专利名称：电极装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电解蚀刻设备，特别是有关电解蚀刻设备的电极结构。
背景技术：
目前，在现有的电解蚀刻设备中，喷电解蚀刻液的喷管一般安装在电极的附近，在 向被电解蚀刻板喷电解蚀刻液时，电解蚀刻液在板表面上分布很不均匀，使电解蚀刻进行 得不均匀，且电解蚀刻效率不高，制造成本高。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种能进行均匀电解蚀刻，制造成本低的电极装置。 为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是一种电极装置，包括电极，电极上 固定有支架，支架上装有喷管，喷管的出液口朝向电极底部和/或电极底面下方的空间，电 极上装有电极滚轮且电极滚轮的轮底低于电极底面和/或支架上装有支架滚轮且支架滚 轮的轮底低于电极底面。 为了合理布置电极滚轮，所述电极底部开有若干滚轮槽，每个滚轮槽中设置一个 电极滚轮，电极上还开有支撑孔，支撑孔中装有滚轮轴，每个电极滚轮均套装在滚轮轴上。 为了使喷出的电解蚀刻液更加均匀，进一步提高电解蚀刻效率，所述喷管包括进 液管段、平衡管段和出液管段，其中进液管段与平衡管段连通，平衡管段置于出液管段上并 与出液管段固定连接，平衡管段底部具有若干出口 ，出液管段顶部具有若干进口 ，所述出口 与进口相通，出液口设在出液管段上。 为了使喷液更加均匀、有方向性，所述出液管段上的出液口为一条或多条缝隙，该 缝隙与出液管段的内孔大致相切。 为了调节缝隙的开口大小，所述出液管段上装有调节螺钉。 为了使喷出的电解蚀刻液更加均匀，进一步提高电解蚀刻效率，另一可选方案是， 所述喷管包括进液管段和出液管段，出液口设在出液管段上，出液口为一条或多条缝隙，该 缝隙与出液管段的内孔大致相切。 为了简化支架结构、便于组装，所述支架为若干个装在电极侧面上的板件，至少一 侧支架上开有架设喷管用的卡槽，支架通过螺钉与电极固定连接。 为了合理布置支架滚轮，当支架上装有支架滚轮时，所述支架上装有滚轮轴，若干 支架滚轮和隔套安装在滚轮轴上，隔套位于支架滚轮之间。 采用上述结构后，由于电极上固定有支架，支架上装有喷管，喷管的出液口朝向电 极底部和/或电极底面下方的空间，电极上装有电极滚轮且电极滚轮的轮底低于电极底面 和/或支架上装有支架滚轮且支架滚轮的轮底低于电极底面，因此在使用时，电极滚轮和/ 或支架滚轮与被电解蚀刻板的表面接触，以使电极底面与被电解蚀刻板的表面之间保持恒 定的距离，使电解蚀刻液可以均匀布于被电解蚀刻板的表面并与电极底面接触导电，使电 解蚀刻均匀进行；本实用新型电解蚀刻效率高，同时制造成本低。
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以下结合附图给出的实施例对本实用新型作进一步详细的说明图1是本实用新型电极装置的结构示意正视图；图2是图1的俯视图；图3是图1的后视图；图4是图1的仰视图；图5是图1的左视图；图6是图1的右视图；图7是图1沿A-A线的剖视图；图8是图4沿B-B线的剖视图；图9是本实用新型中的支架的一种形式立体结构示意图；图io是本实用新型中的支架的另一种形式立体结构示意图；图11是本实用新型中的电极的立体结构示意图；图12是本实用新型中的喷管的一种实施例的正视图；图13是图12的俯视图；图14是图12的后视图；图15是图12沿C-C线的剖视图；图16是本实用新型中的喷管的另一种实施例的结构示意图；图17是图16所示喷管安装在支架上的示意图。
具体实施方式如图1、2、3、4、5、6、7、8所示，本实用新型中的电极装置，包括电极1，电极1上固定 有支架2，支架2上装有喷管3，喷管3的出液口 3-4朝向电极1底部和/或电极1底面下 方的空间，电极1上装有电极滚轮4且电极滚轮4的轮底低于电极1底面和/或支架2上 装有支架滚轮7且支架滚轮7的轮底低于电极1底面。 如图4、6、7、8、11所示，为了合理布置电极滚轮，所述电极1底部开有若干滚轮槽 1-1，每个滚轮槽1-1中设置一个电极滚轮4，电极1上还开有支撑孔l-2，支撑孔1-2中装 有滚轮轴5，每个电极滚轮4均套装在滚轮轴5上。 如图5、6、7、8、12、13、14、15所示，为了使喷出的电解蚀刻液更加均匀，进一步提 高电解蚀刻效率，所述喷管3包括进液管段3-l、平衡管段3-2和出液管段3-3，其中进液管 段3-1与平衡管段3-2连通，平衡管段3-2置于出液管段3-3上并与出液管段3_3固定连 接，平衡管段3-2底部具有若干出口 3-2-1，出液管段3-3顶部具有若干进口 3-3-l，所述出 口 3-2-1与进口 3-3-1相通，出液口 3-4设在出液管段3-3上。 