振动反射镜元件及振动反射镜元件的制造方法

专利名称：振动反射镜元件及振动反射镜元件的制造方法
技术领域：
本发明涉及振动反射镜元件及振动反射镜元件的制造方法，特别涉及具有驱动部的振动反射镜元件以及具有驱动部的振动反射镜元件的制造方法。
背景技术：
以往，已知有具有驱动部的振动反射镜元件以及具有驱动部的振动反射镜元件的制造方法。例如，在日本特开2009 - 223165号公报及日本特开2008 — 257226号公报中，公开了这样的振动反射镜元件及振动反射镜元件的制造方法。在日本特开2009 — 223165号公报中公开了一种光偏转器(light deflector),在 该光偏转器的通用的基板上形成有一对驱动部，它们配置在X方向上；反射镜部，其配置为在X方向上并且夹在该一对驱动部之间，由一对驱动部使其转动；框架，其在X方向及Y方向(在同一面内与X方向正交的方向)上包围一对驱动部和反射镜部。该光偏转器的一对驱动部中的每个驱动部的一侧端部分别在X方向上的一侧及另一侧与反射镜部相连接。另夕卜，一对驱动部中的每个驱动部的另一侧端部固定在处于与X方向上的反射镜部相反的一侧的框架上。另外，一对驱动部分别被配置为，在其X方向上排列了多个在Y方向上延伸的各压电传动装置(piezoelectric actuator)的状态,并且这些压电传动装置以在其每个端部上相互翻折的状态连续连接。此外，通过对与一对驱动部相对应的部分，除去比反射镜部及框架高出规定高度(厚度)的部分，由此形成该光偏转器，以使反射镜部的厚度及框架的厚度大于一对驱动部的厚度，并且使一对驱动部的厚度大致恒定。另外,在日本特开2008 — 257226号公报中公开了另一种光偏转器,该光偏转器具有反射板；四个振动板，它们在反射板的X方向上的两侧各配置有一对，并且在Y方向(在同一平面上与X方向正交的方向)上延伸；一侧弹性支撑部，其连接反射板的X方向上的一侧和配置在X方向上的一侧的一对振动板中的每个振动板的一侧端部；另一侧弹性支撑部，其连接反射板的X方向的另一侧和配置在X方向上的另一侧的一对振动板的每个振动板的一侧端部。在该光偏转器中，为了容易地使振动板变形，构成为四个振动板的厚度小于一侧弹性支撑部的厚度及另一侧弹性支撑部的厚度的结构。另外，一侧弹性支撑部和另一侧弹性支撑部均在X方向上延伸，可利用扭转形变(torsional deformation)来使反射板倾斜。由此，能够使反射板围绕在Y方向上延伸的转动中心而转动。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2009 - 223165号公报专利文献2 日本特开2008 - 257226号公报

发明内容
发明要解决的问题然而，在日本特开2009 - 223165号公报所述的光偏转器中，在构成为在驱动部的X方向上交替配置未设有压电传动装置的区域(支撑部)和设有压电传动装置的区域的情况下，可认为因驱动部的厚度大致恒定而使得未设有压电传动装置的区域的刚性(相对于外力的变形量)和设有压电传动装置的区域的刚性大致相同。在这里，设有压电传动装置的区域的刚性优选是为了容易使压电传动装置变形的低的刚性，因而可认为与设有压电传动装置的区域的厚度具有大致相同的厚度的未设有压电传动装置的区域的刚性，与设有压电传动装置的区域的刚性同样低。因此，存在如下问题未设有压电传动装置的区域的刚性低，由此因驱动部及反射镜部的自重而导致容易产生弯曲变形。另外，在日本特开2008 — 257226号公报所述的光偏转器中，为了使反射板倾斜，需要使一侧弹性支撑部和另一侧弹性支撑部一同扭转形变，因而可认为需要对一侧弹性支撑部和另一侧弹性支撑部的刚性均设定得低。由此，在构成为使一侧弹性支撑部和另一侧弹性支撑部在Y方向上延伸的情况下，存在如下问题一侧弹性支撑部和另一侧弹性支撑部的刚性低，由此会因反射板及一对振动板的自重导致容易产生弯曲变形。本发明是为了解决上述问题而做出的，本发明的一个目的在于，提供一种能够抑制在支撑部产生弯曲变形的振动反射镜元件及振动反射镜元件的制造方法。 用于解决问题的手段以及发明效果本发明的第一技术方案的振动反射镜元件，具有反射镜部，驱动部，其能够变形，并且包含一侧连接部，而且在第一方向上延伸成直线状，支撑部，其一侧端部侧与驱动部的一侧连接部相连接，并且在第一方向上延伸成直线状；支撑部的厚度大于驱动部的厚度。在本发明的第一技术方案的振动反射镜元件中，如上所述，通过使支撑部的厚度大于驱动部的厚度，即使连接在支撑部上的驱动部等的自重被施加到支撑部上的情况下，也能够使支撑部的刚性增加，所增加的程度为，支撑部的厚度比驱动部的厚度大出的程度，因而能够抑制在支撑部上产生弯曲变形。另外，通过使支撑部的厚度大于驱动部的厚度，能够确保支撑部的刚性的同时缩小支撑部的宽度，因而能够缩小振动反射镜元件整体的尺寸。在上述第一技术方案的振动反射镜元件中，优选地，在使驱动部一边变形一边进行驱动时，支撑部保持驱动部的一侧连接部的倾斜。若这样构成，则能够保持因驱动部变形而产生的支撑部的倾斜。即，在反射镜部连接在支撑部上的情况下，能够基于所保持的支撑部的倾斜，来使反射镜部倾斜。此时，优选地，驱动部通过弯曲变形来进行驱动；支撑部被抑制弯曲变形，并且保持驱动部的一侧连接部的倾斜。若这样构成，则支撑部能够可靠地保持因驱动部的弯曲变形而产生的驱动部的一侧连接部的倾斜。在上述第一技术方案的振动反射镜元件中，优选地，支撑部包括第一部分，其包含基板，并且具有第一厚度，第二部分，其形成在基板上，并且具有比第一厚度小的第二厚度；驱动部由具有第二厚度的第三部分构成；支撑部在厚度方向上被层叠第一部分和第二部分，由此使支撑部的厚度大于驱动部的第三部分的厚度。若这样构成，则能够使支撑部的厚度比驱动部的厚度大第一部分所具有的第一厚度。另外，由于第二厚度小于第一厚度，能够容易地使支撑部的厚度大于驱动部的厚度。在上述第一技术方案的振动反射镜元件中，优选地，支撑部的与第一方向正交的第二方向上的宽度，在驱动部的第二方向上的宽度以下。若这样构成，则与在支撑部的宽度大于驱动部的宽度的状态下构成振动反射镜元件的情况相比，能够使支撑部的厚度大于驱动部的厚度而确保支撑部的刚性，并且能够缩小振动反射镜元件整体的第二方向上的尺寸。在上述第一技术方案的振动反射镜元件中，优选地，支撑部包括反射镜支撑部，该反射镜支撑部在其另一侧端部侧与反射镜部相连接，并且在驱动部进行驱动时以使反射镜部倾斜的状态支撑该反射镜部。若这样构成，则能够使反射镜支撑部容易地保持使反射镜部倾斜的状态。在上述第一技术方案的振动反射镜元件中，优选地，驱动部包括第一驱动部，其形成为悬臂梁状，并且在与一侧连接部相反的一侧具有固定端，第二驱动部，其在与一侧连接部相反的一侧具有另一侧连接部；支撑部包括连 接支撑部，该连接支撑部在其一侧端部侧与第一驱动部的一侧连接部或第二驱动部的一侧连接部相连接，并且在其另一侧端部侧与第二驱动部的另一侧连接部相连接；连接支撑部的厚度大于第一驱动部的厚度及第二驱动部的厚度。若这样构成，则在由悬臂梁状的第一驱动部及第二驱动部和与第一驱动部及第二驱动部相连接的连接支撑部构成的振动反射镜元件中，能够使连接支撑部的刚性增加连接支撑部的厚度比第一驱动部的厚度及第二驱动部的厚度大的程度，因而能够抑制在连接支撑部上产生弯曲变形。此时，优选地，连接支撑部的与第一方向正交的第二方向上的宽度，在第一驱动部的第二方向上的宽度以下，并且在第二驱动部的第二方向上的宽度以下。若这样构成，则与在连接支撑部的宽度大于第一驱动部的宽度及第二驱动部的宽度的状态下构成振动反射镜元件的情况相比，通过使与第一驱动部及第二驱动部相连接的连接支撑部的厚度大于第一驱动部及第二驱动部的厚度，能够确保连接支撑部的刚性，并且能够缩小振动反射镜元件整体的第二方向上的尺寸。在上述连接支撑部的厚度大于第一驱动部的厚度及第二驱动部的厚度的振动反射镜元件中，优选地，支撑部还包括反射镜支撑部，该反射镜支撑部在其另一侧端部侧与反射镜部相连接，并且在驱动部进行驱动时以使反射镜部倾斜的状态支撑该驱动部；反射镜支撑部在其一侧端部侧与第二驱动部的一侧连接部相连接；反射镜支撑部的厚度大于第一驱动部的厚度及第二驱动部的厚度。若这样构成，则包括与反射镜部及第二驱动部相连接的反射镜支撑部的振动反射镜元件中，能够使反射镜支撑部的刚性增加反射镜支撑部的厚度比第一驱动部的厚度及第二驱动部的厚度大的程度，因而能够抑制在反射镜支撑部上产生弯曲变形。在上述反射镜支撑部在其一侧端部侧与第二驱动部的一侧连接部相连接的振动反射镜元件中，优选地，分别设置多个相同个数的第二驱动部和连接支撑部；在第二方向上朝向从反射镜支撑部侧至第一驱动部侧的方向，以交替排列的方式配置第二驱动部连接支撑部的状态下，以使相邻的构件相互依次在第一方向上的一侧及另一侧中的某一侧交替翻折的方式，连接而从反射镜支撑部至第一驱动部为止连续连接第二驱动部和连接支撑部。若这样构成，则能够基于第一驱动部和连接支撑部的连接部分的位移，来使第二驱动部驱动，并且能够基于第一驱动部侧的第二驱动部和连接支撑部的连接部分的位移，来使反射镜支撑部侧的第二驱动部驱动，因而能够增大反射镜支撑部的倾斜角度。由此，能够增大反射镜部的倾斜角度。
在上述第一技术方案的振动反射镜元件中，优选地，驱动部、支撑部及反射镜部以一体方式形成。若这样构成，则通过在驱动部、支撑部及反射镜部以一体方式形成的状态下，通过对形成有驱动部的部分除去规定的高度(厚度)，能够容易地形成支撑部的厚度大于驱动部的厚度的振动反射镜元件。另外，不需另行进行相互连接驱动部、支撑部和反射镜部的处理，因而能够缩短振动反射镜元件的制造工序。在上述第一技术方案的振动反射镜元件中，优选地，反射镜部围绕第一转动中心转动；反射镜部包括反射镜，反射镜部侧驱动部，其使反射镜围绕第二转动中心转动，该第二转动中心在反射镜的面内方向上与第一转动中心正交。若这样构成，则能够得到反射镜能够准确地反射光并且能够利用光进行二维扫描的振动反射镜元件。此时，优选地，驱动部基于第一频率来使反射镜部围绕第一转动中心转动；反射镜部侧驱动部基于比第一频率大的第二频率来使反射镜围绕第二转动中心转动。若这样构成，则反射镜部能够以比围绕第一转动中心转动速度更快地围绕第二转动中心转动的方式，利用光进行二维扫描。
