防止残留液体滴落的装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及溶液供应装置，尤其涉及一种防止残留液体滴落的装置。
【背景技术】
[0002]在半导体器件制造过程中，通常会用到各种溶液(例如去离子水、各种化学液等)对晶圆表面进行处理。如图4所示，为现有的溶液供应装置的结构示意图，该装置包括溶液供应管道101及设置在溶液供应管道101上的气动阀102。供应溶液时，打开气动阀102，溶液从溶液供应管道101的进液口处进入溶液供应管道101,然后从溶液供应管道101的出液口流出，一般会在溶液供应管道101的出液口处安装喷头，溶液通过喷头喷洒在晶圆表面，以对晶圆表面进行处理。晶圆处理结束后，停止溶液供应并关闭气动阀102。此时，虽然已停止溶液供应，然而，溶液供应管道101内仍会有残留的溶液,残留的溶液从溶液供应管道101的出液口流出并滴落，如果晶圆还没有被取走，残留的溶液将滴落在晶圆表面，在对精度要求较高的工艺中，这种现象是不希望发生的。如果晶圆已被取走，残留的溶液滴落在机台上，会对机台及其他电子器件造成腐蚀，如果维护人员不小心碰触，也会对维护人员造成危害。
[0003]因此，需要提出新的装置以解决上述装置存在的残留液体滴落的技术问题。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是提供一种防止残留液体滴落的装置，以避免工艺处理结束后管道内有残留液体滴落的问题。
[0005]为实现上述目的，本发明提出的防止残留液体滴落的装置，包括:管道、腔室、隔膜、柱塞及气缸。管道具有进液口和出液口 ；腔室与管道连通；隔膜设置在腔室与管道的连接处，隔膜将腔室与管道隔开；柱塞设置在腔室内，柱塞与隔膜之间形成密封空间；气缸与柱塞连接，气缸能够带动柱塞在腔室内运动，以改变柱塞与隔膜之间形成的密封空间的体积。
[0006]在一个实施例中，隔膜由弹性材料制成。
[0007]在一个实施例中，腔室邻近管道的出液口。
[0008]在一个实施例中，供液前，气缸带动柱塞运动，以使柱塞的壁与隔膜贴合。
[0009]在一个实施例中，供液停止时，气缸带动柱塞向上运动至腔室的顶部，柱塞与隔膜之间形成的密封空间的体积达到最大，此时密封空间内的气压小于大气压，在管道的出液口处形成空气空隙。
[0010]综上所述，本发明通过设置腔室、隔膜、柱塞及气缸，当供液结束后，气缸带动柱塞运动，使柱塞与隔膜之间形成的密封空间的气压小于大气压，从而使得隔膜向腔室内凸起，进而使管道内的液体回流，避免了管道内的液体滴落。
【附图说明】
[0011]图1揭示了本发明防止残留液体滴落的装置的一实施例的结构示意图。
[0012]图2揭示了本发明防止残留液体滴落的装置在供液时的结构示意图。
[0013]图3揭示了本发明防止残留液体滴落的装置在供液停止时的结构示意图。
[0014]图4为现有的溶液供应装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]为详细说明本发明的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合图式予以详细说明。
[0016]参阅图1，揭示了本发明防止残留液体滴落的装置的一实施例的结构示意图。根据该实施例的防止残留液体滴落的装置包括:管道201、开关阀202、腔室203、隔膜204、柱塞205及气缸206。具体地，管道201具有进液口和出液口，管道201的出液口处的管径较小，通常为4晕米。开关阀202设置在管道201上,开关阀202邻近管道201的进液口，开关阀202可以是气动阀。腔室203设置在管道201的一侧，腔室203邻近管道201的出液口，腔室203与管道201连通。隔膜204设置在腔室203与管道201的连接处，隔膜204将腔室203与管道201隔开，防止管道201内的液体进入腔室203内，隔膜204由弹性材料制成，且该材料具有良好的气密性。柱塞205设置在腔室203内，柱塞205与隔膜204之间形成密封空间。气缸206与柱塞205连接，气缸206能够带动柱塞205在腔室203内上下运动，以改变柱塞205与隔膜204之间形成的密封空间的体积。
