片进行刷洗,这种刷洗方式有可能会导致晶片磕边,且效率比较低,刷洗的效果也不尽人意。同时因为目前蓝宝石行业晶片的刷洗都用手动进行刷洗,劳动强度特别大。所以在日趋激烈的竞争中,如何提高晶片的刷洗质量、生产效率,特别是寻找一种能代替人工的刷洗方式,一直是各企业的重要目标。



技术实现要素:

本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足,提供一种用毛刷自动刷洗蓝宝石晶片的装置。为解决上述技术问题,本实用新型的解决方案是:

提供一种用于蓝宝石晶片刷洗工艺的摇臂刷洗装置,能利用毛刷对蓝宝石晶片进行刷洗,所述用于蓝宝石晶片刷洗工艺的摇臂刷洗装置包括毛刷旋转驱动电机、毛刷旋转轴、毛刷轴电机安装座、毛刷安装板支撑架、胀紧套、毛刷摆动主轴、导向杆、连接杆、减速机、毛刷摆动伺服电机、毛刷上下驱动气缸、连接块、直线轴承、毛刷安装板、直线轴承安装板、底部气缸连接板;

所述毛刷轴电机安装座、毛刷旋转轴分别安装在毛刷安装板上,且毛刷轴电机安装座上安装有毛刷旋转驱动电机;所述毛刷旋转轴用于安装毛刷,毛刷旋转驱动电机能驱动毛刷旋转轴旋转,进而驱动毛刷旋转并控制晶片刷洗的转速;

所述毛刷摆动主轴的一端利用胀紧套与毛刷安装板支撑架连接,通过调节毛刷安装板支撑架位置能实现毛刷的高低调节;毛刷摆动主轴的另一端与减速机、毛刷摆动伺服电机连接,毛刷摆动伺服电机、减速机用于控制毛刷的摆动速度;

所述导向杆设有四根,每根导向杆上各安装有直线轴承,直线轴承安装板分别与直线轴承固定;所述连接块安装在底部气缸连接板上,用于连接毛刷上下驱动气缸和底部气缸连接板;所述连接杆设有四根,每根连接杆的一端与底部气缸连接板相连,另一端与直线轴承安装板相连,实现利用毛刷上下驱动气缸带动毛刷的上下运动(毛刷上下驱动气缸通过连接块、连接杆、直线轴承、导向杆,驱动整个毛刷旋转刷洗组件整体上下运动,来实现毛刷的上下运动;毛刷旋转刷洗组件包括毛刷旋转驱动电机、联轴器、毛刷旋转轴、毛刷轴电机安装座、毛刷安装板支撑架、毛刷安装板、毛刷)。

作为进一步的改进,所述用于蓝宝石晶片刷洗工艺的摇臂刷洗装置还包括毛刷,毛刷利用螺钉可拆卸安装在毛刷旋转轴上。

本实用新型的工作原理:毛刷通过一个伺服电机直连的方式使毛刷以一定的转速旋转,通过毛刷上下驱动气缸的驱动使毛刷刷完晶片后向上运动,然后通过底部毛刷摆动伺服电机和减速机将毛刷旋转摆动一定的角度,离开晶片,使晶片有一定的空间取下和更换。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

本实用新型可完全替代传统的清洗工艺,不需要人工手动刷洗,避免了由人为因素造成晶片刷洗质量一致性差;且由于其刷洗的一致性高,有利于工程师对清洗工艺的分析研发及改进,减轻了操作人员的劳动强度,大幅提高了生产效率,提高了晶片清洗的合格率。

附图说明

图1为本实用新型的主视图。

图2为本实用新型的左视图。

图中的附图标记为:1毛刷旋转驱动电机;2毛刷轴电机安装座;3毛刷旋转轴;4毛刷;5毛刷安装板支撑架;6胀紧套;7毛刷摆动主轴;8直线轴承安装板;9直线轴承;10底部气缸连接板;11导向杆;12毛刷上下驱动气缸;13连接块;14毛刷摆动伺服电机;15减速机;16连接杆。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述:

如图1、图2所示的一种用于蓝宝石晶片新刷洗工艺的摇臂刷洗装置包括毛刷旋转驱动电机1、毛刷轴电机安装座2、毛刷旋转轴3、毛刷4、毛刷安装板支撑架5、胀紧套6、毛刷摆动主轴7、直线轴承安装板8、直线轴承9、底部气缸安装板10、导向杆11、毛刷上下驱动气缸12、连接块13、毛刷摆动伺服电机14、减速机15、连接杆16。

毛刷旋转驱动电机1安装在毛刷轴电机安装座2上,用于驱动毛刷4旋转并控制转速。毛刷上下驱动气缸12通过连接块13、直线轴承9、连接杆16和导向杆11驱动整个毛刷旋转刷洗组件运动,用于控制毛刷4的上升和下降。毛刷摆动伺服电机14、减速机15与毛刷摆动主轴7的一端连接,毛刷摆动主轴7的另一端与胀紧套6连接,毛刷摆动伺服电机14、减速机15用于控制毛刷4的摆动。胀紧套6安装在毛刷摆动主轴7的一端上,连接毛刷摆动主轴7和毛刷安装板支撑架5上,用于调节毛刷4的高低。

毛刷4采用可拆卸方式安装在毛刷旋转轴3上,主要为刷洗除去蓝宝石晶片残留的研磨液和其他颗粒物,可根据刷洗工艺更换毛刷4。可拆卸方式是指:整个毛刷4和毛刷旋转轴3通过螺钉连接,根据车间生产的工艺随时可以更换毛刷4。

用于蓝宝石晶片新刷洗工艺的摇臂刷洗装置的使用方法为:

当晶片需要刷洗的时候,毛刷旋转驱动电机1驱动毛刷4以一定的转速旋转运动;通过底部毛刷摆动伺服电机14和减速机15连接毛刷摆动主轴7,驱动毛刷4摆动一定的角度,摆动到晶片的正上方;毛刷上下驱动气缸12驱动毛刷4向下运动,促使毛刷4能接触到晶片,在这个过程中可以通过胀紧套6调节毛刷4的高低位置。

毛刷4开始刷洗晶片,由毛刷摆动伺服电机14驱动毛刷4摆动一定角度,使旋转中的毛刷4由晶片中间向边缘刷洗,如此重复这个动作完成晶片的刷洗过程。

最后,需要注意的是,以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然,本实用新型不限于以上实施例,还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形,均应认为是本实用新型的保护范围。

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