柔性衬底处理装置的制作方法

文档序号:12699429阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种柔性衬底处理装置,包括:

包括第一退绕机构的衬底搬出部,该第一退绕机构设置有缠绕着柔性衬底的第一筒管;

还原处理部,该还原处理部包括容纳有电解液的第一槽、在所述第一槽中与所述柔性衬底平行的第一电极及使所述柔性衬底浸渍在所述电解液中的第一辊;

包括第二槽的洗涤部,该第二槽容纳有洗涤液及以使所述柔性衬底浸渍在所述洗涤液中的方式支撑所述柔性衬底的第二辊;

包括第一干燥单元的干燥部;以及

包括卷绕机构的衬底搬入部,该卷绕机构设置有卷起所述柔性衬底的第二筒管,

其中,在柔性衬底的搬送路径中,依次组合有所述衬底搬出部、所述还原处理部、所述洗涤部、所述干燥部及所述衬底搬入部。

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