[0017]参阅图2，揭示了本发明的防止残留液体滴落的装置在供液时的结构示意图。如图2所示,供液时,打开开关阀202,液体从管道201的进液口进入管道201内，然后从管道201的出液口流出。为了防止液体流经隔膜204时，使隔膜204产生形变，从而导致液体流量波动，在供液前，气缸206带动柱塞205向下运动，使柱塞205的壁与隔膜204贴合。
[0018]参阅图3，揭示了本发明的防止残留液体滴落的装置在供液停止时的结构示意图。如图3所示，供液结束后，关闭开关阀202，与此同时，气缸206带动柱塞205向上运动至腔室203的顶部，柱塞205与隔膜204之间形成的密封空间的体积达到最大，且密封空间内的气压小于大气压，由于管道201通过其出液口与外界连通，因此管道201内的液压大于密封空间内的气压，隔膜204由于压力差向腔室203内凸起，管道201内的液体回流，从而在管道201的出液口处形成空气空隙207，由于管道201的出液口处的管径较小，管道201出液口处的液体受表面张力的作用而不会滴落。
[0019]由上述可知，本发明通过在靠近管道201的出液口处设置腔室203、隔膜204、柱塞205及气缸206，当供液结束后，气缸206带动柱塞205运动，使柱塞205与隔膜204之间形成的密封空间的气压小于大气压，从而使得隔膜204向腔室203内凸起，进而使管道201内的液体回流，避免了管道201内的液体滴落。
[0020]综上所述，本发明通过上述实施方式及相关图式说明，己具体、详实的揭露了相关技术，使本领域的技术人员可以据以实施。而以上所述实施例只是用来说明本发明，而不是用来限制本发明的，本发明的权利范围，应由本发明的权利要求来界定。至于本文中所述元件数目的改变或等效元件的代替等仍都应属于本发明的权利范围。
【主权项】
1.一种防止残留液体滴落的装置，其特征在于，包括: 管道，所述管道具有进液口和出液口 ； 腔室，所述腔室与管道连通； 隔膜，所述隔膜设置在腔室与管道的连接处，隔膜将腔室与管道隔开； 柱塞，所述柱塞设置在腔室内，柱塞与隔膜之间形成密封空间 '及 气缸，所述气缸与柱塞连接，气缸能够带动柱塞在腔室内运动，以改变柱塞与隔膜之间形成的密封空间的体积。
2.根据权利要求1所述的防止残留液体滴落的装置，其特征在于，所述隔膜由弹性材料制成。
3.根据权利要求1所述的防止残留液体滴落的装置，其特征在于，所述腔室邻近管道的出液口。
4.根据权利要求1所述的防止残留液体滴落的装置，其特征在于，供液前，所述气缸带动柱塞运动，以使柱塞的壁与隔膜贴合。
5.根据权利要求1所述的防止残留液体滴落的装置，其特征在于，供液停止时，气缸带动柱塞向上运动至腔室的顶部，柱塞与隔膜之间形成的密封空间的体积达到最大。
6.根据权利要求5所述的防止残留液体滴落的装置，其特征在于，柱塞与隔膜之间形成的密封空间的体积达到最大时密封空间内的气压小于大气压，在管道的出液口处形成空气空隙。
【专利摘要】本发明揭示了一种防止残留液体滴落的装置，包括：管道、腔室、隔膜、柱塞及气缸。管道具有进液口和出液口；腔室与管道连通；隔膜设置在腔室与管道的连接处，隔膜将腔室与管道隔开；柱塞设置在腔室内，柱塞与隔膜之间形成密封空间；气缸与柱塞连接，气缸能够带动柱塞在腔室内运动，以改变柱塞与隔膜之间形成的密封空间的体积。本发明通过设置腔室、隔膜、柱塞及气缸，当供液结束后，气缸带动柱塞运动，使柱塞与隔膜之间形成的密封空间的气压小于大气压，从而使得隔膜向腔室内凸起，进而使管道内的液体回流，避免了管道内的液体滴落。
【IPC分类】B05B15-04
【公开号】CN104624430
【申请号】CN201310566899
【发明人】代迎伟, 金一诺, 王坚, 王晖
【申请人】盛美半导体设备（上海）有限公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2013年11月14日