1.一种浸涂用保持夹具,是用于对在中央区域具有第1贯通孔的基板进行浸涂的保持夹具,其特征在于,
包括保持部件,该保持部件能插入该第1贯通孔,且在至少一部分具有多孔质体。
2.权利要求1所述的浸涂用保持夹具,其特征在于,
上述保持部件包括棒状部件,该棒状部件具有上述第1贯通孔的孔径以下的直径。
3.权利要求1所述的浸涂用保持夹具,其特征在于,
上述保持部件包括盘部件,该盘部件设置有凸状区域,该凸状区域在至少一部分具有上述第1贯通孔的孔径以下的外径,并具有比上述第1贯通孔小的第2贯通孔。
4.权利要求3所述的浸涂用保持夹具,其特征在于,
上述保持部件还包括棒状部件,该棒状部件在至少一部分具有多孔质体并具有上述第2贯通孔的孔径以下的直径、能插入上述盘部件的第2贯通孔。
5.权利要求3所述的浸涂用保持夹具,其特征在于,
上述盘部件的外径比上述基板的外径大。
6.权利要求3所述的浸涂用保持夹具,其特征在于,
上述凸状区域的外径从上述第1贯通孔的孔径以下的大小平缓地变化到上述盘部件的外径的大小为止。
7.一种浸涂系统,其特征在于,具备:
权利要求1到6中的任一项所述的浸涂用保持夹具;
用于容纳浸涂液的浸渍槽;以及
使上述浸涂用保持夹具相对于上述浸渍槽升降的升降机构。