浸涂用保持夹具及采用其的浸涂系统的制作方法

技术总结
本发明涉及用浸涂法在基板上形成膜厚分布均匀的涂膜的浸涂用保持夹具及使用其的浸涂系统。实施方式所涉及的浸涂用保持夹具具有保持部件，在至少一部分具有多孔质体，能插入基板中央区域的第1贯通孔。

技术研发人员：渡部彰;鬼冢刚
受保护的技术使用者：株式会社东芝
文档号码：201510194845
技术研发日：2015.04.22
技术公布日：2016.11.23