一种涂布头及涂布机的制作方法

文档序号:12807527阅读:278来源:国知局
一种涂布头及涂布机的制作方法与工艺

【技术领域】

本发明涉及显示器技术领域,特别是涉及一种涂布头及涂布机。



背景技术:

目前,液晶显示技术已日趋成熟,通常液晶面板是将彩色滤光片基板和阵列基板贴合,再注入液晶之后再经过切片加上电路模块制程得到。目前业界采用低温多晶硅技术(ltps,lowtemperaturepoly-silicon)技术的彩色滤光片,通常由六道制程(bm/r/g/b/oc/ps)组成,每道制程包括洗净、涂布、预烘、曝光、显影、后烘等工艺。这六道制程的原材料全部是光阻材料,因而光阻涂布的质量直接影响到彩色滤光片的品质。

其中,涂布工艺具体是通过涂布机将光阻材料添加到基板上。涂布头为涂布机的光阻吐出部件,现有的涂布头如图1所示,包括本体部11,设置在本体部11内部的三沟槽12、排气口13、两个光阻注入口14、15以及喷嘴16。

外界的光阻材料通过光阻注入口14、15注入到三沟槽12中,再通过加压将光阻由喷嘴16打出涂覆在玻璃基板上,涂布时一般喷嘴16距离玻璃基板100um左右。当产线闲置或者更换不同光阻时,需要将涂布头内的光阻排出,然后用清洗液将涂布头的内部洗净浸泡一定时间,防止残留的光阻造成污染。此过程称为下胶泡管(下胶耗时40min,泡管一般时间在120min),即当更换光组时,耗时较长,极大降低了生产效率和产线稼动率。

如果有灰尘(particle)从管道流入涂布头或者大气中颗粒进入涂布头均会造成涂布不均,需要人工进行清除,然而清理难度大,耗时长,降低了生产效率。

因此,有必要提供一种涂布头及涂布机,以解决现有技术所存在的问题。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种涂布头及涂布机,能够提高生产效率。

为解决上述技术问题,本发明提供一种涂布头,其包括本体部和喷嘴;在所述本体部内的两侧分别设置有光阻注入槽;所述喷嘴设置在所述本体部的下方,所述喷嘴与其中一侧的光阻注入槽连通。

在本发明的涂布头中,所述涂布头还包括用于提供光阻材料的光阻存储单元,所述光阻存储单元与所述光阻注入槽连接。

在本发明的涂布头中,所述涂布头还包括两个光阻注入口,所述光阻注入口与所述光阻注入槽一一对应,所述光阻存储单元通过所述光阻注入口与对应的光阻注入槽连接。

在本发明的涂布头中,所述涂布头还包括三通阀,所述三通阀包括输入端、第一输出端以及第二输出端,所述输入端与所述光阻存储单元连接,所述第一输出端与其中一侧的光阻注入槽连接,所述第二输出端与另一侧的光阻注入槽连接。

在本发明的涂布头中,所述涂布头还包括控制装置,所述控制装置与所述喷嘴连接,所述控制装置用于在当前使用侧的光阻注入槽出现故障时,控制所述喷嘴与另外一侧的光阻注入槽连接。

在本发明的涂布头中,所述涂布头还包括两个排气口和两个光阻注入口,每个光阻注入槽对应一所述排气口和一所述光阻注入口,所述排气口和所述光阻注入口分别与对应的光阻注入槽连接。

在本发明的涂布头中,所述光阻注入口包括主注入口和子注入口,所述主注入口的口径大于所述子注入口的口径。

在本发明的涂布头中,所述光阻注入槽包括三个沿相同方向排列且相互连通的沟槽。

在本发明的涂布头中,所述光阻注入槽用于供光阻注入和渗透。

本发明还提供一种涂布机,其包括上述任意一种涂布头。

本发明的涂布头及涂布机,通过在本体部的两侧设置光阻注入槽,当其中一侧光阻注入槽的内部掉落直径较大颗粒或者颗粒位置较深时,使用另外一侧光阻注入槽进行制程,从而缩短了异常处理时间,提高了生产效率。

【附图说明】

图1为现有的涂布头的结构示意图。

图2为本发明的涂布头的第一种结构示意图。

图3为本发明的涂布头的第二种结构示意图。

图4为本发明的涂布头的第三种结构示意图。

【具体实施方式】

以下各实施例的说明是参考附加的图式,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语,例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。在图中,结构相似的单元是以相同标号表示。