如图7、8、14、15所示，为了使喷液更加均匀、有方向性，所述出液管段3-3上的出 液口 3-4为一条或多条缝隙，该缝隙与出液管段3-3的内孔大致相切。当然，出液口 3-4也 可以是若干圆孔或喷管上安装的喷嘴的出口。 如图15所示，为了调节缝隙的开口大小，所述出液管段3-3上装有调节螺钉10。 当然，也可以不装调节螺钉10。[0036] 如图16、17所示，为了使喷出的电解蚀刻液更加均匀，进一步提高电解蚀刻效率， 另一可选方案是，所述喷管3包括进液管段3-1和出液管段3-3，出液口 3-4设在出液管段 3-3上，出液口 3-4为一条或多条缝隙，该缝隙与出液管段3-3的内孔大致相切。 如图7、8、9、10所示，为了简化支架结构、便于组装，所述支架2为若干个装在电极 1侧面上的板件，至少一侧支架2上开有架设喷管3用的卡槽2-1 ，支架2通过螺钉9与电 极1固定连接。所述支架2也可以是一整体结构，例如支架2是卡在电极1两侧面及顶面 上的"m "形板。 如图1、2、3、4、5所示，为了合理布置支架滚轮，当支架2上装有支架滚轮7时，所 述支架2上装有滚轮轴6，若干支架滚轮7和隔套8安装在滚轮轴6上，隔套8位于支架滚 轮7之间。 本实用新型使用时，如图7所示，电极滚轮4和支架滚轮7与被电解蚀刻板11的 表面接触，以使电极1底面与被电解蚀刻板11的表面之间保持恒定的距离。喷管3的出液 口 3-4喷出的电解蚀刻液可以均匀布于被电解蚀刻板11的表面并与电极1底面接触导电， 使电解蚀刻均匀进行。
权利要求一种电极装置，包括电极(1)，其特征在于a、电极(1)上固定有支架(2)，支架(2)上装有喷管(3)，喷管(3)的出液口(3-4)朝向电极(1)底部和/或电极(1)底面下方的空间，b、电极(1)上装有电极滚轮(4)且电极滚轮(4)的轮底低于电极(1)底面和/或支架(2)上装有支架滚轮(7)且支架滚轮(7)的轮底低于电极(1)底面。
2. 根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于所述电极(1)底部开有若干滚轮槽(l-l)，每个滚轮槽(1-1)中设置一个电极滚轮(4)，电极(1)上还开有支撑孔(l-2)，支撑孔(1-2)中装有滚轮轴(5)，每个电极滚轮(4)均套装在滚轮轴(5)上。
3. 根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于所述喷管(3)包括进液管段(3-1)、平衡管段(3-2)和出液管段(3-3)，其中进液管段(3-1)与平衡管段(3-2)连通，平衡管段(3-2)置于出液管段(3-3)上并与出液管段(3-3)固定连接，平衡管段(3-2)底部具有若干出口 (3-2-1)，出液管段(3-3)顶部具有若干进口 (3-3-1)，所述出口 (3-2-1)与进口(3-3-1)相通，出液口 (3-4)设在出液管段(3-3)上。
4. 根据权利要求3所述的电极装置，其特征在于所述出液管段(3-3)上的出液口(3-4)为一条或多条缝隙，该缝隙与出液管段(3-3)的内孔大致相切。
5. 根据权利要求4所述的电极装置，其特征在于所述出液管段(3-3)上装有调节螺钉(10)。
6. 根据权利要求l所述的电极装置，其特征在于所述喷管(3)包括进液管段(3-1)和出液管段(3-3)，出液口 (3-4)设在出液管段(3-3)上，出液口 (3-4)为一条或多条缝隙，该缝隙与出液管段(3-3)的内孔大致相切。
7. 根据权利要求l所述的电极装置，其特征在于所述支架(2)为若干个装在电极(1)侧面上的板件，至少一侧支架(2)上开有架设喷管(3)用的卡槽(2-1)，支架(2)通过螺钉(9)与电极(1)固定连接。
8. 根据权利要求1或2所述的电极装置，其特征在于当支架(2)上装有支架滚轮(7)时，所述支架(2)上装有滚轮轴(6)，若干支架滚轮(7)和隔套(8)安装在滚轮轴(6)上，隔套(8)位于支架滚轮(7)之间。
专利摘要本实用新型公开了一种电解蚀刻用的电极装置，它包括电极，电极上固定有支架，支架上装有喷管，喷管的出液口朝向电极底部和/或电极底面下方的空间，电极上装有电极滚轮且电极滚轮的轮底低于电极底面和/或支架上装有支架滚轮且支架滚轮的轮底低于电极底面。本实用新型能使电解蚀刻液均匀布于被电解蚀刻板的表面，使电解蚀刻均匀进行，提高电解蚀刻效率，同时制造成本低。
文档编号C25F7/00GK201525903SQ200920048898
公开日2010年7月14日 申请日期2009年10月30日 优先权日2009年10月30日
发明者周丁政 申请人:常州市正成标牌设备有限公司