在上述第一技术方案的振动反射镜元件中，优选地，支撑部形成为其厚度在第一方向上大致恒定。若这样构成，则能够在第一方向上大致均等一致地保持支撑部的刚性，因而能够容易地抑制在支撑部上产生弯曲变形。在上述第一技术方案的振动反射镜元件中，优选地，以夹着反射镜部的方式设置一对驱动部；以夹着反射镜部的方式设置一对支撑部；一对驱动部具有以反射镜部的中心为中心大致而点对称的关系，并且一对支撑部具有以反射镜部的中心为中心而大致点对称的关系。若这样构成，则能够由处于大致点对称的配置关系的一对驱动部和处于大致点对称的配置关系的一对支撑部来支撑反射镜部。由此，能够均等地分散反射镜部的自重，因而能够更加可靠地使反射镜部倾斜。本发明的第二技术方案的振动反射镜元件的制造方法，具有以下工序在同一基板上形成振动反射镜元件部分的工序，上述振动反射镜元件包括反射镜部，驱动部，其能够变形，并且具有一侧连接部，而且在第一方向上延伸成直线状，支撑部，其一侧端部侧与驱动部的一侧连接部相连接，并且在第一方向上延伸成直线状；通过除去基板上的与驱动部相对应的部分的至少一部分，来使支撑部的厚度大于驱动部的厚度的工序。在本发明的第二技术方案的振动反射镜元件的制造方法中，如上所述，通过具有使支撑部的厚度大于驱动部的厚度的工序，即使在连接在支撑部上的驱动部等的自重施加到支撑部上的情况下，也能够使支撑部的刚性增加，所增加的程度为，支撑部的厚度比驱动部的厚度大出的程度，因而能够得到抑制了在支撑部上产生弯曲变形的振动反射镜元件。在上述第二技术方案的振动反射镜元件的制造方法中，优选地，基板是半导体基板；使支撑部的厚度大于驱动部的厚度的工序，包括通过蚀刻来除去半导体基板上的与驱动部相对应的部分的工序。若这样构成，则通过利用蚀刻除去与驱动部相对应的部分的半导体基板，能够容易地使支撑部的厚度大于驱动部的厚度。此时，优选地，在同一基板上形成振动反射镜元件部分的工序，包括在设置半导体基板上的蚀刻阻止层上形成振动反射镜元件部分的工序；通过蚀刻来除去与驱动部相对应的部分的工序，包括从形成有振动反射镜元件部分的一侧相反的一侧起，通过蚀刻来除去与驱动部相对应的部分的半导体基板，并且蚀刻至到达蚀刻阻止层为止的工序。若这样构成，则能够通过蚀刻阻止层来抑制不仅蚀刻半导体基板而还会蚀刻至振动反射镜元件部分为止的情况。在除去上述半导体基板至达到蚀刻阻止层为止的振动反射镜元件的制造方法中，优选地,通过蚀刻来除去与驱动部相对应的部分的工序,还具有通过蚀刻来除去蚀刻阻止层上的与除去了半导体基板的驱动部相对应的部分的工序。若这样构成，则能够使驱动部的厚度缩小蚀刻阻止层被除去的厚度，因而能够使驱动部变形得更大。在上述第二技术方案的振动反射镜元件的制造方法中，优选地，在同一基板上形成振动反射镜元件部分的工序，包括形成驱动部的工序和形成支撑部的工序，其中，上述驱动部包括第一驱动部和第二驱动部，上述第一驱动部形成为悬臂梁状，并且在与一侧连接部相反的一侧具有固定端，上述第二驱动部在与一侧连接部相反的一侧具有另一侧连接部，上述支撑部在与一侧端部侧与第一驱动部的一侧连接部或第二驱动部的一侧连接部相连接，并且在其另一侧端部侧与第二驱动部的另一侧连接部相连接；使支撑部的厚度大于 驱动部的厚度的工序，包括通过除去基板上的与第一驱动部及第二驱动部相对应的部分的至少一部分，来使连接支撑部的厚度大于第一驱动部的厚度及第二驱动部的厚度的工序。若这样构成，则在由悬臂梁状的第一驱动部及第二驱动部和与第一驱动部及第二驱动部相连接的连接支撑部构成的振动反射镜元件中，能够使连接支撑部的刚性增加连接支撑部的厚度比第一驱动部的厚度及第二驱动部的厚度大的程度，因而能够抑制在连接支撑部上产生弯曲变形。


图I是示出了本发明的一个实施方式的振动反射镜元件的结构的立体图。图2是示出了本发明的一个实施方式的振动反射镜元件的结构的俯视图。图3是从E方向(F方向)观察图2所示的振动反射镜元件时的侧视图。图4是沿图2所示的振动反射镜元件的1000 - 1000线的放大剖视图。图5是沿图2所示的振动反射镜元件的2000 — 2000线的放大剖视图。图6是沿图2所示的振动反射镜元件的3000 - 3000线的放大剖视图。图7是沿图2所示的振动反射镜元件的4000-4000线的放大剖视图。图8是沿图2所示的振动反射镜元件的5000 — 5000线的放大剖视图。图9是示出了本发明的一个实施方式的振动反射镜元件的驱动部的上表面侧的放大剖视图。图10是示出了本发明的一个实施方式的振动反射镜元件的连接支撑部及反射镜支撑部的上表面侧的放大剖视图。图11是示出了本发明的一个实施方式的振动反射镜元件向BI侧倾斜了规定倾斜角度的状态的立体图。图12是示出了本发明的一个实施方式的振动反射镜元件倾斜了规定倾斜角度的状态的侧视图。图13是示出了本发明的一个实施方式的振动反射镜元件倾斜了规定倾斜角度的状态的侧视图。图14是示出了本发明的一个实施方式的振动反射镜元件朝向B2侧倾斜了规定倾斜角度的状态的立体图。图15是示出了本发明的一个实施方式的振动反射镜元件的制造工序的剖视图。图16是本发明的一个实施方式的振动反射镜元件的制造工序的剖视图。图17是示出了本发明的一个实施方式的振动反射镜元件的制造工序的剖视图。图18是示出了本发明的一个实施方式的第一变形例的振动反射镜元件的结构的俯视图。图19是示出了本发明的一个实施方式的第二变形例的振动反射 镜元件的结构的立体图。图20是示出了本发明的一个实施方式的第三变形例的振动反射镜元件的结构的立体图。
具体实施例方式下面，参照附图，对本发明的具体实施方式
进行说明。首先，参照图I至图10，对本发明的一个实施方式的振动反射镜元件100的结构进行说明。如图I至图3所不,本发明的一个实施方式的振动反射镜兀件100具有X方向光扫描部10，其使用后述的反射镜11在X方向上利用光进行扫描；Y方向光扫描部30，其使用反射镜11在与X方向正交的Y方向上利用光进行扫描。另外，如图4至图8所示，X方向光扫描部10及Y方向光扫描部30以一体方式形成在具有大约0. Imm的厚度tl的通用的上部Si基板I上。此外，X方向光扫描部10是本发明的“反射镜部”的一例。另外，就振动反射镜元件100而言，组装在未图示的投影仪(projector)等用于利用光进行扫描的设备上，使用X方向光扫描部10在X方向上利用光进行扫描，并且使用Y方向光扫描部30在Y方向上利用光进行扫描。另外，X方向光扫描部10以大约30kHz的共振频率进行共振驱动，另一方面，Y方向光扫描部30以大约60Hz的频率进行非共振驱动。在这里，通过使Y方向光扫描部30进行非共振驱动，不存在由振动反射镜元件100的周围的温度变化引起的共振频率的变化，因而能够稳定地驱动后述的反射镜U。此外，大约30kHz的共振频率是本发明的“第二频率”的一例，大约60Hz的频率是本发明的“第一频率”的一例。另外，如图I及图2所示，X方向光扫描部10包括反射镜11 ;扭杆(torsion bar)12及13，它们能够扭转形变，并且与反射镜11相连接；杆14，其能够倾斜，并且与扭杆12相连接；杆15，其能够倾斜，并且与扭杆13相连接；内侧驱动部16及17，它们与杆14及15相连接；固定部18及19，它们固定内侧驱动部16及17 ;框体20。另外，如图2所示，框体20(X方向光扫描部10)在Y方向上具有大约5mm的长度LI，并且在X方向具有大约4mm的长度L2。此外，内侧驱动部16及17是本发明的“反射镜部侧驱动部”的一例。另外，如图4及图8所示，除去框体20之后的X方向光扫描部10在Z方向上具有大约0. Imm的厚度tl，另一方面，框体20具有比tl厚的大约0. 5mm的厚度t2。此外，除去框体20之后的X方向光扫描部10包括具有大约0. Imm的厚度tl的上部Si基板1，另一方面，框体20包括具有大约0. Imm的厚度tl的上部Si基板I、形成在上部Si基板I的下表面(Z2侧)上的薄的SiO2层2以及形成在SiO2层2的下表面上的具有大约0. 4mm的厚度的下部Si基板3。另外，如图2所示，反射镜11和扭杆12及13因共振而倾斜，其倾斜角度在杆14及15的倾斜角度以上。另外，振动反射镜元件100在X方向上利用光进行扫描时的转动中心Rl以及在Y方向上利用光进行扫描时的转动中心R2，均穿过反射镜11的中心R3。该反射镜11的中心R3位于X方向光扫描部10的X方向及Y方向的中央位置。此外，转动中心Rl是本发明的“第二转动中心”的一例，转动中心R2是本发明的“第一转动中心”的一例。另外，Y方向是本发明的“第一方向”的一例，X方向是本发明的“第二方向”的一例。另外，如图I所示，内侧驱动部16及17分别以固定部18及19为固定端而在Z方向上弯曲变形为凹形状或凸形状。通过使该内侧驱动部16和内侧驱动部17向相反的方向变形，能够使反射镜11围绕转动中心Rl (参照图2)而向Al方向或A2方向倾斜。另外，通过重复该变形动作，X方向光扫描部10使反射镜11围绕转动中心Rl在A方向上振动而在X方向上利用光进行扫描。此外，如图4所示，内侧驱动部16及17具有在上部Si基板I的上表面(Zl侧的面)上形成有压电传动装置60的结构。此外，关于压电传动装置60的结构则后述。另外，如图2所示，Y方向光扫描部30具有驱动单元40，其形成在X方向光扫描部10的Xl侧；驱动单元50，其形成在X方向光扫描部10的X2侧。S卩，驱动单元40和驱动单元50配置为在X方向上且夹着X方向光扫描部10。另外，在驱动单元40中，在X方向上从Xl侧向X2侧的方向依次排列配置有驱动部41、连接支撑部42、驱动部43、连接支撑部44、驱动部45及反射镜支撑部46。另外，在驱动单元50中，在X方向上从X2侧向Xl侧的方向依次排列配置有驱动部51、连接支撑部52、驱动部53、连接支撑部54、驱动部55及反射镜支撑部56。另外，驱动部41、连接支撑部