请参照图2,图2为本发明的涂布头的结构示意图。

如图2所示,本发明的涂布头包括本体部21和喷嘴24;其中本体部21包括顶部211和底部212。在一实施方式中,该本体部21的材料为合金材料,具体为硬质合金材料。在所述底部212内的两侧分别设置有光阻注入槽22、23;所述光阻注入槽22、23用于供光阻注入和渗透。其中每侧的光阻注入槽包括三个沿相同方向排列且相互连通的沟槽。在一实施方式中,每侧的光阻注入槽包括三个上下相互连通的沟槽。左侧的光阻注入槽22包括三个上下相互连通的沟槽221-223。右侧的光阻注入槽23包括三个上下相互连通的沟槽231-233。

所述喷嘴24设置在所述底部212的下方,所述喷嘴24与其中一侧的光阻注入槽连通。图2中,所述喷嘴24与右侧的光阻注入槽23连通。

所述涂布头还包括两个排气口25、27、两个光阻注入口26、28,每侧的光阻注入槽对应设置一个排气口和一个光阻注入口。比如左侧的光阻注入槽22对应设置有排气口25和光阻注入口26,且该排气口25和该光阻注入口26与该光阻注入槽22连接。右侧的光阻注入槽23对应设置有排气口27和光阻注入口28,该排气口27和该光阻注入口28与该光阻注入槽23连接。

每个光阻注入口包括主注入口和子注入口。左侧的光阻注入口26包括主注入口261和子注入口262,所述主注入口261的口径大于所述子注入口262的口径。右侧的光阻注入口28包括主注入口281和子注入口282。所述主注入口281的口径大于所述子注入口282的口径,以使涂布更加均匀。

如图3所示,所述涂布头还包括用于提供光阻材料的光阻存储单元29,所述光阻存储单元29与两侧的光阻注入槽22、23连接。其中,所述光阻存储单元29与每侧的光阻注入口26、28连接。具体地,该光阻存储单元29与左侧的主注入口261和子注入口262连接。该光阻存储单元29与右侧的主注入口281和子注入口282连接。由于光阻注入口26与左侧的光阻注入槽22连接,光阻注入口28与右侧的光阻注入槽23连接,使得光阻存储单元29内的光阻通过光阻注入口26、28流入光阻注入槽22或23中,从而进行光阻涂布。

所述涂布头还包括三通阀30,所述三通阀30包括输入端301、第一输出端302以及第二输出端303,所述输入端301与所述光阻存储单元29连接,所述第一输出端302与左侧的光阻注入槽22连接,所述第二输出端303与右侧的光阻注入槽23连接。其中所述第一输出端302与左侧的光阻注入口26连接,所述第二输出端303与右侧的光阻注入口28连接。

如图4所示,本发明还可包括控制装置31,该控制装置31与喷嘴24连接,用于在当前使用侧的光阻注入槽出现异常(或者故障)时,控制该喷嘴24与另外一侧的光阻注入槽连接。

正常使用时,仅用其中一侧的光阻注入口和光阻注入槽,另一侧的光阻注入口和光阻注入槽为洗净密封状态。以使用右侧的光阻注入槽为例,正常状态下喷嘴24与右侧的光阻注入槽23连接,并通过三通阀的控制,使得光阻存储单元29中的光阻从右侧的光阻注入口28注入光阻注入槽23中。若右侧的光阻注入槽23内部掉落直径较大的颗粒或者颗粒的跌落位置较深时,用塑料材质刮片刮拭仍无法解决时,此时通过控制装置31将喷嘴24由右侧移动到左侧,以使喷嘴24与左侧的光阻注入槽22连接,并通过三通阀30的控制,使得光阻存储单元29中的光阻从左侧的光阻注入口26注入光阻注入槽22中。

在将喷嘴24与另一侧的光阻注入槽连接时,需要先将异常侧内部的光阻排出再用清洗液洗净,然后再移动喷嘴24,防止异常侧光阻注入槽内残留的光阻固化,洗净后将连接处密封处理。该清洗液可以为丙二醇单甲醚酸酯。

本发明的涂布头当内部颗粒(particle)陷入造成品质异常时,不需要对涂布头进行拆解以进行内部清洁处理,因此缩短了异常时处理难度和时间。其次由于提供双侧光阻注入槽设计,当更换光阻材料时,直接更换至另外一侧的光阻注入槽,因此可减少泡管处理时间,提高了处理效率。当涂布头的单侧发生异常时,可先记录使用正常侧的光阻注入槽继续生产,待产线闲置时进行维修处理,从而提高了生产效率。

本发明的涂布头,通过在本体部的两侧设置光阻注入槽,当其中一侧光阻注入槽的内部掉落直径较大颗粒或者颗粒位置较深时,可以使用另外一侧光阻注入槽进行制程,缩短了异常处理时间,提高了生产效率。

本发明还提供一种吸气吹气系统,其包括涂布头,如图2所示,该涂布头包括本体部21和喷嘴24;其中本体部21包括顶部211和底部212。在一实施方式中,该本体部21的材料为合金材料,具体为硬质合金材料。在所述底部212内的两侧分别设置有光阻注入槽22、23;所述光阻注入槽22、23用于供光阻注入和渗透。其中每侧的光阻注入槽包括三个沿相同方向排列且相互连通的沟槽。在一实施方式中,每侧的光阻注入槽包括三个上下相互连通的沟槽。左侧的光阻注入槽22包括三个上下相互连通的沟槽221-223。右侧的光阻注入槽23包括三个上下相互连通的沟槽231-233。

所述喷嘴24设置在所述底部212的下方,所述喷嘴24与其中一侧的光阻注入槽连通。图2中,所述喷嘴24与右侧的光阻注入槽23连通。

所述涂布头还包括两个排气口25、27、两个光阻注入口26、28,每侧的光阻注入槽对应设置一个排气口和一个光阻注入口。比如左侧的光阻注入槽22对应设置有排气口25和光阻注入口26,且该排气口25和该光阻注入口26与该光阻注入槽22连接。右侧的光阻注入槽23对应设置有排气口27和光阻注入口28,该排气口27和该光阻注入口28与该光阻注入槽23连接。

每个光阻注入口包括主注入口和子注入口。左侧的光阻注入口26包括主注入口261和子注入口262,所述主注入口261的口径大于所述子注入口262的口径。右侧的光阻注入口28包括主注入口281和子注入口282。所述主注入口281的口径大于所述子注入口282的口径,以使涂布更加均匀。

如图3所示,所述涂布头还包括用于提供光阻材料的光阻存储单元29,所述光阻存储单元29与两侧的光阻注入槽22、23连接。其中,所述光阻存储单元29与每侧的光阻注入口26、28连接。具体地,该光阻存储单元29与左侧的主注入口261和子注入口262连接。该光阻存储单元29与右侧的主注入口281和子注入口282连接。由于光阻注入口26与左侧的光阻注入槽22连接,光阻注入口28与右侧的光阻注入槽23连接,使得光阻存储单元29内的光阻通过光阻注入口26、28流入光阻注入槽22或23中,从而进行光阻涂布。

所述涂布头还包括三通阀30,所述三通阀30包括输入端301、第一输出端302以及第二输出端303,所述输入端301与所述光阻存储单元29连接,所述第一输出端302与左侧的光阻注入槽22连接,所述第二输出端303与右侧的光阻注入槽23连接。其中所述第一输出端302与左侧的光阻注入口26连接,所述第二输出端303与右侧的光阻注入口28连接。

如图4所示,本发明还可包括控制装置31,该控制装置31与喷嘴24连接,用于在当前使用侧的光阻注入槽出现异常(或者故障)时,控制该喷嘴24与另外一侧的光阻注入槽连接。

正常使用时,仅用其中一侧的光阻注入口和光阻注入槽,另一侧的光阻注入口和光阻注入槽为洗净密封状态。以使用右侧的光阻注入槽为例,正常状态下喷嘴24与右侧的光阻注入槽23连接,并通过三通阀的控制,使得光阻存储单元29中的光阻从右侧的光阻注入口28注入光阻注入槽23中。若右侧的光阻注入槽23内部掉落直径较大的颗粒或者颗粒的跌落位置较深时,用塑料材质刮片刮拭仍无法解决时,此时通过控制装置31将喷嘴24由右侧移动到左侧,以使喷嘴24与左侧的光阻注入槽22连接,并通过三通阀30的控制,使得光阻存储单元29中的光阻从左侧的光阻注入口26注入光阻注入槽22中。

在将喷嘴24与另一侧的光阻注入槽连接时,需要先将异常侧内部的光阻排出再用清洗液洗净,然后再移动喷嘴,防止异常侧光阻注入槽内残留的光阻固化,洗净后将连接处密封处理。该清洗液可以为丙二醇单甲醚酸酯。

本发明的涂布头当内部颗粒(particle)陷入造成品质异常时,不需要对涂布头进行拆解以进行内部清洁处理,因此缩短了异常时处理难度和时间。其次由于提供双侧光阻注入槽设计,当更换光阻材料时,直接更换至另外一侧的光阻注入槽,因此可减少泡管处理时间,提高了处理效率。当涂布头的单侧发生异常时,可先记录使用正常侧的光阻注入槽继续生产,待产线闲置时进行维修处理,从而提高了生产效率。

本发明的涂布机,通过在本体部的两侧设置光阻注入槽,当其中一侧光阻注入槽的内部掉落直径较大颗粒或者颗粒位置较深时,使用另外一侧光阻注入槽进行制程,缩短了异常处理时间,提高了生产效率。

综上所述,虽然本发明已以优选实施例揭露如上,但上述优选实施例并非用以限制本发明,本领域的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与润饰,因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

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