42、驱动部43、连接支撑部44、驱动部45及反射镜支撑部46在Y方向上延伸成直线状，并且，驱动部51、连接支撑部52、驱动部53、连接支撑部54、驱动部55及反射镜支撑部56在Y方向上延伸成直线状。此外，驱动部41及51均是本发明的“第一驱动部”的一例，驱动部
43、45、53及55均是本发明的“第二驱动部”的一例。另外，连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56均是本发明的“支撑部”的一例。在这里，在本实施方式中，如图4、图6及图7所示，驱动部41、43、45、51、53及55均在Z方向上具有大约0. Imm的厚度tl，另一方面，连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46 (参照图6)及56 (参照图7)均具有大约0.5mm的厚度t2。即，连接支撑部42、44、52及54的Z方向上的厚度t2和反射镜支撑部46及56的Z方向上的厚度t2大致相同，并且驱动部41、43、45、51、53及55的Z方向上的厚度tl大致相同。另外，连接支撑部42、44,52及54和反射镜支撑部46及56的Z方向上的厚度t2 (大约0. 5mm)大于驱动部41、
43、45、51、53及55的Z方向上的厚度tl (大约0. 1_)。另外，如图8所示，驱动部41、43、45、51、53及55均具有与除去框体20之后的X方向光扫描部10大致相同的Z方向上的厚度tl。S卩，驱动部41、43、45、51、53及55包括具有大约0. Imm的厚度tl的上部Si基板I。此外，位于与驱动部41、43、45、51、53及55相对应的位置上的上部Si基板I是本发明的“第三部分”的一例。另一方面，连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46 (参照图6)及56 (参照图7)，具有与框体20大致相同的Z方向上的厚度t2。S卩，连接支撑部42、44、52及54和反、射镜支撑部46及56包括具有大约0. Imm的厚度tl的上部Si基板I、形成在上部Si基板I的下表面(Z2侧)上的薄的SiO2层2、形成在SiO2层2的下表面上的具有大约0. 4mm的厚度(t2 — tl)的下部Si基板3。此外，位于与连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56相对应的位置上的上部Si基板I是本发明的“第二部分”的一例，下部Si基板3是本发明的“基板”的一例。另外，由SiO2层2及下部Si基板3构成本发明的“第一部分”的一例。另外，厚度tl是本发明的“第二厚度”的一例，厚度(t2 — tl)是本发明的“第一厚度”的一例。另外，如图3及图4所示，驱动部41、43、45、51、53及55，在X方向(参照图4)及Y方向(参照图3)上全部具有大致相同的Z方向上的厚度tl (参照图4)，并且，连接支撑部
42、44、52及54和反射镜支撑部46及56，在X方向(参照图4、图6及图7)及Y方向(参照图3)上全部具有大致相同的Z方向上的厚度t2。另外，如图2所示，在本实施方式中，驱动部41、43、45、51、53及55在Y方向上具 有大约12mm的长度L3，并且在X方向上具有大约0. 4mm的宽度Wl。另外，连接支撑部42、44,52及54在Y方向上具有大约12mm的长度L3，并且在X方向上具有大约0. 3mm的宽度W2。另外，反射镜支撑部46及56在Y方向是具有大约3. 5mm的长度L4，并且在X方向上具有大约0. 3mm的宽度W2。S卩，连接支撑部42、44、52及54的X方向上的宽度W2和反射镜支撑部46及56的X方向上的宽度W2大致相同，并且驱动部41、43、45、51、53及55的X方向上的宽度Wl大致相同。另外，连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的X方向上的宽度W2 (大约0. 3mm)小于驱动部41、43、45、51、53及55的X方向上的宽度Wl (大约 0. 4mm).另外，在驱动部41、43、45、51、53及55的非驱动状态下，穿过反射镜11的中心R3的转动中心R2，穿过驱动部41、43、45、51、53及55和连接支撑部42、44、52及54的Y方向上的大致中央位置。另外，驱动单元40和驱动单元50具有以反射镜11的中心R3为中心而大致点对称的关系。具体而言，如图2所示，驱动单元40的驱动部41的Yl侧端部41a固定在未图示的外框体上。即，驱动部41具有以Yl侧端部41a为固定端并且以Y2侧端部41b为自由端的悬臂梁状的结构。由此，在驱动部41进行驱动时，驱动部41以翘曲的方式弯曲变形，由此使端部41b在Z方向(参照图I)上发生位移而使该端部41b倾斜。此时，即使在驱动部41进行驱动时,作为固定端的端部41a也不发生位移。由此，作为自由端的端部41b的切线(tangent)Cl (参照图3)相对于作为固定端的端部41a的切线CO (参照图3)，倾斜第一倾斜角度。此外，在本实施方式中，切线CO位于水平面上。另外，在驱动部41的Y2侧端部41b附近设有连接部41c。驱动部41在其连接部41c上与连接支撑部42的Y2侧端部42a附近的连接部42b相连接。另外，在驱动部41的驱动状态下，即使在驱动部41的端部41b在Z方向(参照图I)上发生了位移的状态下，连接支撑部42也几乎不弯曲。由此，在驱动部41的驱动状态下，连接支撑部42位于作为自由端的驱动部41的端部41b的切线Cl上，由此该连接支撑部42相对于作为固定端的驱动部41的端部41a的切线CO而倾斜第一倾斜角度。即，连接支撑部42保持驱动部41的端部41b (连接部41c)的倾斜。此外，连接部41c是本发明的“一侧连接部”的一例，端部42a是本发明的“一侧端部”的一例。
另外，在连接支撑部42的Yl侧端部42c附近设有连接部42d。连接支撑部42在其连接部42d上与驱动部43的Yl侧端部43a附近的连接部43b相连接。此外，连接支撑部42几乎不弯曲，由此连接部42d位于切线Cl (参照图3)上。由此，连接在连接部42d上的驱动部43的连接部43b (端部43a)位于切线Cl上，并且相对于切线CO (参照图3)而倾斜第一倾斜角度。此外，端部42c是本发明的“另一侧端部”的一例，连接部43b是本发明的“另一侧连接部”的一例。另外，连接在连接支撑部42的连接部42d上的驱动部43，以Yl侧连接部43b (端部43a)为基准而变形。由此，在驱动部43进行驱动时，驱动部43以翘曲(反转)的方式弯曲变形，由此使端部43c在Z方向(参照图I)上发生位移而使该端部43c相对于连接支撑部42而倾斜。由此，端部43c的切线C2 (参照图3)相对于作为基准的端部43a的切线Cl(参照图3)而倾斜第二倾斜角度。 另外，如图2所示，在驱动部43的Y2侧端部43c附近设有连接部43d。驱动部43在其连接部43d上与连接支撑部44的Y2侧端部44a附近的连接部44b相连接。另外，在驱动部43的驱动状态下，即使在驱动部43的端部43c在Z方向(参照图I)上发生了位移的状态下，连接支撑部44也几乎不弯曲。由此，在驱动部43的驱动状态下，连接支撑部44位于驱动部43的端部43c的切线C2上，由此该连接支撑部44相对于作为基准的端部43a的切线Cl而倾斜第二倾斜角度。即，连接支撑部44保持驱动部43的端部43c (连接部43d)的倾斜。此外，连接部43d是本发明的“一侧连接部”的一例，端部44a是本发明的“一侧端部”的一例。另外，在连接支撑部44的Yl侧端部44c的附近设有连接部44d。连接支撑部44在其连接部44d上与驱动部45的Yl侧端部45a附近的连接部45b相连接。此外，连接支撑部44几乎不弯曲，由此，连接部44d位于切线C2(参照图3)上。由此，连接在连接部44d上的驱动部45的连接部45b (端部45a)位于切线C2上，并且相对于切线Cl (参照图3)而倾斜第二倾斜角度。此外，端部44c是本发明的“另一侧端部”的一例，连接部45b是本发明的“另一侧连接部”的一例。另外，连接在连接支撑部44的连接部44d上的驱动部45以Yl侧连接部45b (端部45a)为基准而变形。由此，在驱动部45进行驱动时，驱动部45以翘曲的方式弯曲变形，由此使端部45c在Z方向(参照图I)上发生位移而使该端部45c相对于连接支撑部44倾斜。由此，端部45c的切线C3 (参照图3)相对于作为基准的端部45a的切线C2 (参照图3)而倾斜第三倾斜角度。另外，如图2所示，在驱动部45的Y2侧端部45c附近设有连接部45d。驱动部45在其连接部45d上与反射镜支撑部46的Y2侧端部46a附近的连接部46b相连接。另外，在驱动部45的驱动状态下，即使在驱动部45的端部45c在Z方向(参照图I)上发生了位移的状态下，反射镜支撑部46也几乎不弯曲。由此，在驱动部45的驱动状态下，反射镜支撑部46位于驱动部45的端部45c的切线C3上，由此，该反射镜支撑部46相对于作为基准的端部45a的切线C2而倾斜第三倾斜角度。即，反射镜支撑部46保持驱动部45的端部45c(连接部45d)的倾斜。其结果，反射镜支撑部46相对于切线CO (位于水平面上，参照图3)而向BI侧或B2侧(参照图I)倾斜第四倾斜角度，该第四倾斜角度是对第一倾斜角度、第二倾斜角度和第三倾斜角度大致合计而得出的角度。此外，连接部45d是本发明的“一侧连接部”的一例，端部46a是本发明的“一侧端部”的一例。另外，反射镜支撑部46的Yl侧端部46c连接在X方向光扫描部10的框体20的Y2侧的侧面的Xl侧端部附近。由此，在驱动单元40中，从X2侧的反射镜支撑部46向Xl侧的驱动部41的方向，以使相邻的构件相互依次在Yl侧端部附近或Y2侧端部附近被交替翻折的方式连接这些构件，由此成为从反射镜支撑部46至驱动部41连续连接的状态。此夕卜，端部46c是本发明的“另一侧端部”的一例。另外，如图2所示，驱动单元50的驱动部51的Y2侧端部51a固定在未图示的外框体上。即，驱动部51具有以Y2侧端部51a为固定端并且以Yl侧端部51b为自由端的悬臂梁状的结构。由此，在驱动部51进行驱动时，驱动部51以翘曲的方式弯曲变形，由此使端部51b在Z方向(参照图I)上发生位移而使该端部51b倾斜。此时，即使在驱动部51进行驱动时,作为固定端的端部51a也不发生位移。由此，作为自由端的端部51b的切线Dl(参照图3)相对于作为固定端的端部51a的切线DO (参照图3)而倾斜第五倾斜角度。此夕卜，在本实施方式中，切线DO位于水平面上。另外，在驱动部51的Yl侧端部51b附近设有连接部51c。驱动部51在其连接部51c上与连接支撑部52的Yl侧端部52a附近的连接部52b相连接。另外，在驱动部51的驱动状态下，即使在驱动部51的端部51b在Z方向(参照图I)发生位移的状态下，连接支撑部52也几乎不弯曲。由此，在驱动部51的驱动状态下，连接支撑部52位于作为自由端的驱动部51的端部51b的切线Dl上，由此，该连接支撑部52相对于作为固定端的驱动部51的端部51a的切线DO而倾斜第五倾斜角度。即，连接支撑部52保持驱动部51的端部51b (连接部51c)的倾斜。此外，连接部51c是本发明的“一侧连接部”的一例，端部52a是本发明的“一侧端部”的一例。另外，在连接支撑部52的Y2侧端部52c附近设有连接部52d。连接支撑部52在其连接部52d上与驱动部53的Y2侧端部53a附近的连接部53b相连接。此外，连接支撑部52几乎不弯曲，由此，连接部52d位于切线Dl (参照图3)上。由此，连接在连接部52d上的驱动部53的连接部53b (端部53a)位于切线Dl上，并且相对于切线DO (参照图3)而倾斜第五倾斜角度。此外,端部52c是本发明的“另一侧端部”的一例,连接部53b是本发明的“另一侧连接部”的一例。另外，连接在连接支撑部52的连接部52d上的驱动部53以Y2侧连接部53b (端部53a)为基准而变形。由此，在驱动部53进行驱动时，驱动部53以翘曲的方式弯曲变形，由此使端部53c在Z方向(参照图I)上发生位移而使该端部53c相对于连接支撑部52倾斜。由此，端部53c的切线D2 (参照图3)相对于作为基准的端部53a的切线Dl (参照图3)而倾斜第六倾斜角度。另外，如图2所示，在驱动部53的Yl侧端部53c附近设有连接部53d。驱动部53在其连接部53d上与连接支撑部54的Yl侧端部54a附近的连接部54b相连接。另外，在驱动部53的驱动状态下，即使驱动部53的端部53c在Z方向(参照图I)是发生位移的状 态下，连接支撑部54也几乎不弯曲。由此，在驱动部53的驱动状态下，连接支撑部54位于驱动部53的端部53c的切线D2上，由此，该连接支撑部54相对于作为基准的端部53a的切线Dl而倾斜第六倾斜角度。即，连接支撑部54保持驱动部53的端部53c (连接部53d)的倾斜。此外，连接部53d是本发明的“一侧连接部”的一例，端部54a是本发明的“一侧端部”的一例。另外，在连接支撑部54的Y2侧端部54c附近设有连接部54d。连接支撑部54在其连接部54d上与驱动部55的Y2侧端部55a附近的连接部55b相连接。此外，连接支撑部54几乎不弯曲，由此连接部54d位于切线D2 (参照图3)上。由此，连接在连接部54d上的驱动部55的连接部55b (端部55a)位于切线D2上，并且相对于切线Dl (参照图3)而倾斜第六倾斜角度。此外，端部54c是本发明的“另一侧端部”的一例，连接部55b是本发明的“另一侧连接部”的一例。另外，连接在连接支撑部54的连接部54d上的驱动部55以Y2侧连接部55b (端部55a)为基准而变形。由此，在驱动部55进行驱动时，驱动部55以翘曲的方式弯曲变形，由此使端部55c在Z方向(参照图I)上发生位移而使端部55c该相对于连接支撑部54倾斜。由此，端部55c的切线D3 (参照图3)相对于作为基准的端部55a的切线D2 (参照图3)而倾斜第七倾斜角度。 另外，如图2所示，在驱动部55的Yl侧端部55c附近设有连接部55d。驱动部55在其连接部55d上与反射镜支撑部56的Yl侧端部56a附近的连接部56b相连接。另外，在驱动部55的驱动状态下，即使驱动部55的端部55c在Z方向(参照图I)发生了位移的状态下，反射镜支撑部56也几乎不弯曲。由此，在驱动部55的驱动状态下，反射镜支撑部56位于驱动部55的端部55c的切线D3上，由此，该反射镜支撑部56相对于作为基准的端部55a的切线D2而倾斜第七倾斜角度。即，反射镜支撑部56保持驱动部55的端部55c(连接部55d)的倾斜。其结果，反射镜支撑部56相对于切线DO (位于水平面上，参照图3)而向BI侧或B2侧(参照图I)倾斜第八倾斜角度，该第八倾斜角度是对第五倾斜角度、第六倾斜角度和第七倾斜角度大致合计而得出的角度。此外，连接部55d是本发明的“一侧连接部”的一例，端部56a是本发明的“一侧端部”的一例。另外，反射镜支撑部56的Y2侧端部56c连接在X方向光扫描部10的框体20的Yl侧的侧面的X2侧端部附近。由此，在驱动单元50中，从Xl侧的反射镜支撑部56向X2侧的驱动部51的方向，以使相邻的构件相互依次在Yl侧端部附近或Y2侧端部附近被交替翻折的方式连接这些构件，由此成为从反射镜支撑部56至驱动部51连续连接的状态。此夕卜，端部56c是本发明的“另一侧端部”的一例。另外，在驱动部41、43、45、51、53及55的非驱动状态下，X方向光扫描部10及Y方向光扫描部30 (驱动单元40及50)被配置为，与穿过驱动部41的Yl侧端部(固定端)41a和驱动部51的Y2侧端部(固定端)51a的平面(水平面)大致平行。另外，驱动部41、43、45、51、53及55通过被施加电压而变形，由此进行驱动，并且，向驱动部41、43及45施加的电压和向驱动部51、53及55施加的电压相互相位相反。另外，驱动部41、43、45、51、53及55中的每个驱动部因被施加电压以变形的方式驱动时，驱动单元40和驱动单元50具有大致点对称的关系，由此，反射镜支撑部46和反射镜支撑部56的倾斜程度是大致相同的程度。进而，向驱动部41、43及45施加的电压和向驱动部51、53及55施加的电压相互相位相反，由此，反射镜支撑部46相对于切线CO (位于水平面上)的第四倾斜角度和反射镜支撑部56相对于切线DO (位于水平面上)的第八倾斜角度，相对于水平面而对称。即，反射镜支撑部56相对于水平面的第八倾斜角度与反射镜支撑部46相对于水平面的第四倾斜角度的朝向相反，并且大小(纯量(scalar))大致相同。
另外，就X方向光扫描部10而言，在X方向光扫描部10的框体20的Y2侧的侧面的Xl侧端部附近与反射镜支撑部46相连接，另一方面，在框体20的Yl侧的侧面的X2侧端部附近与反射镜支撑部56相连接，由此，框体20的Yl侧的侧面位于比Y2侧的侧面更靠近上方(Zl侧)的位置或更靠近下方(Z2侧)的位置，从而使该X方向光扫描部10在B方向(参照图I)上倾斜。其结果，就X方向光扫描部10而言，在位于包含切线C3及D3的平面上的状态下，被反射镜支撑部46及56以倾斜状态支撑。此外，关于Y方向光扫描部30的具体的驱动动作则后述。另外，如图4至图8所示，驱动部41、43、45、51、53及55具有在上部Si基板I的上表面(Zl侧的面)上依次层叠有压电传动装置60、由聚酰亚胺(polyimide)构成的绝缘层70、配线部80的结构。此外，配线部80由Al (招)、Cr (铬)、Cu (铜)、Au (金)或Pt (钼)等具有导电性的金属材料构成。另外，如图4及图8所示，配线部80形成在驱动部41、43、45、51、53及55的X方向上的大致中央位置，并且如图5所示，该配线部80形成为在Y方向上 延伸。此外，在驱动部41、43、45、51、53及55上，压电传动装置60、绝缘层70及配线部80的合计厚度比上部Si基板I的厚度tl小，因而驱动部41、43、45、51、53及55的厚度与上部Si基板I的厚度tl大致相同。另外，如图9所示，压电传动装置60具有从上部Si基板I侧(Z2侧)起层叠有下部电极61、压电体62和上部电极63的结构。此外，下部电极61由Ti (钛)或Pt等构成，并且形成在上部Si基板I的上表面上。由此，能够在上部Si基板I的任意部分上，对压电传动装置60的下部电极61进行配线处理。此外，压电传动装置60的厚度相对于上部Si基板I而足够小，因而在图3、图12及图13中，对形成在驱动部41、43、45、51、53及55上的压电传动装置60省略图示。另外，下部电极61的厚度足够小，因而在图9、图10及图15以外的附图中，对形成在上部Si基板I的上表面上的下部电极61省略图示。另外，压电体62由锆钛酸铅(PZT)构成，并且在膜厚方向(Z方向)上被极化，由此在被施加电压时进行伸缩。另外，上部电极63由Al、Cr、Cu、Au或Pt等具有导电性的金属材料构成。另外，如图5及图9所示，形成在驱动部41、43、45、51、53及55的上表面上的绝缘层70的规定位置上，形成有用于连接配线部80和上部电极63的配线孔70a。另外，位于配线孔70a的内部的配线部80与上部电极63相连接，由此上部电极63和配线部80被电连接。另外，如图10所示，连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56，具有在上部Si基板I的上表面(Zl侧的面)上依次层叠有下部电极61、压电体62、绝缘层70及配线部80的结构。此外，如图4及图6至图8所示，配线部80形成在连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46 (参照图6)及反射镜支撑部56 (参照图7)的X方向上的大致中央位置，并且该配线部80形成为在Y方向上延伸。此外，在连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56上，下部电极61、压电体62、绝缘层70及配线部80的合计厚度比上部Si基板I的厚度11及下部Si基板3的厚度(t2 - tl)小，因而连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的厚度，与上部Si基板I的厚度和下部Si基板3的厚度的合计t2大致相同。另外，如图6及图7所示，在Yl侧连接部和Y2侧连接部上，支撑部(连接支撑部及反射镜支撑部)的上表面(Zl侧的面)上的配线部80和驱动部的上表面上的配线部80相互连接。具体而言，如图6所示，在Y2侧(参照图2)，在驱动部41的连接部41c和连接支撑部42的连接部42b的上表面上，配线部80相互连接，并且在驱动部43的连接部43d和连接支撑部44的连接部44b的上表面上，配线部80相互连接，并且在驱动部45的连接部45d和反射镜支撑部46的连接部46b的上表面上，配线部80相互连接。另外，在Y2侧，在连接支撑部52的连接部52d和驱动部53的连接部53b的上表面上，配线部80相互连接，并且在连接支撑部54的连接部54d和驱动部55的连接部55b的上表面上，配线部80相互连接。另外，如图7所示，在Yl侧(参照图2)，在连接支撑 部42的连接部42d和驱动部43的连接部43b的上表面上，配线部80相互连接，并且在连接支撑部44的连接部44d和驱动部45的连接部45b的上表面上，配线部80相互连接。另外，在Yl侧，在驱动部51的连接部51c和连接支撑部52的连接部52b的上表面上，配线部80相互连接，并且在驱动部53的连接部53d和连接支撑部54的连接部54b的上表面上，配线部80相互连接，并且在驱动部55的连接部55d和反射镜支撑部56的连接部56b的上表面上，配线部80相互连接。由此，形成在驱动单元40的上表面上的配线部80向驱动单元40 (驱动部41、43及45)施加同一电压，并且形成在驱动单元50的上表面上的配线部80对驱动单元50 (驱动部51、53及55)施加同一电压。另外，经由形成在反射镜支撑部46的上表面上的配线部80来电连接X方向光扫描部10的内侧驱动部16，由此能够使用形成在反射镜支撑部46的上表面上的配线部80来向内侧驱动部16施加电压。同样地，经由形成在反射镜支撑部56的上表面上的配线部80来电连接X方向光扫描部10的内侧驱动部17，由此能够使用形成在反射镜支撑部56的上表面上的配线部80来向内侧驱动部17施加电压。此外，配线部80的厚度足够小，因而在图I至图3及图11至图14中，对形成在驱动部41、43、45、51、53及55和连接支撑部42、44,52及54和反射镜支撑部46及56上的配线部80省略图示。接着，参照图I、图3及图11至图14，对本发明的一个实施方式的振动反射镜元件100的Y方向光扫描部30的驱动动作进行说明。从如图I及图3所示的驱动部41、43、45、51、53及55处于非驱动状态而保持水平的状态开始，如图11所示，向驱动单元40的驱动部41、43及45施加使压电传动装置60的上表面侧(Zl侧)比下表面侧(Z2侧)更收缩的电压。另一方面，向驱动单元50的驱动部51、53及55施加使压电传动装置60的下表面侧比上表面侧更收缩的电压，该电压与施加至驱动部41、43及45的电压相互相位相反。由此，如图12所示，在驱动部41、43及45中，Y2侧的端部41b、43c及45c分别位于比Yl侧端部41a、43a及45a更靠近上方(Zl侧)的位置，由此，驱动部41、43及45以向上方翘曲的方式弯曲变形。此时，驱动部41的端部41b朝向Zl侧相对于切线CO形成第一倾斜角度0 I而向BI侧倾斜。另外，驱动部43的端部43c朝向Zl侧相对于切线Cl形成第二倾斜角度0 2而向BI侧倾斜。另外，驱动部45的端部45c朝向Zl侧相对于切线C2形成第三倾斜角度0 3而向BI侧倾斜。其结果，反射镜支撑部46朝向Zl侧相对于切线CO(位于水平面上)形成第四倾斜角度0 4 (= 0 1 + 0 2 + 0 3)而向BI侧倾斜，其中，上述第四倾斜角度9 4是对第一倾斜角度0 I、第二倾斜角度0 2和第三倾斜角度0 3进行合计而得出的角度。
另一方面，如图13所示，在驱动部51、53及55中，Yl侧端部51b、53c及55c分别位于比Y2侧端部51a、53a及55a更靠近下方(Z2侧)的位置，由此，驱动部51、53及55以向下方翘曲的方式弯曲变形。此时，驱动部51的端部51b朝向Z2侧相对于切线DO形成第五倾斜角度0 5而向BI侧倾斜。另外，驱动部53的端部53c朝向Z2侧相对于切线Dl形成第六倾斜角度0 6而向BI侧倾斜。另外，驱动部55的端部55c朝向Z2侧相对于切线D2形成第七倾斜角度0 7而向BI侧倾斜。其结果，反射镜支撑部56朝向Z2侧相对于切线DO(位于水平面上)形成第八倾斜角度0 8 (= 0 5 + 0 6 + 0 7)而向BI侧倾斜，其中，上述第八倾斜角度0 8是对第五倾斜角度0 5、第六倾斜角度06和第七倾斜角度07进行合计而得出的角度。在这里，第一倾斜角度0 I与第五倾斜角度0 5大致相同，第二倾斜角度0 2与第 六倾斜角度0 6大致相同，第三倾斜角度0 3与第七倾斜角度0 7大致相同。由此，第四倾斜角度9 4 (= 0 1 + 0 2 + 0 3)与第八倾斜角度0 8 (= 0 5 + 0 6 + 0 7)大致相同。其结果，如图11所示，就反射镜支撑部46而言，在相对于切线CO (参照图12)而朝向Zl侧保持第四倾斜角度0 4 (参照图12)的状态下，并且在反射镜支撑部46自身不弯曲的状态下，向BI侧倾斜。另一方面，就反射镜支撑部56而言，在相对于切线DO (参照图13)而朝向Z2侧保持第八倾斜角度0 8 (= 0 4)(参照图13)的状态下，并且在反射镜支撑部56自身不弯曲的状态下，向BI侧倾斜。由此,X方向光扫描部10 (反射镜11)相对于包含切线CO及DO的水平面而向BI侧倾斜，其中，上述X方向光扫描部10被反射镜支撑部46支撑在既是Xl侧又是Y2侧的位置，并且被反射镜支撑部56支撑在既是X2侧又是Yl侧的位置。此时，X方向光扫描部10、反射镜支撑部46和反射镜支撑部56在向BI侧倾斜的状态下位于大致相同平面内。另外，如图14所示，向驱动单元40的驱动部41、43及45施加使压电传动装置60的下表面侧(Z2侧)比上表面侧(Zl侧)更收缩的电压。另一方面，向驱动单元50的驱动部51、53及55施加使压电传动装置60的上表面侧比下表面侧更收缩的电压，该电压与施加至驱动部41、43及45的电压相互相位相反。由此，如图13所示，在驱动部41、43及45中，Y2侧的端部41b、43c及45c分别位于比Yl侧端部41a、43a及45a更靠近下方(Z2侧)的位置，由此驱动部41、43及45以向下方翘曲的方式弯曲变形。此时，驱动部41的端部41b朝向Z2侧相对于切线CO形成第一倾斜角度0 I而向B2侧倾斜。另外，驱动部43的端部43c朝向Z2侧相对于切线Cl形成第二倾斜角度0 2而向B2侧倾斜。另外，驱动部45的端部45c朝向Z2侧相对于切线C2形成第三倾斜角度0 3而向B2侧倾斜。其结果，反射镜支撑部46朝向Z2侧相对于切线CO(位于水平面上)形成第四倾斜角度0 4 (= 0 1 + 0 2 + 0 3)而向B2侧倾斜，其中，第四倾斜角度0 4是对第一倾斜角度0 I、第二倾斜角度0 2和第三倾斜角度0 3进行合计而得出的角度。另一方面，如图12所示，在驱动部51、53及55中，Yl侧端部51b、53c及55c分别位于比Y2侧端部51a、53a及55a更靠近上方(Zl侧)的位置，由此，驱动部51、53及55以向上方翘曲的方式弯曲变形。此时，驱动部51的端部51b朝向Zl侧相对于切线DO形成第五倾斜角度0 5而向B2侧倾斜。另外，驱动部53的端部53c朝向Zl侧相对于切线Dl形成第六倾斜角度0 6而向B2侧倾斜。另外，驱动部55的端部55c朝向Zl侧相对于切线D2形成第七倾斜角度0 7而向B2侧倾斜。其结果，反射镜支撑部56朝向Zl侧相对于切线DO(位于水平面上)形成第八倾斜角度0 8 (= 0 5十06十0 7)而向B2侧倾斜，其中，上述第八倾斜角度0 8是对第五倾斜角度0 5、第六倾斜角度06和第七倾斜角度07进行合计而得出的角度。在这里，如上所述，第四倾斜角度9 4与第八倾斜角度0 8大致相同。其结果，如图14所示，就反射镜支撑部46而言，在相对于切线CO (参照图13)而朝向Z2侧保持第四倾斜角度0 4 (参照图13)的状态下，并且在反射镜支撑部46自身不弯 曲的状态下，向B2侧倾斜。另一方面，就反射镜支撑部56而言，在相对于切线DO (参照图12)而朝向Zl侧保持第八倾斜角度0 8 (= 0 4)(参照图12)的状态下，并且在反射镜支撑部56自身不弯曲的状态，向B2侧倾斜。由此,X方向光扫描部10 (反射镜11)相对于包含切线CO及DO的水平面而向B2侧倾斜倾斜角度0 4。此时，X方向光扫描部10、反射镜支撑部46和反射镜支撑部56在向B2侧倾斜的状态下位于大致相同平面内。进而，以大约60Hz的频率向Y方向光扫描部30的驱动部41、43、45、51、53及55施加电压，以使这些驱动部以反复形成压电传动装置60的上表面侧(Zl侧)比下表面侧(Z2侦D更收缩的状态和下表面侧比上表面侧更收缩的状态的方式进行非共振驱动。由此，X方向光扫描部10 (反射镜11)反复形成如图11那样向BI侧倾斜的状态和如图14那样向B2侧倾斜的状态。由此，Y方向光扫描部30使反射镜11围绕转动中心R2在B方向上倾斜而在未图示的Y方向上利用光进行扫描。接着，参照图2、图8至图10及图15至图17，对本发明的一个实施方式的振动反射镜元件100的制造工序进行说明。此外，图15是示出了驱动部41、43、45、51、53及55的上表面侧的放大剖视图，图16及图17是沿图2所示的5000-5000线的剖视图。如图15所示，首先准备SOI基板4 (参照图16)，该SOI基板4具有上部Si基板
I、形成在上部Si基板I的下表面(Z2侧)上的SiO2层2 (参照图16)以及形成在SiO2层2的下表面上的下部Si基板3(参照图16)。然后，在SOI基板4的上表面(上部Si基板I的Zl侧表面)上的整个表面上，通过溅射等来依次形成下部电极61和压电体62。然后，在与内侧驱动部16及17和驱动部41、43、45、51、53及55相对应的压电体62的上表面上，通过蒸镀等形成上部电极63。这样，在内侧驱动部16及17和驱动部41、43、45、51、53及55上形成了压电传动装置60。此外，SiO2层2是本发明的“蚀刻阻止层”的一例，下部Si基板3是本发明的“半导体基板”的一例。然后，如图16所示，在下述三个位置以外的位置上，通过光刻形成了蚀刻图案(未图示)，这三个位置是指与驱动部41、43、45、51、53及55相对应的上部电极63的上表面上的相对应的位置、与连接支撑部42、44、52及54相对应的压电体62的上表面上的相对应的位置、与反射镜支撑部46及56相对应的压电体62的上表面上的相对应的位置。在形成了上述蚀刻图案之后，在与驱动部41、43、45、51、53及55相对应的上部电极63的上表面、与连接支撑部42、44、52及54相对应的压电体62的上表面、与反射镜支撑部46及56相对应的压电体62的上表面上，均形成绝缘层70。此时，如图15所示，在驱动部41、43、45、51、53及55的上表面上的规定位置上，还同时形成用于连接配线部80和上部电极63的配线孔70ao然后，如图9及图10所示，在与驱动部41、43、45、51、53及55、连接支撑部42、44、52及54、反射镜支撑部46及56相对应的绝缘层70的上表面上，通过蒸镀等形成配线部80。此时，如图9所示，配线部80位于驱动部41、43、45、51、53及55的配线孔70a内部，由此电连接配线部80和上部电极63。然后，如图16所示，在与内侧驱动部16及17、驱动部41、43、45、51、53及55、连接支撑部42、44、52及54、反射镜支撑部46及56相对应的位置上，通过光刻形成了蚀刻图案(未图示)之后，将该蚀刻图案作为掩膜来进行湿蚀刻等，由此除去形成在与以下部分相对应的位置以外的位置上的压电体62，所述部分是指，内侧驱动部16及17，驱动部41、43、45、51、53及55，连接支撑部42、44、52及54，反射镜支撑部46及56。然后，在与SOI基板4的下表面(下部Si基板3的Z2侧的表面)的框体20及未图示的外框体、连接支撑部42、
44、52及54、反射镜支撑部46及56相对应的位置上，通过蒸镀等形成由Al、Cr、Cu、Au或Pt等构成的掩膜图案5。然后，在与振动反射镜元件100相对应的位置上通过光刻形成了蚀刻图案(未图示)之后，将该蚀刻图案作为掩膜来进行湿蚀刻等，由此除去形成在与振动反射镜元件100 相对应的位置以外的位置上的下部电极61 (参照图15)。由此，仅在形成振动反射镜元件100的上部Si基板I的上表面(Zl侧的表面)上形成下部电极61。然后，如图17所示，通过反应性离子蚀刻(RIE)等，来除去形成在与振动反射镜元件100相对应的位置以外的位置上的上部Si基板I。然后，将掩膜图案5作为掩膜，通过反应性离子蚀刻(RIE)，来从与形成有振动反射镜元件部分的一侧相反的一侧(Z2侧)起，除去形成在以下三个位置以外的位置上的下部Si基板3，并除去至到达SiO2层2为止，所述三个位置是指，与框体20相对应的位置、与未图示的外框体相对应的位置、与连接支撑部
42、44、52及54相对应的位置以及与反射镜支撑部46及56相对应的位置。由此，在与驱动部41、43、45、51、53及55相对应的位置上，除去下部Si基板3的Z方向上的厚度即大约0. 4mm (t2 - tl)，由此连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的Z方向上的厚度t2，成为大于驱动部41、43、45、51、53及55的Z方向上的厚度tl。然后，通过反应性离子蚀刻(RIE)，来除去暴露在与形成有振动反射镜元件部分的一侧相反的一侧(Z2侧)的SiO2层2。由此，除去形成在与驱动部41、43、45、51、53及55相对应的部分上的SiO2层2。此时，连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的X方向上的宽度W2 (参照图2)分别形成为，小于驱动部41、43、45、51、53及55的X方向上的宽度Wl (参照图2)。由此，如图8所示，形成了由驱动部41、43、45、51、53及55、连接支撑部42、44、52及54、反射镜支撑部46及56以一体方式形成在上部Si基板I上的振动反射镜兀件100。在本实施方式中，如上所述，通过使连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56在Z方向上的厚度t2大于驱动部41、43、45、51、53及55的Z方向上的厚度tl，从而，即使在连接在支撑部(连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56)上的驱动部(驱动部41、43、45、51、53及55)及X方向光扫描部10 (反射镜11)等的自重施加到连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56上的情况下，也能够将连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56中的每个支撑部的刚性提高特定程度，从而能够抑制在连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56上产生弯曲变形，其中，上述特定程度是指，连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的Z方向上的厚度t2比驱动部41、
43、45、51、53及55的Z方向上的厚度tl大出的程度。另外，通过使连接支撑部42、44、52及54的Z方向上的厚度t2与反射镜支撑部46及56的Z方向上的厚度t2大致相同，与使连接支撑部42、44、52及54的厚度与反射镜支撑部46及56的厚度不同的情况相比，能够更加容易地形成振动反射镜元件100。另外，在本实施方式中，如上所述，连接支撑部42 (52)保持驱动部41 (51)的端部41b (51b)(连接部41c (51c))的倾斜，连接支撑部44 (54)保持驱动部43 (53)的端部43c (53c)(连接部43d (53c))的倾斜，反射镜支撑部46 (56)保持驱动部45 (55)的端部45c (55c)(连接部45d (55d))的倾斜，由此，在保持因驱动部41、43及45 (51、53及55)变形而导致产生的连接支撑部42及44 (52及54)和反射镜支撑部46 (56)的倾斜的状态下，基于所保持的连接支撑部42及44 (52及54)和反射镜支撑部46 (56)的倾斜，能够使X方向光扫描部10 (反射镜11)倾斜。另外，在本实施方式中，如上所述，通过使驱动部41、43、45、51、53及55弯曲变形 来驱动这些驱动部，并且可抑制连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的弯曲变形，由此可保持驱动部41、43、45、51、53及55的倾斜，由此，连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56能够可靠地保持因驱动部41、43、45、51、53及55的弯曲变形而产生的倾斜。另外，在本实施方式中，如上所述，驱动部41、43、45、51、53及55包括具有大约0. Imm的厚度tl的上部Si基板1，另一方面，连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56包括具有大约0. Imm的厚度tl的上部Si基板I、形成在上部Si基板I的下表面(Z2侧)上的薄的SiO2层2以及形成在SiO2层2的下表面上的具有大约0. 4mm的厚度(t2 —tl)的下部Si基板3，由此能够使连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的厚度t2比驱动部41、43、45、51、53及55的厚度tl大，大出的厚度为下部Si基板3所具有的厚度(t2 —tl)。另外，由于厚度tl (大约0. Imm)小于厚度(t2 — tl)(大约0. 4mm),因而能够使连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的厚度t2进而比驱动部41、43、45、51、53 及 55 的厚度 tl 大。另外，在本实施方式中，如上所述，通过使连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的X方向上的宽度W2小于驱动部41、43、45、51、53及55的X方向上的宽度W1，与在连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的X方向上的宽度W2大于驱动部41、43、45、51、53及55的X方向上的宽度Wl的状态下构成振动反射镜元件100的情况相比，通过使连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的Z方向上的厚度t2大于驱动部41、43、45、51、53及55的Z方向上的厚度11，能够确保连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的刚性，并且能够使振动反射镜元件100整体的X方向上的尺寸变小。另外，在本实施方式中，如上所述，几乎不弯曲的反射镜支撑部46的Yl侧端部46c连接在X方向光扫描部10的框体20的Y2侧的侧面的Xl侧端部附近，并且几乎不弯曲的反射镜支撑部56的Y2侧端部56c连接在X方向光扫描部10的框体20的Yl侧的侧面的X2侧端部附近，由此能够容易地使反射镜支撑部46及56保持使X方向光扫描部10 (反射镜11)倾斜的状态。另外，在本实施方式中，如上所述，驱动单元40及50 (Y方向光扫描部30)和X方向光扫描部10以一体方式形成在通用的上部Si基板I上，由此在驱动部41、43、45、51、53及55和连接支撑部42、44、52及54和X方向光扫描部10以一体方式形成的状态下，对形成有驱动部41、43、45、51、53及55的部分除去规定高度(t2 — tl)，从而能够容易地形成使连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的Z方向上的厚度t2比驱动部41、
43、45、51、53及55的Z方向上的厚度tl大的振动反射镜元件100。另外，不需另行进行相互之间的连接处理，因而能够使振动反射镜元件100的制造工序简单化。另外，在本实施方式中，如上所述，在驱动单元40中，从X2侧的反射镜支撑部46向Xl侧的驱动部41的方向，以使相邻的构件相互依次在Yl侧或Y2侧被交替翻折的方式连接这些构件，由此从反射镜支撑部46至驱动部41连续连接，并且，在驱动单元50中，从Xl侧的反射镜支撑部56向X2侧的驱动部51的方向，以 使相邻的构件相互依次在Yl侧或Y2侧被交替翻折的方式连接这些构件，由此从反射镜支撑部56至驱动部51连续连接，由此，能够基于驱动部41的端部41b (连接部41c)的位移来驱动驱动部43，并且能够基于驱动部43的端部43c (连接部43d)的位移来驱动驱动部45。另外，能够基于驱动部51的端部51b (连接部51c)的位移来驱动驱动部53，并且能够基于驱动部53的端部53c (连接部53d)的位移来驱动驱动部55。由此，能够使反射镜支撑部46及56的倾斜角度更大，因而能够使X方向光扫描部10 (反射镜11)的倾斜角度更大。另外，在本实施方式中，如上所述，通过在X方向光扫描部10上设置反射镜11和使反射镜11围绕转动中心Rl转动的内侧驱动部16及17，能够使反射镜11向旋转中心R2的周围高精度地反射光，并且能够利用围绕旋转中心Rl的转动和围绕转动中心R2的转动，来利用光进行二维扫描。另外，在本实施方式中，如上所述，X方向光扫描部10以大约30kHz的共振频率进行共振驱动，另一方面，Y方向光扫描部30以大约60Hz的频率进行非共振驱动，由此X方向光扫描部10能够在以比围绕转动中心R2转动时的频率更大的频率围绕转动中心Rl转动的状态下，利用光进行二维扫描。另外，在本实施方式中，如上所述，连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的X方向及Y方向上的整体具有大致相同的Z方向上的厚度t2，由此，在X方向及Y方向上的整体上能够大致均等一致地保持连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的刚性，因而能够容易地抑制在连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56上产生弯曲变形。另外，在本实施方式中，如上所述，使驱动单元40和驱动单元50具有以反射镜11的中心R3为中心而大致点对称的关系，由此能够利用处于大致点对称的配置关系的驱动单元40和驱动单元50来支撑X方向光扫描部10。由此，能够均等地分散X方向光扫描部10的自重，因而能够更加可靠地使X方向光扫描部10倾斜。另外，在本实施方式中，如上所述，通过反应性离子蚀刻(RIE)，来从形成有振动反射镜元件部分的一侧相反的一侧(Z2侧)起，除去形成在下述特定位置以外的位置上的下部Si基板3，并除去至到达SiO2层2为止，由此能够利用SiO2层2来抑制不仅蚀刻下部Si基板3还会蚀刻至振动反射镜元件部分的情况，所述特定位置是指，与框体20相对应的位置、与外框体相对应的位置、与连接支撑部42、44、52及54相对应的位置及与反射镜支撑部46及56相对应的位置。另外，在本实施方式中，如上所述，通过反应性离子蚀刻(RIE)，来除去形成在与驱动部41、43、45、51、53及55相对应的部分上的SiO2层2，由此能够使驱动部41、43、45、51、53及55的厚度减少，所减少的厚度为被除去的SiO2层2的厚度，因而能够使驱动部41、43、
45、51、53及55变形的更大。此外，应当认为本公开的实施方式是在全部点的例示而非制限。本发明的范围由权利要求书来表示，而并非由上述实施方式的说明来表示，并且还包括在与权利要求书均等的意思和范围内的全部变更。例如,在上述实施方式中，不出了振动反射镜兀件100具有X方向光扫描部10和Y方向光扫描部30，并且使反射镜11在A方向及B方向(二维的)上转动的例子，但本发明并不限定于此。例如，如图18所示的第一变形例的振动反射镜元件200那样，通过构成为具有Y方向光扫描部230和反射镜211而不具有X方向光扫描部，也可以构成为仅在本实施方式的B方向(参照图I)上(一维)转动的结构。此时，反射镜211上的既是Xl侧又是Y2侧的位置与驱动单元240的反射镜支撑部246的Yl侧端部246d相连接，并且既是X2侧又是Yl侧的位置与驱动单元250的反射镜支撑部256的Y2侧端部256d相连接。由此，反射镜211能够在B方向上倾斜。此时，连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部246及256的Z方向(参照图I)上的厚度大于驱动部41、43、45、51、53及55的Z方向上的厚度。此外，反射镜211是本发明的“反射镜部”的一例，反射镜支撑部246及256是本发明的“支撑部”的一例。另外，在上述实施方式中，示出了在驱动单元40中设有驱动部41、连接支撑部42、驱动部43、连接支撑部44、驱动部45及反射镜支撑部46，并且在驱动单元50中设有驱动部51、连接支撑部52、驱动部53、连接支撑部54、驱动部55及反射镜支撑部56的例子，但本发明并不限定于此。例如，如图19所示的第二变形例的振动反射镜元件300那样，也可以构成为在驱动单元40上仅设有驱动部341及反射镜支撑部346，并且在驱动单元50上仅设有驱动部351及反射镜支撑部356。此时，驱动部341在其连接部341c上与反射镜支撑部346的连接部346b相连接，并且驱动部351在其连接部351c上与反射镜支撑部356的连接部356b相连接。此时，反射镜支撑部346及356的Z方向上的厚度大于驱动部341及351的Z方向上的厚度。此外，驱动部341及351是本发明的“第一驱动部”的一例，反射镜支撑部346及356是本发明的“支撑部”的一例。另外，连接部341c及351c是本发明的“一侧连接部”的一例。另外，在上述实施方式中，示出了在X方向光扫描部10的Xl侧设置驱动单元40并且在X方向光扫描部10的X2侧设置驱动单兀50的Y方向光扫描部30的例子,但本发明并不限定于此。例如，如图20所示的第三变形例的振动反射镜元件400那样，也可以构成在X方向光扫描部10的X2侧不设置驱动单元而仅在X方向光扫描部10的Xl侧设置驱动单元40的Y方向光扫描部430。另外，在上述实施方式中，示出了在驱动单元40的驱动部41 (第一驱动部)和反射镜支撑部46之间设置两个连接支撑部42及44和两个第二驱动部(驱动部43及45)，并且在驱动单元50的驱动部51 (第一驱动部)和反射镜支撑部56之间设置两个连接支撑部52及54和两个第二驱动部(驱动部53及55)的例子，但本发明并不限定于此。在本发明中，也可以在第一驱动部和反射镜支撑部之间分别设置一个或三个以上的连接支撑部及第二驱动部。此时，连接支撑部及反射镜支撑部的厚度需要大于第一驱动部及第二驱动部的、厚度。另外，即使在增加了连接支撑部的个数的情况下，也能够通过将连接支撑部的厚度设定得大，来在保持连接支撑部的刚性的状态下缩小连接支撑部的宽度，从而能够缩小振动反射镜元件整体的尺寸。另外，在上述实施方式中，示出了通过在与驱动部41、43、45、51、53及55相对应的位置上除去下部Si基板3的Z方向上的厚度即大约O. 4mm (t2 一 tl)，来使连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的Z方向上的厚度t2大于驱动部41、43、45、51、53及55的Z方向上的厚度tl的例子，但本发明并不限定于此。例如，也可以通过在与支撑部(连接支撑部及反射镜支撑部)相对应的部分上粘贴其他构件等，来使支撑部的厚度大于驱动部的厚度。另外，也可以通过在与驱动部相对应的位置的厚度方向上仅除去下部Si基板的一部分而非除去全部的下部Si基板，来使支撑部的厚度大于驱动部的厚度。另外，在上述实施方式中，示出了使连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56的X方向上的宽度W2 (大约O. 3mm)小于驱动部41、43、45、51、53及55的X方向上的宽度Wl (大约O. 4_)的例子，但本发明并不限定于此。在本发明中，也可以使支撑部(连接支撑部及反射镜支撑部)的宽度与驱动部的宽度形成为相同的大小。 另外，在上述实施方式中，示出了使连接支撑部42、44、52及54和反射镜支撑部46及56在X方向及Y方向上全部具有大致相同的Z方向上的厚度t2的例子，但本发明并不限定于此。在本发明中，支撑部(连接支撑部及反射镜支撑部)的厚度也可以在X方向及Y方向的整体上并不大致相同。例如，也可以通过将驱动部的一侧连接部附近的厚度设定得大,来能够可靠地保持倾斜。此时,需要支撑部的厚度大于驱动部的厚度。另外，在上述实施方式中，示出了压电体62由锆钛酸铅(PZT)构成的例子，但本发明并不限定于此。例如，也可以使用以PZT以外的铅(Pb)、钛(Ti)及锆(Zr)为主成分的氧化物构成的压电材料或其他压电材料来形成。具体而言，压电体也可以使用氧化锌(ZnO)、锆钛酸铅镧陶瓷(PLZT) ((Pb,La) (Zr，Ti) O3)、铌酸钾(KNbO3)、铌酸钠(NaNbO3)等压电材料来形成。另外，在上述实施方式中，示出了在驱动单元40中从反射镜支撑部46至驱动部41进行连续连接，并且在驱动单元50中从反射镜支撑部56至驱动部51进行连续连接的例子，但本发明并不限定于此。在本发明中，也可以从反射镜支撑部至第一驱动部进行连续连接。此时，连接支撑部及反射镜支撑部的厚度需要大于第一驱动部及第二驱动部的厚度。另外，在上述实施方式中，示出了在驱动单元40上设有两个连接支撑部42及44和两个第二驱动部(驱动部43及45)，并且在驱动单元50上设有两个连接支撑部52及54和两个第二驱动部(驱动部53及55)的例子，但本发明并不限定于此。在本发明中，也可以使设在驱动单元上的连接支撑部的个数与第二驱动部的个数不同。此时，连接支撑部及反射镜支撑部的厚度需要大于第一驱动部及第二驱动部的厚度。另外，在上述实施方式中，示出了 Y方向光扫描部30以大约60Hz的频率进行非共振驱动的例子，但本发明并不限定于此。在本发明中，也可以使Y方向光扫描部进行共振驱动。此外，Y方向光扫描部优选以在大约30HZ以上且在大约120Hz以下的频率进行非共振驱动。另外，在上述实施方式中，示出了驱动单元40及50 (Y方向光扫描部30)和X方向光扫描部10以一体方式形成在通用的上部Si基板I上的例子，但本发明并不限定于此。在本发明中，也可以不以一体方式形成Y方向光扫描部和X方向光扫描部，也可以不以一体方式形成驱动单元的驱动部、连接支撑部和反射镜支撑部。例如，也可以另行作成驱动部、连接支撑部及反射镜支撑部之后，通过相互粘贴这些构件来形成Y方向光扫描部。另外，在上述实施方式中，示出了内侧驱动部16及17驱动部41、43、45、51、53及55包含具有层叠下部电极61、 压电体62和上部电极63而形成的结构的压电传动装置60的例子，但本发明并不限定于此。在本发明中，也可以使用压电传动装置以外的驱动装置来驱动内侧驱动部及驱动部。例如，也可以是由夹在电极之间的合成橡胶构成的驱动装置。此时，通过向电极之间施加电压来使电极彼此吸引，由此压缩合成橡胶而使驱动装置发生变形。
权利要求
1.一种振动反射镜元件(100)，其特征在干， 具有: 反射镜部(10)， 驱动部(41、43、45、51、53，55)，其能够变形，并且包含ー侧连接部(410、43(1、45(1、51(3、53d、55d),而且在第一方向上延伸成直线状， 支撑部(42、44、46、52、54、56)，其一侧端部(42a、44a、46a、52a、54a、56a)侧与所述驱动部的一侧连接部相连接，并且在所述第一方向上延伸成直线状； 所述支撑部的厚度大于所述驱动部的厚度。
2.根据权利要求I所述的振动反射镜元件，其特征在干， 在使所述驱动部变形的状态下进行驱动时，所述支撑部保持所述驱动部的一侧连接部的傾斜。
3.根据权利要求2所述的振动反射镜元件，其特征在干， 所述驱动部通过弯曲变形来进行驱动； 所述支撑部被抑制弯曲变形，由此保持所述驱动部的一侧连接部的傾斜。
4.根据权利要求I所述的振动反射镜元件，其特征在干， 所述支撑部包括 第一部分，其包含基板(3)，并且具有第一厚度， 第二部分(I )，其形成在所述基板上，具有比所述第一厚度小的第二厚度； 所述驱动部由具有所述第二厚度的第三部分(I)构成； 所述支撑部，在厚度方向上层叠有所述第一部分和所述第二部分，由此使所述支撑部的厚度大于所述驱动部的第三部分的厚度。
5.根据权利要求I所述的振动反射镜元件，其特征在干， 所述支撑部的与所述第一方向正交的第二方向上的宽度，在所述驱动部的所述第二方向上的宽度以下。
6.根据权利要求I所述的振动反射镜元件，其特征在干， 所述支撑部包括反射镜支撑部(46、56)，该反射镜支撑部(46、56)在其另ー侧端部(46c、56c)侧与所述反射镜部相连接，并且在所述驱动部进行驱动时以使所述反射镜部倾斜的状态支撑所述反射镜部。
7.根据权利要求I所述的振动反射镜元件，其特征在干， 所述驱动部包括 第一驱动部(41、51)，其形成为悬臂梁状，并且在与所述ー侧连接部相反的ー侧具有固定端， 第二驱动部(43、45、53，55)，其在与所述ー侧连接部相反的ー侧具有另ー侧连接部(43b、45b、53b、55b)； 所述支撑部包括连接支撑部(42、44、52、54)，该连接支撑部(42、44、52、54)在其ー侧端部侧与所述第一驱动部的一侧连接部或所述第二驱动部的一侧连接部相连接，并且在其另ー侧端部(42c、44c、52c、54c)侧与所述第二驱动部的另ー侧连接部相连接； 所述连接支撑部的厚度大于所述第一驱动部的厚度及所述第二驱动部的厚度。
8.根据权利要求7所述的振动反射镜元件，其特征在干，所述连接支撑部的与所述第一方向正交的第二方向上的宽度，在所述第一驱动部的所述第二方向上的宽度以下，并且在所述第二驱动部的所述第二方向上的宽度以下。
9.根据权利要求7所述的振动反射镜元件，其特征在干， 所述支撑部还包括反射镜支撑部，该反射镜支撑部在其另ー侧端部侧与所述反射镜部相连接，并且在所述驱动部进行驱动时以使所述反射镜部倾斜的状态下支撑所述反射镜部; 所述反射镜支撑部在其ー侧端部侧与所述第二驱动部的一侧连接部相连接； 所述反射镜支撑部的厚度大于所述第一驱动部的厚度及所述第二驱动部的厚度。
10.根据权利要求9所述的振动反射镜元件，其特征在干， 分别设置多个相同个数的所述第二驱动部和所述连接支撑部； 在所述第二方向上，从所述反射镜支撑部侧向所述第一驱动部侧的方向，以交替排列的方式配置所述第二驱动部和所述连接支撑部，在此状态下，以使相邻的构件相互依次在所述第一方向上的一侧及另一侧中的任ー侧交替翻折的方式，从所述反射镜支撑部至所述第一驱动部为止连续连接所述第二驱动部和所述连接支撑部。
11.根据权利要求I所述的振动反射镜元件，其特征在干， 所述驱动部、所述支撑部及所述反射镜部以一体方式形成。
12.根据权利要求I所述的振动反射镜元件，其特征在干， 所述反射镜部围绕第一转动中心转动； 所述反射镜部包括 反射镜(11)， 反射镜部侧驱动部(16、17)，其使所述反射镜围绕第二转动中心转动，该第二转动中心在所述反射镜的面内方向上与所述第一转动中心正交。
13.根据权利要求12所述的振动反射镜元件，其特征在干， 所述驱动部基于第一频率来使所述反射镜部围绕所述第一转动中心(R2)转动； 所述反射镜部侧驱动部基于比所述第一频率大的第二频率，来使所述反射镜围绕所述第二转动中心(Rl)转动。
14.根据权利要求I所述的振动反射镜元件，其特征在干， 所述支撑部形成为其厚度在所述第一方向上大致恒定。
15.根据权利要求I所述的振动反射镜元件，其特征在干， 以夹着所述反射镜部的方式设置有一对所述驱动部； 以夹着所述反射镜部的方式设置有一对所述支撑部； 所述ー对驱动部具有以所述反射镜部的中心(R3)为中心而大致点対称的关系，并且所述ー对支撑部具有以所述反射镜部的中心为中心而大致点対称的关系。
16.一种振动反射镜元件的制造方法，其特征在干， 具有以下エ序 在同一基板上形成振动反射镜元件部分的エ序，所述振动反射镜元件包括反射镜部、驱动部和支撑部，所述驱动部能够变形，并且具有一侧连接部，而且在第一方向上延伸成直线状，所述支撑部的一侧端部侧与所述驱动部的一侧连接部相连接，并且在所述第一方向上延伸成直线状；通过除去所述基板上的与所述驱动部相对应的部分的至少一部分，来使所述支撑部的厚度大于所述驱动部的厚度的エ序。
17.根据权利要求16所述的振动反射镜元件的制造方法，其特征在干， 所述基板是半导体基板(3)； 使所述支撑部的厚度大于所述驱动部的厚度的エ序，包括通过蚀刻来除去所述半导体基板上的与所述驱动部相对应的部分的エ序。
18.根据权利要求17所述的振动反射镜元件的制造方法，其特征在干， 在同一基板上形成所述振动反射镜元件部分的エ序，包括在设在所述半导体基板上的蚀刻阻止层(2)上形成所述振动反射镜元件部分的エ序； 通过蚀刻来除去与所述驱动部相对应的部分的エ序包括如下エ序从形成有所述振动反射镜元件部分的ー侧相反的ー侧起，通过蚀刻来除去与所述驱动部相对应的部分的所述半导体基板，并且蚀刻至到达所述蚀刻阻止层为止。
19.根据权利要求18所述的振动反射镜元件的制造方法，其特征在干， 通过蚀刻来除去与所述驱动部相对应的部分的エ序还包括如下エ序通过蚀刻，来除去所述蚀刻阻止层上的特定部分，所述特定部分是与除去了所述半导体基板的所述驱动部相对应的部分。
20.根据权利要求16所述的振动反射镜元件的制造方法，其特征在干， 在同一基板上形成所述振动反射镜元件部分的エ序，包括形成所述驱动部的エ序和形成所述支撑部的エ序，其中，所述驱动部包括第一驱动部和第二驱动部，所述第一驱动部形成为悬臂梁状，并且在与所述ー侧连接部相反的ー侧具有固定端，所述第二驱动部在与所述ー侧连接部相反的ー侧具有另ー侧连接部，所述连接支撑部在其ー侧端部侧与所述第一驱动部的一侧连接部或所述第二驱动部的一侧连接部相连接，并且在其另ー侧端部侧与所述第二驱动部的另ー侧连接部相连接； 使所述支撑部的厚度大于所述驱动部的厚度的エ序包括如下エ序通过除去所述基板上的与所述第一驱动部及所述第二驱动部相对应的部分的至少一部分，来使所述连接支撑部的厚度大于所述第一驱动部的厚度及所述第二驱动部的厚度的エ序。
全文摘要
提供能够抑制在支撑部上产生弯曲变形的振动反射镜元件。该振动反射镜元件(100)具有反射镜部(10)、能够变形的驱动部(41、43、45、51、53、55)以及在一侧端部(42a、44a、46a、52a、54a、56a)侧与驱动部的一侧连接部(41c、43d、45d、51c、53d、55d)相连接的支撑部(42、44、46、52、54、56)，并且支撑部的厚度大于驱动部的厚度。
文档编号B81B3/00GK102695978SQ20108005980
公开日2012年9月26日 申请日期2010年12月20日 优先权日2009年12月28日
发明者小寺秀俊, 村山学, 神野伊策, 藤井仁 申请人:船井电机株式会社